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    重庆时时彩会赢钱吗: 透镜可移动的浸入式光刻机.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201610551670.1

    申请日:

    2016.07.13

    公开号:

    CN105954978A

    公开日:

    2016.09.21

    当前法律状态:

    撤回

    有效性:

    无权

    法律详情: 发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):G03F 7/20申请公布日:20160921|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20160713|||公开
    IPC分类号: G03F7/20 主分类号: G03F7/20
    申请人: 无锡宏纳科技有限公司
    发明人: 吕耀安
    地址: 214000 江苏省无锡市新区清源路20号太湖国际科技园传感网大学科技园立业楼D区一楼
    优先权:
    专利代理机构: 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 代理人: 聂汉钦
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201610551670.1

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2018.04.24|||2016.10.19|||2016.09.21

    法律状态类型:

    发明专利申请公布后的视为撤回|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种透镜可移动的浸入式光刻机,包括液体槽;所述液体槽之内置有折射率大于1.4的液体;所述液体槽之内放置有光路系统;所述液体槽之外、液体槽的正下方放置有工作台;所述光路系统包括凸透镜;所述凸透镜的射出光路之上放置有光刻掩膜;所述光刻掩膜之后放置有准直装置;所述准直装置的光出射方向放置有第三折射镜;所述第三折射镜的对称方向放置有第四折射镜;所述第三折射镜的光出射方向放置有凹面折射镜;所述凹面折射镜的焦点之处放置有凸面折射镜;所述第四折射镜固定在所述移动装置之上。本发明所述的装置,将光路系统整个浸入折射率为1.4液体中,可以增加光刻精度。

    权利要求书

    1.一种透镜可移动的浸入式光刻机,其特征在于,包括液体槽(10);
    所述液体槽(10)之内置有折射率大于1.4的液体;所述液体槽(10)之内放
    置有光路系统;所述液体槽(10)之外、液体槽(10)的正下方放置有工作台
    (11);所述光路系统包括凸透镜(1);所述凸透镜(1)的射出光路之上放
    置有光刻掩膜(2);所述光刻掩膜(2)之后放置有准直装置(3);所述准
    直装置(3)的光出射方向放置有第三折射镜(4);所述第三折射镜(4)的
    对称方向放置有第四折射镜(7);所述第三折射镜(4)的光出射方向放置有
    凹面折射镜(6);所述凹面折射镜(6)的焦点之处放置有凸面折射镜(5);
    所述第四折射镜(7)固定在所述移动装置(8)之上。

    关 键 词:
    透镜 移动 浸入 光刻
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    本文标题:透镜可移动的浸入式光刻机.pdf
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