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    重庆时时彩个位杀胆定: 物体处理装置、曝光装置及曝光方法、以及元件制造方法.pdf

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    物体 处理 装置 曝光 方法 以及 元件 制造
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    摘要
    申请专利号:

    CN201610282687.1

    申请日:

    2010.08.17

    公开号:

    CN105954976A

    公开日:

    2016.09.21

    当前法律状态:

    实审

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20100817|||公开
    IPC分类号: G03F7/20; B65G49/06 主分类号: G03F7/20
    申请人: 株式会社尼康
    发明人: 青木保夫; 滨田智秀; 白数广; 户口学
    地址: 日本东京都
    优先权: 2009.08.20 US 61/235,499; 2010.08.12 US 12/855,283
    专利代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 李鹤松
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201610282687.1

    授权公告号:

    |||

    法律状态公告日:

    2016.10.19|||2016.09.21

    法律状态类型:

    实质审查的生效|||公开

    摘要

    于基板(P)下方配置有对基板(P)下面喷出空气的多个空气悬浮单元(50),并且基板(P)被以非接触方式支承成大致水平。进一步地,基板(P)被定点载台(40)从下方以非接触方式保持被曝光部位,该被曝光部位的面位置被精确调整。是以,能以高精度对基板(P)进行曝光,且能使基板载台装置(PST)的构成简单化。

    关于本文
    本文标题:物体处理装置、曝光装置及曝光方法、以及元件制造方法.pdf
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