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    重庆时时彩过年停几天: 一种基于SOI的SIPLZT异质结结构的混合型电光环形调制器.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201610490158.0

    申请日:

    2016.06.28

    公开号:

    CN105954892A

    公开日:

    2016.09.21

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G02F 1/03申请日:20160628|||公开
    IPC分类号: G02F1/03; G02F1/035; G02F1/055 主分类号: G02F1/03
    申请人: 东南大学
    发明人: 胡国华; 戚志鹏; 刘畅; 李磊; 恽斌峰; 张若虎; 崔一平
    地址: 211189 江苏省南京市江宁区东南大学路2号
    优先权:
    专利代理机构: 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 代理人: 杨晓玲
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201610490158.0

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2018.10.02|||2016.10.19|||2016.09.21

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种基于SOI的Si?PLZT异质结结构的混合型电光环形调制器,包括硅矩形平板直波导和硅矩形平板环形波导,硅矩形平板直波导和硅矩形平板环形波导相耦合,硅矩形平板直波导作为该混合型电光环形调制器的直通端,硅矩形平板环形波导作为该混合型电光环形调制器的谐振环;硅矩形平板直波导和硅矩形平板环形波导通过一个PLZT矩形通道完全包覆住,形成Si?PLZT混合型结构;在环形波导部分的内外两侧设置有一对半包裹型的弯曲共面行波电极对,通过弯曲共面行波电极对该混合型电光环形调制器进行加电调制,使PLZT矩形通道的折射率发生变化。本发明具有调制灵敏度高、器件尺寸小、可靠性好以及调制带宽大等特性。

    权利要求书

    1.一种基于SOI的Si-PLZT异质结结构的混合型电光环形调制器,其特征在于:
    包括制作在SOI基片顶层硅(6)表面上的硅矩形平板直波导(1)和硅矩形平板环形波
    导(2),硅矩形平板直波导(1)和硅矩形平板环形波导(2)相耦合,硅矩形平板直波
    导(1)作为该混合型电光环形调制器的直通端,硅矩形平板环形波导(2)作为该混合
    型电光环形调制器的谐振环;硅矩形平板直波导(1)和硅矩形平板环形波导(2)通过
    一个PLZT矩形通道(3)完全包覆住,形成Si-PLZT混合型波导;将Si-PLZT混合型
    波导分为直波导和环形波导两部分,在环形波导部分的内外两侧设置有一对半包裹型的
    弯曲共面行波电极对,通过弯曲共面行波电极对该混合型电光环形调制器进行加电调制,
    使PLZT矩形通道(3)的折射率发生变化,从而改变硅矩形平板环形波导(2)内光波
    的相位。
    2.根据权利要求1所述的基于SOI的Si-PLZT异质结结构的混合型电光环形调制
    器,其特征在于:将内侧的弯曲共面行波电极称为内环共面行波电极(4),将外侧的弯
    曲共面行波电极称为外环共面行波电极(5),内环共面行波电极(4)覆盖PLZT矩形
    通道(3)内侧面和顶面内侧区域,外环共面行波电极(5)覆盖PLZT矩形通道(3)
    外侧面和顶面外侧区域,内环共面行波电极(4)和外环共面行波电极(5)之间存在间
    隙。
    3.根据权利要求1所述的基于SOI的Si-PLZT异质结结构的混合型电光环形调制
    器,其特征在于:所述弯曲共面行波电极为180°的半环结构。

    关 键 词:
    一种 基于 SOI SIPLZT 异质结 结构 混合 电光 环形 调制器
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