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    制造 一半 导体 装置 方法
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    摘要
    申请专利号:

    CN201510860185.8

    申请日:

    2015.11.30

    公开号:

    CN105990104A

    公开日:

    2016.10.05

    当前法律状态:

    公开

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/027申请日:20151130|||公开
    IPC分类号: H01L21/027; G03F7/00; G03F7/26 主分类号: H01L21/027
    申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
    发明人: 赖韦翰; 张庆裕; 林进祥; 吴承翰; 王筱姗
    地址: 中国台湾新竹市
    优先权: 2015.03.16 US 14/658,354
    专利代理机构: 隆天知识产权代理有限公司 72003 代理人: 王芝艳;冯志云
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    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201510860185.8

    授权公告号:

    |||

    法律状态公告日:

    2016.11.09|||2016.10.05

    法律状态类型:

    实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明涉及一种制造一半导体装置的方法。该方法包括:形成一材料层于一基板之上;形成一负型光致抗蚀剂层于该材料层之上;对该负型光致抗蚀剂层执行一曝光工艺;对该负型光致抗蚀剂层执行一曝光后烘烤工艺;在该曝光工艺与该曝光后烘烤工艺之后,以一溶剂来处理该负型光致抗蚀剂层;该溶剂包含具有一大于正乙酸丁酯的偶极矩的一化学品。

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    本文标题:制造一半导体装置的方法.pdf
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