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    重庆时时彩开奖直播器电脑版: 制造一半导体装置的方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201510860185.8

    申请日:

    2015.11.30

    公开号:

    CN105990104A

    公开日:

    2016.10.05

    当前法律状态:

    公开

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/027申请日:20151130|||公开
    IPC分类号: H01L21/027; G03F7/00; G03F7/26 主分类号: H01L21/027
    申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
    发明人: 赖韦翰; 张庆裕; 林进祥; 吴承翰; 王筱姗
    地址: 中国台湾新竹市
    优先权: 2015.03.16 US 14/658,354
    专利代理机构: 隆天知识产权代理有限公司 72003 代理人: 王芝艳;冯志云
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201510860185.8

    授权公告号:

    |||

    法律状态公告日:

    2016.11.09|||2016.10.05

    法律状态类型:

    实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明涉及一种制造一半导体装置的方法。该方法包括:形成一材料层于一基板之上;形成一负型光致抗蚀剂层于该材料层之上;对该负型光致抗蚀剂层执行一曝光工艺;对该负型光致抗蚀剂层执行一曝光后烘烤工艺;在该曝光工艺与该曝光后烘烤工艺之后,以一溶剂来处理该负型光致抗蚀剂层;该溶剂包含具有一大于正乙酸丁酯的偶极矩的一化学品。

    权利要求书

    1.一种制造一半导体装置的方法,包括:
    形成一材料层于一基板之上;
    涂布一负型光致抗蚀剂层于该材料层之上;
    对该负型光致抗蚀剂层执行一曝光工艺;
    对该负型光致抗蚀剂层执行一曝光后烘烤工艺;以及
    在该曝光工艺与该曝光后烘烤工艺之后,以一溶剂来处理该负型光致抗
    蚀剂层,其中该溶剂包含具有一大于正乙酸丁酯的偶极矩的一化学品。
    2.如权利要求1所述的制造一半导体装置的方法,其中该化学品包括丙
    二醇甲醚与丙二醇甲醚醋酸酯的至少一个。
    3.如权利要求1所述的制造一半导体装置的方法,其中该溶剂还包含正
    乙酸丁酯,其中该正乙酸丁酯于该溶剂中的比例为大于10%。
    4.如权利要求1所述的制造一半导体装置的方法,其中该溶剂还包含一
    添加剂。
    5.如权利要求4所述的制造一半导体装置的方法,其中该添加剂包括胺
    类衍生物NR1R2R3,其中R1、R2与R3各代表一氢原子、一烷基、一环烷
    基,或一芳基。
    6.如权利要求5所述的制造一半导体装置的方法,其中R2与R3与彼
    此结合以形成一环。
    7.如权利要求4所述的制造一半导体装置的方法,其中该添加剂包括三
    苯基硫盐类衍生物。
    8.如权利要求4所述的制造一半导体装置的方法,还包括:
    对该负型光致抗蚀剂层执行一负型显影工艺,其中使用正乙酸丁酯为一
    显影剂来执行该负型显影工艺。
    9.一种制造一半导体装置的方法,包括:
    形成一可图案化层于一基板之上;
    形成一负型光致抗蚀剂层于该可图案化层之上;
    对该负型光致抗蚀剂层执行一曝光工艺;
    对该负型光致抗蚀剂层执行一曝光后烘烤工艺;
    对该负型光致抗蚀剂层执行一负型显影工艺,其中使用正乙酸丁酯为一
    显影剂来执行该负型显影工艺;以及
    对该负型光致抗蚀剂层执行一化学处理工艺,其中该化学处理工艺包括
    提供具有一大于1.9D的偶极矩的一化学品,其中该化学品包含丙二醇甲醚
    醋酸酯或是丙二醇甲醚与丙二醇甲醚醋酸酯的组合,且其中在该负型显影工
    艺之前、之期间或之后来执行该化学处理工艺。
    10.一种制造一半导体装置的方法,包括:
    形成一材料层于一基板之上;
    涂布一负型光致抗蚀剂层于该材料层之上;
    对该负型光致抗蚀剂层执行一曝光工艺;
    对该负型光致抗蚀剂层执行一曝光后烘烤工艺;
    对该负型光致抗蚀剂层执行一负型显影工艺,其中使用正乙酸丁酯为一
    显影剂来执行该负型显影工艺;以及
    以一溶剂来处理该负型光致抗蚀剂层,其中该溶剂包含一化学品与一添
    加剂,
    其中:
    该化学品包含丙二醇甲醚醋酸酯或具有一70/30浓度百分比的丙二醇甲
    醚与丙二醇甲醚醋酸酯的混合物,且
    该添加剂包含胺类衍生物或三苯基硫盐类衍生物。

    关 键 词:
    制造 一半 导体 装置 方法
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