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    重庆时时彩不能买了: 一种基于铁镍多元合金磁芯的微型薄膜电感.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201510061511.9

    申请日:

    2015.02.05

    公开号:

    CN105990321A

    公开日:

    2016.10.05

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):H01L 23/64申请日:20150205|||公开
    IPC分类号: H01L23/64; H01L21/02; H01F37/00; H01F27/24 主分类号: H01L23/64
    申请人: 中国科学院金属研究所
    发明人: 刘志权; 高丽茵
    地址: 110016 辽宁省沈阳市沈河区文化路72号
    优先权:
    专利代理机构: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 许宗富;周秀梅
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201510061511.9

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2018.10.26|||2016.11.09|||2016.10.05

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种基于铁镍多元合金磁芯的微型薄膜电感,属于微电感器件技术领域。该电感包括薄膜磁芯和线圈,所述薄膜磁芯为铁镍多元合金薄膜,其中:所述薄膜磁芯作为线圈的内芯,即线圈螺旋缠绕于薄膜磁芯之外;或者,所述薄膜磁芯作为外芯,即线圈包裹于薄膜磁芯之内。本发明通过调整磁芯材料铁、镍、磷、稀土多元合金的成分与制备工艺,可实现各向异性、矫顽力小、电阻率高、磁感应强度高的性能,从而使电感器的损耗减少、工作频率和品质因子提高,在微电子器件领域有良好的适用性。

    权利要求书

    1.一种基于铁镍多元合金磁芯的微型薄膜电感,其特征在于:该电感包括
    薄膜磁芯和线圈,所述薄膜磁芯为铁镍多元合金薄膜,其中:所述薄膜磁芯作为
    线圈的内芯,即线圈螺旋缠绕于薄膜磁芯之外;或者,所述薄膜磁芯作为外芯,
    即线圈包裹于薄膜磁芯之内。
    2.根据权利要求1所述的基于铁镍多元合金磁芯的微型薄膜电感,其特征
    在于:所述电感还包括衬底材料、钝化层、种子层和绝缘材料,其中:所述衬底
    材料上设有钝化层,钝化层上布置薄膜磁芯和线圈,在线圈之间以及线圈与薄膜
    磁芯之间通过设置绝缘材料保持绝缘;所述薄膜磁芯和线圈通过直流电镀方式制
    备,以种子层作为电镀薄膜磁芯和线圈时的基底层。
    3.根据权利要求2所述的基于铁镍多元合金磁芯的微型薄膜电感,其特征
    在于:所述铁镍多元合金薄膜中,铁元素含量为20-65wt.%,镍元素含量为
    20-70wt.%,铁和镍两者含量之和为70-90wt.%,稀土元素含量为0.1-5wt.%,其
    余为磷;其中:所述稀土元素为La、Ce、Nd、Eu、Sm和Gd中的任意一种或两
    种。
    4.根据权利要求2或3所述的基于铁镍多元合金磁芯的微型薄膜电感,其
    特征在于:直流电镀铁镍多元合金薄膜时,电镀液组成为:FeSO4为
    0.01-0.09mol/L,NiSO4为0.01-0.09mol/L,NaH2PO2为0.1-0.3mol/L,RECl3为
    0.5-4g/L,H3BO3为0.5-2mol/L,Na3C6H5O7为0.1-0.2mol/L,其余为去离子水;
    电镀工艺参数为:电镀阳极采用Fe和Ni纯金属板,电流密度10-50mA/cm2;调
    节镀液pH值为2-5,加热至40-70℃,电镀时间为5-40min。
    5.根据权利要求4所述的基于铁镍多元合金磁芯的微型薄膜电感,其特征
    在于:所述薄膜磁芯厚度为0.5~30μm,通过直流电镀的时间和电流大小控制;
    所述薄膜磁芯为单层结构或叠层结构,薄膜磁芯为叠层结构时,不同层内材料的
    组织和成分能够根据需要进行调整。
    6.根据权利要求4所述的基于铁镍多元合金磁芯的微型薄膜电感,其特征
    在于:所述薄膜磁芯具有各向异性,包括膜面内的各向异性,以及在垂直和平行
    膜面方向的各向异性。
    7.根据权利要求6所述的基于铁镍多元合金磁芯的微型薄膜电感,其特征
    在于:所述膜面内的各向异性是在直流电镀制备薄膜磁芯过程中,通过施以外加
    磁场诱导的方式和/或在薄膜磁芯上设计凹槽或增加起隙的方式产生。
    8.根据权利要求2所述的基于铁镍多元合金磁芯的微型薄膜电感,其特征
    在于:所述线圈为薄膜状,线圈的两端分别连接引线,引线再连接引脚。
    9.根据权利要求1所述的基于铁镍多元合金磁芯的微型薄膜电感,其特征
    在于:所述磁芯材料电镀后状态矫顽力最小能达0.3Oe,磁芯材料饱和磁感应强
    度最高能达2.5T,磁芯材料其电阻率最高可达700μΩ·cm。
    10.根据权利要求2所述的基于铁镍多元合金磁芯的微型薄膜电感,其特
    征在于:所述衬底为硅、锗、硅锗、碳化硅或砷化镓,或者含有不同电路结构的
    CMOS器件及芯片上微处理系统。

    关 键 词:
    一种 基于 多元 合金 微型 薄膜 电感
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