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    重庆时时彩龙虎技巧: 目标布置的优化和相关的目标.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201580009522.0

    申请日:

    2015.01.29

    公开号:

    CN106030414A

    公开日:

    2016.10.12

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20150129|||公开
    IPC分类号: G03F7/20; G01N21/93; G01N21/956 主分类号: G03F7/20
    申请人: ASML荷兰有限公司
    发明人: H·W·M·范布尔; J·M·M·拜欧特曼; 柳星兰; H·J·H·斯米尔蒂; R·J·F·范哈恩
    地址: 荷兰维德霍温
    优先权: 2014.02.21 EP 14156125.8
    专利代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 张启程
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    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201580009522.0

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2018.10.09|||2016.11.09|||2016.10.12

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    公开了一种设计目标布置的方法,以及相关的目标和掩模版。所述目标包括多个光栅,每个光栅包括多个子结构。所述方法包括步骤:定义目标区域;将所述子结构定位在所述目标区域内,以便形成所述光栅;和在所述光栅周边处定位辅助特征,所述辅助特征配置成减小在所述光栅周边处的被测量的强度峰。所述方法可以包括优化过程,所述优化过程包括对通过使用量测过程检验所述目标而获得的所形成的图像进行模型化;和评价所述目标布置是否被针对于使用量测过程的检测进行优化。

    权利要求书

    1.一种设计目标布置的方法,所述目标包括多个光栅,每个光栅包括多个子结构,所述
    方法包括下述步骤:
    定义目标区域;
    将所述子结构定位在所述目标区域内,以便形成所述光栅;和
    在光栅的周边处定位辅助特征,所述辅助特征配置成减小在所述光栅的周边处的被测
    量的强度峰。
    2.根据权利要求1所述的方法,其中将所述子结构定位在所述目标区域内的步骤包括
    依次形成每个独立的光栅。
    3.根据权利要求1或2所述的方法,其中将所述子结构定位在所述目标区域内的步骤包
    括针对每一光栅从所述目标区域的周边开始朝向所述目标区域的中心依次定位所述子结
    构。
    4.根据前述权利要求中任一项所述的方法,包括在定位用于形成特定的光栅的所述子
    结构之前,使所述光栅的子结构的长度适应于剩余的目标区域。
    5.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中靠近于特定的光栅并且相对于该特定
    的光栅定向的所述辅助特征定位成与所述特定的光栅同相。
    6.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中所述辅助特征包括第一辅助特征,所
    述目标区域由基本上围绕所述目标区域的多个所述第一辅助特征来限定。
    7.根据权利要求6所述的方法,其中所述辅助特征包括第二辅助特征,所述第二辅助特
    征设置在所述目标区域内的各个光栅之间。
    8.根据权利要求7所述的方法,其中所述第二辅助特征被定位成填充包括相关的检验
    波长的至少一半波长的所述光栅之间的空间。
    9.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中每个光栅大体上由所述辅助特征围
    绕,以便于将每个光栅与其周围环境隔离开。
    10.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中所述辅助特征包括具有大体上小于
    光栅节距的节距的线。
    11.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中所述辅助特征的节距使得所述辅助
    特征在使用量测过程检验所述目标期间不被检测到。
    12.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中辅助特定定位成紧邻每个光栅的每
    个最外面的子结构。
    13.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中每个光栅具有大致相等的面积。
    14.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中所述方法包括对通过使用量测过程
    检验所述目标而获得的所形成的图像进行模型化;和
    评价所述目标布置是否针对于使用量测过程的检测被优化。
    15.根据权利要求14所述的方法,其中所述方法被迭代地重复,用于优化所述目标布
    置。
    16.根据权利要求14或15所述的方法,其中用于考虑特定的目标布置是否被认为是优
    化的标准包括下述中的一个或更多个:
    在使用基于衍射的量测过程进行检验时,确定在光栅的周边处的强度是否具有与在所
    述光栅的中心处的强度相同的数量级;
    在使用所述基于衍射的量测过程进行检验时,确定在存在重叠、离焦和像差的情况下
    是否在光栅的周边处有最小强度变化;
    确定在光栅之间是否具有足够的间距用于针对相关的检验波长范围的优化的目标识
    别;和
    确定总的光束面积是否是最大化的。
    17.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其中所述目标包括两个或更多的叠置的
    目标层,顶部目标层包括重叠偏置,其中所述偏置没有施加至包含在所述顶部层中的辅助
    特征。
    18.根据权利要求1-16中任一项所述的方法,其中所述目标包括两个或更多的叠置的
    目标层,顶部目标层包括重叠偏置,其中所述顶部层不包括任何辅助特征。
    19.一种目标,包括:
    多个光栅,每个光栅包括多个子结构;
    辅助特征,包括具有实质上比所述光栅的节距小的节距的线;
    其中所述目标包括在光栅周边处的辅助特征,所述辅助特征被配置成减小在所述光栅
    周边处的被测量的强度峰。
    20.根据权利要求19所述的目标,其中每个光栅大体上由所述辅助特征围绕,以便于将
    每个光栅与其周围环境隔离开。
    21.根据权利要求19或20所述的目标,其中所述辅助特征包括第一辅助特征,所述目标
    区域由基本上围绕所述目标区域的多个所述第一辅助特征来定义。
    22.根据权利要求21所述的目标,其中所述辅助特征包括第二辅助特征,所述第二辅助
    特征设置在所述目标区域内的各个光栅之间。
    23.根据权利要求19-22中任一项所述的目标,其中所述辅助特征包括具有大体上小于
    光栅的节距的节距的线。
    24.根据权利要求19-23中任一项所述的目标,其中所述辅助特征的节距使得所述辅助
    特征在使用量测过程检验所述目标期间不被检测到。
    25.根据权利要求19-24中任一项所述的目标,其中所述辅助特征配置成减小在所述光
    栅的周边处的衍射强度峰。
    26.根据权利要求19-25中任一项所述的目标,其中辅助特定定位成紧邻每个光栅的每
    个最外面的子结构。
    27.根据权利要求19-26中任一项所述的目标,其中靠近于特定的光栅并且相对于所述
    特定的光栅定向的所述辅助特征定位成与所述特定的光栅同相。
    28.根据权利要求19-27中任一项所述的目标,其中每个光栅具有大体相等的面积。
    29.一种掩模版,包括配置成形成根据权利要求19-28中任一项所述的目标的特征。

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