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    光刻 设备 器件 制造 方法
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    摘要
    申请专利号:

    CN201580009245.3

    申请日:

    2015.01.20

    公开号:

    CN106030413A

    公开日:

    2016.10.12

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20150120|||公开
    IPC分类号: G03F7/20 主分类号: G03F7/20
    申请人: ASML荷兰有限公司
    发明人: G·纳齐博格鲁; M·范巴伦; F·J·J·范鲍克斯台尔; K·库依皮尔斯; J·G·高森; L·J·A·凡鲍克霍文
    地址: 荷兰维德霍温
    优先权: 2014.02.20 EP PCT/EP2014/053372; 2014.05.01 EP 14166771.7; 2014.10.10 EP 14188390.0
    专利代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 张启程
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    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201580009245.3

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2018.09.14|||2016.11.09|||2016.10.12

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供一种包括阻挡系统(3)的光刻设备,及使用如所描述的光刻设备中的任一个的器件制造方法。所述阻挡系统用以维持阻挡装置(4)内的气体的受?;ぬ寤???稍谒龉饪躺璞傅牟煌考喽杂诒舜硕贫蔽炙鍪鼙;ぬ寤?。所述阻挡系统可用于所述光刻设备内的不同部位中。所述阻挡装置的几何构型影响所述受?;ぬ寤绾胃咝У乇晃?,尤其是在高速的情况下。本发明的几何构型减少从所述阻挡装置外部进入所述受?;ぬ寤幕肪称宓牧?。

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