• 四川郎酒股份有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度环保奖 2019-05-13
  • 银保监会新规剑指大企业多头融资和过度融资 2019-05-12
  • 韩国再提4国联合申办世界杯 中国网友无视:我们自己来 2019-05-11
  • 中国人为什么一定要买房? 2019-05-11
  • 十九大精神进校园:风正扬帆当有为 勇做时代弄潮儿 2019-05-10
  • 粽叶飘香幸福邻里——廊坊市举办“我们的节日·端午”主题活动 2019-05-09
  • 太原设禁鸣路段 设备在测试中 2019-05-09
  • 拜耳医药保健有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度企业奖 2019-05-08
  • “港独”没出路!“梁天琦们”该醒醒了 2019-05-07
  • 陈卫平:中国文化内涵包含三方面 文化复兴表现在其中 2019-05-06
  • 人民日报客户端辟谣:“合成军装照”产品请放心使用 2019-05-05
  • 【十九大·理论新视野】为什么要“建设现代化经济体系”?   2019-05-04
  • 聚焦2017年乌鲁木齐市老城区改造提升工程 2019-05-04
  • 【专家谈】上合组织——构建区域命运共同体的有力实践者 2019-05-03
  • 【华商侃车NO.192】 亲!楼市火爆,别忘了买车位啊! 2019-05-03
    • / 22
    • 下载费用:20 金币  

    重庆时时彩个位如何买: 光刻设备和器件制造方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201580009245.3

    申请日:

    2015.01.20

    公开号:

    CN106030413A

    公开日:

    2016.10.12

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20150120|||公开
    IPC分类号: G03F7/20 主分类号: G03F7/20
    申请人: ASML荷兰有限公司
    发明人: G·纳齐博格鲁; M·范巴伦; F·J·J·范鲍克斯台尔; K·库依皮尔斯; J·G·高森; L·J·A·凡鲍克霍文
    地址: 荷兰维德霍温
    优先权: 2014.02.20 EP PCT/EP2014/053372; 2014.05.01 EP 14166771.7; 2014.10.10 EP 14188390.0
    专利代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 张启程
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201580009245.3

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2018.09.14|||2016.11.09|||2016.10.12

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供一种包括阻挡系统(3)的光刻设备,及使用如所描述的光刻设备中的任一个的器件制造方法。所述阻挡系统用以维持阻挡装置(4)内的气体的受?;ぬ寤???稍谒龉饪躺璞傅牟煌考喽杂诒舜硕贫蔽炙鍪鼙;ぬ寤?。所述阻挡系统可用于所述光刻设备内的不同部位中。所述阻挡装置的几何构型影响所述受?;ぬ寤绾胃咝У乇晃?,尤其是在高速的情况下。本发明的几何构型减少从所述阻挡装置外部进入所述受?;ぬ寤幕肪称宓牧?。

    权利要求书

    1.一种光刻设备,所述光刻设备包括第一部件及第二部件,所述第一
    部件及所述第二部件被配置成在扫描方向和基本上垂直于所述扫描方向
    的步进方向中的一个方向上经历相对于彼此的相对移动,其中:
    所述第一部件具有第一表面;
    所述第二部件具有第二表面;
    其中所述第一表面与所述第二表面彼此面对;
    所述第一表面及所述第二表面中的至少一个特定表面容纳阻挡系统;

    所述阻挡系统被配置成提供阻挡装置,所述阻挡装置能够操作以减少
    或防止环境气体流入至介于所述第一表面与所述第二表面之间的气体的
    受?;ぬ寤?;且
    所述阻挡系统包括如下特征中的至少一个:
    壁,其包围与所述第一表面及所述第二表面中的所述特定表面相邻的
    所述受?;ぬ寤囊徊糠?;和
    至少一个开口,其适于来自于所述至少一个开口的阻挡气体流动以建
    立包围与所述第一表面及所述第二表面中的所述特定表面相邻的所述受
    ?;ぬ寤囊徊糠值钠?;
    所述阻挡装置在所述扫描方向及所述步进方向所处的平面中具有几
    何构型,且所述阻挡装置能够操作以引导环境气体在所述受?;ぬ寤芪?br />流动,所述环境气体的流动是由所述第一部件与所述第二部件的所述相对
    移动诱发的;
    所述几何构型具有第一角部及第二角部;
    当所述第一部件与所述第二部件在所述扫描方向及所述步进方向中
    的一特定方向上相对于彼此而移动时,所述第一角部用作所述阻挡装置的
    前边缘且所述第二角部用作所述阻挡装置的后边缘;和
    当所述第一部件与所述第二部件在与所述特定方向相反的另一方向
    上相对于彼此而移动时,所述第一角部用作所述阻挡装置的后边缘且所述
    第二角部用作所述阻挡装置的前边缘。
    2.根据所述权利要求1所述的光刻设备,其中在所述第一表面及所述
    第二表面中的所述特定表面处,限定在第一方向上的假想线,所述假想线
    穿过所述第一角部及所述第二角部。
    3.根据所述权利要求2所述的光刻设备,其中所述几何构型相对于所
    述第一方向是对称的,和/或其中所述几何构型在所述第一方向上伸长,和
    /或其中所述第一方向相对于所述特定方向倾斜。
    4.根据前述权利要求中任一项所述的光刻设备,其中所述开口或所述
    开口中的至少一个是提供阻挡气体的湍流的内部开口,和/或其中所述开口
    或所述开口中的至少一个是提供阻挡气体的层流的外部开口。
    5.根据前述权利要求中任一项所述的光刻设备,其中辐射束穿过所述
    受?;ぬ寤?。
    6.根据所述权利要求5所述的光刻设备,其中所述辐射束是被引导至
    传感器的辐射束。
    7.根据所述权利要求6所述的光刻设备,其中所述第一部件和/或所
    述第二部件上具有至少一个目标以供所述传感器检测。
    8.根据所述权利要求6所述的光刻设备,其中所述传感器是用于测量
    一个物体相对于另一物件的对准的对准传感器。
    9.根据所述权利要求6、7或8所述的光刻设备,其中所述第一部件
    和所述第二部件中的一个包括衬底台,且所述第一部件和所述第二部件中
    的另一个包括参考框架。
    10.根据所述权利要求8或9所述的光刻设备,其中所述受?;ぬ寤?br />与所述传感器接触。
    11.根据所述权利要求6所述的光刻设备,其中所述传感器是用于测
    量表面的形貌的水平传感器。
    12.根据所述权利要求9、10或11所述的光刻设备,其中所述光刻设
    备包括在用于将投影束投影至衬底上的投影系统的顶部上的板,且所述第
    一部件和所述第二部件中的一个包括所述板。
    13.根据所述权利要求12所述的光刻设备,其中所述光刻设备包括图
    案形成装置台,且所述第一部件和所述第二部件中的另一个包括所述图案
    形成装置台。
    14.一种器件制造方法,所述器件制造方法包括:将投影束投影至定
    位于衬底台上的衬底上、及可选地使用辐射束以测量光刻设备的性质,其
    中所述投影束及所述辐射束中的至少一个穿过阻挡系统,所述阻挡系统被
    配置成提供阻挡装置,所述阻挡装置能够操作以减少或防止环境气体流入
    至介于所述光刻设备的第一表面与第二表面之间的气体的受?;ぬ寤?,
    所述受?;ぬ寤糜谒鐾队笆八龇涫械闹辽僖桓龃┕?,所述光
    刻设备包括具有第一表面的第一部件且还包括具有第二表面的第二部件,
    所述第一部件及所述第二部件配置成在扫描方向及基本上垂直于所述扫
    描方向的步进方向中的一个方向上经历相对于彼此的相对移动,
    其中所述阻挡装置在所述扫描方向及所述步进方向所处的平面中具
    有几何构型,且所述阻挡装置能够操作以引导环境气体在所述受?;ぬ寤?br />周围流动,所述环境气体的流动是由所述第一部件与所述第二部件的所述
    相对移动诱发的;
    所述几何构型具有第一角部及第二角部;
    当所述第一部件与所述第二部件在所述扫描方向及所述步进方向中
    的一特定方向上相对于彼此而移动时,所述第一角部用作所述阻挡装置的
    前边缘且所述第二角部用作所述阻挡装置的后边缘;和
    当所述第一部件与所述第二部件在与所述特定方向相反的另一方向
    上相对于彼此而移动时,所述第一角部用作所述阻挡装置的后边缘且所述
    第二角部用作所述阻挡装置的前边缘。

    关 键 词:
    光刻 设备 器件 制造 方法
      专利查询网所有资源均是用户自行上传分享,仅供网友学习交流,未经上传用户书面授权,请勿作他用。
    0条评论

    还可以输入200字符

    暂无评论,赶快抢占沙发吧。

    关于本文
    本文标题:光刻设备和器件制造方法.pdf
    链接地址://www.4mum.com.cn/p-6199928.html
    关于我们 - 网站声明 - 网站地图 - 资源地图 - 友情链接 - 网站客服客服 - 联系我们

    [email protected] 2017-2018 www.4mum.com.cn网站版权所有
    经营许可证编号:粤ICP备17046363号-1 
     


    收起
    展开
  • 四川郎酒股份有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度环保奖 2019-05-13
  • 银保监会新规剑指大企业多头融资和过度融资 2019-05-12
  • 韩国再提4国联合申办世界杯 中国网友无视:我们自己来 2019-05-11
  • 中国人为什么一定要买房? 2019-05-11
  • 十九大精神进校园:风正扬帆当有为 勇做时代弄潮儿 2019-05-10
  • 粽叶飘香幸福邻里——廊坊市举办“我们的节日·端午”主题活动 2019-05-09
  • 太原设禁鸣路段 设备在测试中 2019-05-09
  • 拜耳医药保健有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度企业奖 2019-05-08
  • “港独”没出路!“梁天琦们”该醒醒了 2019-05-07
  • 陈卫平:中国文化内涵包含三方面 文化复兴表现在其中 2019-05-06
  • 人民日报客户端辟谣:“合成军装照”产品请放心使用 2019-05-05
  • 【十九大·理论新视野】为什么要“建设现代化经济体系”?   2019-05-04
  • 聚焦2017年乌鲁木齐市老城区改造提升工程 2019-05-04
  • 【专家谈】上合组织——构建区域命运共同体的有力实践者 2019-05-03
  • 【华商侃车NO.192】 亲!楼市火爆,别忘了买车位啊! 2019-05-03