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    重庆时时彩网开奖结果: 涂布于抗蚀剂图案的含有聚合物的涂布液.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201580010173.4

    申请日:

    2015.02.03

    公开号:

    CN106030418A

    公开日:

    2016.10.12

    当前法律状态:

    实审

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/40申请日:20150203|||公开
    IPC分类号: G03F7/40; G03F7/32; H01L21/027; C08G77/14 主分类号: G03F7/40
    申请人: 日产化学工业株式会社
    发明人: 志垣修平; 境田康志; 坂本力丸
    地址: 日本东京都
    优先权: 2014.02.26 JP 2014-035855
    专利代理机构: 北京市中咨律师事务所 11247 代理人: 孙丽梅;段承恩
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201580010173.4

    授权公告号:

    |||

    法律状态公告日:

    2017.04.12|||2016.10.12

    法律状态类型:

    实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明的课题是提供代替以往的冲洗液使用的、涂布于抗蚀剂图案的涂布液。本发明的解决方法是一种涂布于抗蚀剂图案的涂布液,含有聚合物和溶剂,所述聚合物具有下述式(1)所示的结构单元,所述溶剂含有水和/或醇类,(式(1)中,R1表示碳原子数为1~12的有机基团,X表示下述式(2)所示的有机基团。式(2)中,R2和R3分别独立地表示直链状或支链状的碳原子数为1~3的亚烷基,该R2与前述式(1)中的氧原子结合,R4表示碳原子数为1~4的烷氧基、烯丙氧基或羟基,p表示0、1或2。))。

    权利要求书

    1.一种涂布于抗蚀剂图案的涂布液,含有聚合物和溶剂,所述聚合物具有下述式(1)所
    示的结构单元,所述溶剂含有水和/或醇类,

    式(1)中,R1表示碳原子数为1~12的有机基团,X表示下述式(2)所示的有机基团,

    式(2)中,R2和R3分别独立地表示直链状或支链状的碳原子数为1~3的亚烷基,该R2与
    所述式(1)中的氧原子结合,R4表示碳原子数为1~4的烷氧基、烯丙氧基或羟基,p表示0、1
    或2。
    2.根据权利要求1所述的涂布液,所述聚合物还具有下述式(3)所示的结构单元,

    式(3)中,2个X分别与所述式(1)中的定义相同。
    3.根据权利要求2所述的涂布液,所述聚合物是使下述式(6)所示的化合物与下述共水
    解缩合物反应而得的生成物,所述共水解缩合物是下述式(4)所示的化合物和下述式(5)所
    示的化合物的共水解缩合物,
    R1Si(OY)3 (4)
    Si(OZ)4 (5)

    式中,R1与所述式(1)中的定义相同,Y和Z分别独立地表示甲基或乙基,R2、R3、R4和p分别
    与所述式(2)中的定义相同。
    4.根据权利要求3所述的涂布液,所述式(4)所示的化合物是β-(2-三乙氧基甲硅烷基
    乙基)-γ-丁内酯。
    5.根据权利要求1~3中任一项所述的涂布液,定义所述R1的碳原子数为1~12的有机基
    团选自直链状、支链状或环状的烷基、乙烯基、烯丙基、苯基和下述式(7)~式(13)所示的基
    团,

    式中,R5表示直链状或支链状的碳原子数为1~3的亚烷基,该R5与所述式(1)中的Si原
    子结合,R6表示氢原子或甲基,R7和R8分别独立地表示氢原子或烯丙基。
    6.根据权利要求5所述的涂布液,定义所述R1的碳原子数为1~12的有机基团是所述式
    (11)所示的基团,特别是下述式(11’)所示的基团,

    7.根据权利要求1~6中任一项所述的涂布液,所述含有水和/或醇类的溶剂中的醇类
    是下述式(6)所示的化合物,

    式(6)中,R2、R3、R4和p分别与所述式(2)中的定义相同。
    8.根据权利要求7所述的涂布液,所述含有水和/或醇类的溶剂是水和醇类的混合物,
    该混合物中醇类的含有比例为10质量%~70质量%。
    9.根据权利要求1~8中任一项所述的涂布液,所述聚合物的浓度为0.5质量%~20质
    量%。
    10.根据权利要求1~9中任一项所述的涂布液,所述涂布液相当于冲洗液。
    11.一种反转图案的形成方法,包括下述工序:
    在形成有下层膜的基板上涂布正型的抗蚀剂溶液,进行预烘烤,从而形成抗蚀剂膜的
    工序,
    将所述抗蚀剂膜曝光的工序,
    将所述曝光后的抗蚀剂膜加热,然后用碱性显影液使该抗蚀剂膜显影,从而在所述形
    成有下层膜的基板上形成抗蚀剂图案的工序,
    以至少填充所述抗蚀剂图案的图案间隙的方式涂布权利要求1~10中任一项所述的涂
    布液,除去或减少该涂布液包含的所述聚合物以外的成分和所述碱性显影液,从而形成涂
    膜的工序,
    对所述涂膜进行回蚀,使所述抗蚀剂图案的表面露出的工序,以及
    除去所述抗蚀剂图案的工序。
    12.根据权利要求11所述的反转图案的形成方法,通过将涂布有所述涂布液的所述基
    板旋转干燥,或在旋转干燥后进行加热,从而除去或减少该涂布液包含的所述聚合物以外
    的成分和所述碱性显影液。
    13.根据权利要求11或12所述的反转图案的形成方法,除去所述抗蚀剂图案的工序通
    过干蚀刻或灰化进行。
    14.一种半导体装置的制作方法,包含下述工序:通过权利要求11~13中任一项所述的
    方法形成反转图案,然后以该反转图案为掩模,对所述形成有下层膜的基板进行蚀刻。

    关 键 词:
    抗蚀剂 图案 含有 聚合物 涂布液
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