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    重庆时时彩后二跨度法: 移动至少一个光学部件的方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201580008654.1

    申请日:

    2015.02.10

    公开号:

    CN106030410A

    公开日:

    2016.10.12

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20150210|||公开
    IPC分类号: G03F7/20; G02B7/18 主分类号: G03F7/20
    申请人: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
    发明人: S.克朗; L.伯杰
    地址: 德国上科亨
    优先权: 2014.02.14 DE 102014202755.1
    专利代理机构: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 陈钘;张邦帅
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201580008654.1

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2018.09.18|||2017.03.15|||2016.10.12

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    一种移动光学部件的方法,其中,当移动部件时,所需的最大电功率小于用于移动的至少两个致动器的最大电功率之和。

    权利要求书

    1.一种移动光学部件形式的至少一个机械装置(23)的方法,该至少一
    个机械装置具有至少两个移动自由度,该方法包括下列步骤:
    -提供具有至少一个机械装置(23)的机电系统,该至少一个机械装置能
    够借助至少两个电动致动器(47;57;58)从第一移动位置(34)移动到第二移动
    位置(35);
    -预先定义最大功率(Pmax),其允许由所有致动器(47;57;58)在机械装
    置(23)的移动期间在任意时刻一起消耗,其中,最大功率(Pmax)小于所有单
    独致动器(47;57;58)的最大功率(P1max)之和(S);
    -确认驱动协议,用于在符合预定最大功率(Pmax)的同时,使至少一个
    机械装置(23)从该第一移动位置(34)沿移动轨迹(33)移动到该第二移动位置
    (35);以及
    -根据驱动协议通过驱动致动器(47;57;58)来移动机械装置(23)。
    2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,确认驱动协议包含下列步
    骤:
    2.1.预先定义该机电系统的所有机械装置的移动轨迹(33);
    2.2.取决于相应移动轨迹(33),预先定义或确认用于每个机械装置(23)
    的驱动方案;以及
    2.3.确认单独机械装置(23)的移动的时间顺序。
    3.如前述权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,该移动轨迹
    (33)在移动过程开始时指向预定方向(37)。
    4.如前述权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,该移动轨迹
    (33)在至少两个点处指向不同方向。
    5.如前述权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,该移动轨迹
    (33)引导通过该机械装置(23)的零位置(36)。
    6.如前述权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,不同致动器装
    置(24)至少部分地相继启动。
    7.如前述权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,为了确认驱动
    协议,确认一启动方案,其中,至少一个致动器驱动放大器(30)的供应电压
    被适应性适配。
    8.如前述权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,确定驱动协议
    涉及考虑在至少两个机械装置(23)的致动器装置(24)之间的本地储存和/或电
    磁串扰中的可能电能储存。
    9.一种光学组件(25),包含;
    9.1.机电系统,具有;
    9.1.1.光学部件形式的至少一个机械装置(23),具有至少两个移动
    自由度;
    9.1.2.至少两个电动致动器装置(45),用于将至少一个机械装置(23)
    从第一移动位置(34)沿移动轨迹移动到第二移动位置(35);以及
    9.2.控制装置(29),用于借助致动器装置(45)控制机械装置(23)的移
    动,
    9.3.其中,机械装置(23)通过致动器装置(45)的受控启动移动到预定移
    动位置组和/或沿预定移动轨迹组移动;
    9.4.其特征在于机电系统的设计,使得当该机械装置(23)移动到预定
    移动位置和/或沿预定移动轨迹移动时,致动器装置(45)的最大总功率消耗
    的大小至多等于预定最大功率(Pmax),其中,该最大功率(Pmax)小于所有单独
    致动器装置的最大功率(Pimax)之和(S)。
    10.如权利要求9所述的光学组件(25),其特征在于,该机械装置(23)
    具有至少两个旋转轴(A,B),该致动器装置(45)具有至少两个致动轴(X,Y),
    其中,旋转轴(A,B)相对于致动轴(X,Y)旋转一角度φ>0°。
    11.如权利要求10所述的光学组件(25),其特征在于,旋转轴(A,B)
    相对于致动轴(X,Y)旋转的角度φ被选择成使得设定要求最大机械有效功
    率的移动位置所需的电功率最小。
    12.如权利要求9至11中任一项所述的光学组件(25),其特征在于,
    该机械装置(23)布置成使得其具有零位置(36),该零位置被选择成使得设定
    机械装置(23)的所有预定移动位置所需的峰值电功率最小。
    13.如权利要求9至12中任一项所述的光学组件(25),其特征在于,
    提供储存装置(56)来本地储存电能。
    14.一种设计具有至少一个可移动光学部件和致动器(45)的光学组件
    (25)的方法,至少一个可移动光学部件具有至少两个旋转轴(A,B),致动器
    装置具有带致动器轴(X,Y)的至少两个致动器,以移动光学部件,该方法包
    括下列步骤:
    -预先定义用于移动该光学部件的可能移动位置和/或移动轨迹;
    -确定用于设定所有移动位置和/或移动轨迹所需的峰值总电功率;
    -取决于旋转轴(A,B)相对于致动轴(X,Y)旋转的角度φ,确定峰值总
    功率的最小值;
    -关于光学部件取向致动器(45),使得旋转轴(A,B)相对于致动轴(X,Y)
    旋转一角度φ。
    15.一种包含具有至少一个如权利要求9至13中任一项所述的光学
    组件(25)的第一分面反射镜(13)的照明光学单元的照射光学单元(4)。
    16.一种照明系统(2),包含:
    a.如权利要求15所述的照明光学单元(4);以及
    b.辐射源(3)。
    17.一种用于微光刻的投射曝光设备(1),包含:
    c.如权利要求16所述的照明系统(2);以及
    d.投射光学单元(7)。
    18.一种制造微结构或纳米结构部件的方法,包含下列步骤:
    -提供基板,由光敏材料构成的层至少部分地施加到该基板;
    -提供具有待成像的结构的掩模母版;
    -提供如权利要求17所述的投射曝光设备(1);
    -借助投射曝光设备(1)将掩模母版的至少一部分投射到基板的光敏层
    区域上。
    19.一种根据如权利要求18所述的方法制造的部件。

    关 键 词:
    移动 至少 一个 光学 部件 方法
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