• 浪潮孙丕恕从信息时代到智能时代 人工智能价值将爆发式释放 2019-12-21
  • 四川郎酒股份有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度环保奖 2019-05-13
  • 银保监会新规剑指大企业多头融资和过度融资 2019-05-12
  • 韩国再提4国联合申办世界杯 中国网友无视:我们自己来 2019-05-11
  • 中国人为什么一定要买房? 2019-05-11
  • 十九大精神进校园:风正扬帆当有为 勇做时代弄潮儿 2019-05-10
  • 粽叶飘香幸福邻里——廊坊市举办“我们的节日·端午”主题活动 2019-05-09
  • 太原设禁鸣路段 设备在测试中 2019-05-09
  • 拜耳医药保健有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度企业奖 2019-05-08
  • “港独”没出路!“梁天琦们”该醒醒了 2019-05-07
  • 陈卫平:中国文化内涵包含三方面 文化复兴表现在其中 2019-05-06
  • 人民日报客户端辟谣:“合成军装照”产品请放心使用 2019-05-05
  • 【十九大·理论新视野】为什么要“建设现代化经济体系”?   2019-05-04
  • 聚焦2017年乌鲁木齐市老城区改造提升工程 2019-05-04
  • 【专家谈】上合组织——构建区域命运共同体的有力实践者 2019-05-03
    • / 11
    • 下载费用:30 金币  

    重庆时时彩易位投注法: 用于亚20NM特征的均匀压印图案转移的方法.pdf

    关 键 词:
    用于 20 NM 特征 均匀 压印 图案 转移 方法
      专利查询网所有资源均是用户自行上传分享,仅供网友学习交流,未经上传用户书面授权,请勿作他用。
    摘要
    申请专利号:

    CN201480071486.6

    申请日:

    2014.12.30

    公开号:

    CN106030406A

    公开日:

    2016.10.12

    当前法律状态:

    实审

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/00申请日:20141230|||公开
    IPC分类号: G03F7/00 主分类号: G03F7/00
    申请人: 佳能纳米技术公司; 分子制模股份有限公司
    发明人: 叶正茂; D·L·拉布拉克
    地址: 美国得克萨斯州
    优先权: 2013.12.30 US 61/921,647
    专利代理机构: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 陈哲锋;郭辉
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201480071486.6

    授权公告号:

    |||

    法律状态公告日:

    2017.01.18|||2016.10.12

    法律状态类型:

    实质审查的生效|||公开

    摘要

    描述了增加压印光刻中蚀刻选择性的方法,所述方法使用赋予多层材料堆叠件独特形貌的材料沉积技术,由此增加蚀刻过程窗口和改善蚀刻选择性。例如,可在图案化光刻胶层与沉积的金属、准金属或非有机氧化物之间获得大于或等于50:1的蚀刻选择性,这在将图案转移进入衬底的蚀刻过程之前显著保留了图案特征高度,实现了在高保真度下的亚20nm图案转移。

    关于本文
    本文标题:用于亚20NM特征的均匀压印图案转移的方法.pdf
    链接地址://www.4mum.com.cn/p-6199894.html
    关于我们 - 网站声明 - 网站地图 - 资源地图 - 友情链接 - 网站客服 - 联系我们

    [email protected] 2017-2018 www.4mum.com.cn网站版权所有
    经营许可证编号:粤ICP备17046363号-1 
     


    收起
    展开
  • 浪潮孙丕恕从信息时代到智能时代 人工智能价值将爆发式释放 2019-12-21
  • 四川郎酒股份有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度环保奖 2019-05-13
  • 银保监会新规剑指大企业多头融资和过度融资 2019-05-12
  • 韩国再提4国联合申办世界杯 中国网友无视:我们自己来 2019-05-11
  • 中国人为什么一定要买房? 2019-05-11
  • 十九大精神进校园:风正扬帆当有为 勇做时代弄潮儿 2019-05-10
  • 粽叶飘香幸福邻里——廊坊市举办“我们的节日·端午”主题活动 2019-05-09
  • 太原设禁鸣路段 设备在测试中 2019-05-09
  • 拜耳医药保健有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度企业奖 2019-05-08
  • “港独”没出路!“梁天琦们”该醒醒了 2019-05-07
  • 陈卫平:中国文化内涵包含三方面 文化复兴表现在其中 2019-05-06
  • 人民日报客户端辟谣:“合成军装照”产品请放心使用 2019-05-05
  • 【十九大·理论新视野】为什么要“建设现代化经济体系”?   2019-05-04
  • 聚焦2017年乌鲁木齐市老城区改造提升工程 2019-05-04
  • 【专家谈】上合组织——构建区域命运共同体的有力实践者 2019-05-03
  • 股票融资低于多少要强制平仓 个人投资理财项目推荐 2019年上证指数最高点2019上证指数年线 上证指数000001 保定期货配资 股票涨跌数据 关于基金配资的规定 国内有正规的股票配资平台吗 股票配资平台哪个好选九梦财富 宝牛e配 银行怎么给私募基金配资 上证指数年线是多少 指南针炒股软件下载 股票融资买入额什么意思 炒股是怎么玩的 炒股入门知识