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    重庆时时彩好中奖嘛: 使用相干衍射成像方法以及使用微型小孔和孔系统的反射模式的成像系统.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201580009671.7

    申请日:

    2015.01.27

    公开号:

    CN106030405A

    公开日:

    2016.10.12

    当前法律状态:

    实审

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 1/84申请日:20150127|||公开
    IPC分类号: G03F1/84(2012.01)I; G03F7/20 主分类号: G03F1/84
    申请人: 保罗·谢勒学院
    发明人: 亚辛·埃金吉; 李相说
    地址: 瑞士菲利根
    优先权: 2014.02.21 EP 14156197.7
    专利代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 王萍;李春晖
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201580009671.7

    授权公告号:

    |||

    法律状态公告日:

    2016.11.09|||2016.10.12

    法律状态类型:

    实质审查的生效|||公开

    摘要

    对反射样品特别是针对图案化和空白的DUV、EUV掩膜进行成像的设备及方法包括布置光学系统;曝光掩膜以获得包括断层图像的空间像以及使用扫描相干衍射方法根据微型小孔系统来显影光学系统的与空间像相关联的光学参数。所述设备包括:a)诸如EUV源、DUV源、BEUV或X射线源的辐射源(10),辐射源能够具有相关的低时间或空间相干性以发射光束(22);b)诸如菲涅耳板或环面镜的第一聚焦元件(12),第一聚焦元件用于将所发射的光束聚焦到所需延伸;c)镜子(16),镜子朝向要被分析的样品(6)反射经聚焦的光束;光束以相对于样品(6)的表面的法线向量成2°至25°优选地约6°的角度被引向样品(6);d)小孔孔板(18),小孔孔板通过其第一孔(a1)允许将光束直径聚焦和截取到期望程度,从而相对于从光源(10)初始发射的光束(22),也将光束形成为更单色;e)机械装置(17),机械装置沿垂直于样品

    权利要求书

    1.一种反射模式的设备(2),所述设备使用扫描相干衍射成像系统
    以测量样品(6)的空间像,所述样品是对光进行反射或具有布拉格衍射
    的平坦物体,所述样品包括用于以DUV、EUV、BEUV和X射线进行光
    刻的光掩膜,所述设备(2)包括:
    a)诸如EUV源、DUV源、BEUV或X射线源的辐射源(10),所
    述辐射源能够具有相关的低时间或空间相干性以发射光束(22);
    b)诸如菲涅耳板或环面镜的第一聚焦元件(12),所述第一聚焦元件
    用于将所发射的光束聚焦到所需延伸;
    c)镜子(16),所述镜子朝向要被分析的所述样品(6)反射经聚焦
    的光束;所述光束以相对于所述样品(6)的表面的法线向量成2°至25°
    的角度被引向所述样品(6),优选地所述光束以相对于所述样品(6)的
    表面的法线向量成约6°的角度被引向所述样品(6);
    d)小孔孔板(18),所述小孔孔板通过所述小孔孔板的第一孔(a1)
    允许将光束直径聚焦和截取到期望程度,从而相对于从所述光源(10)初
    始发射的光束(22),也将所述光束形成为更单色;
    e)机械装置(17),所述机械装置沿垂直于样品表面的法线向量的方
    向连续地或逐步地移动所述样品(6)以允许分析所述样品(6),所述样
    品以入射光的相同角度反射穿过被设置在所述样品(6)的上游的所述小
    孔孔板(18)的所述第一孔(a1)的光束,入射光的角度诸如为例如参照
    上述的优选示例的6°;
    f)具有作为透明窗的第二孔(a2)的所述小孔孔板(18),所述小孔
    孔板通过所述小孔孔板的被设置成与所述第一孔(a1)相邻的第二孔允许
    限制由所述样品(6)反射的光束的直径,从而调整所述光束的直径;以

    g)像素检测器(20),所述像素检测器分析通过所述第二孔(a2)的
    反射光束。
    2.根据权利要求1所述的设备(2),还包括计算单元(24),所述计
    算单元适于重构所述样品(6)的空间像,所述空间像优选地包括所述反
    射模式下的光束的与三维断层图像有关的穿透效果。
    3.根据权利要求1或2所述的设备(2),还包括:使用薄膜光刻技
    术提供相干光的复合透明波带板、反射多层镜、小孔孔板以及小孔孔板的
    孔。
    4.根据权利要求1至3中任一项所述的设备,还通过光学系统、顺
    序排序的孔和小孔孔板的组合来调节单色相干光束,其中,所述第一孔
    (a1)和作为所述透明窗的所述第二孔(a2)是由纳米厚的膜制成的。
    5.根据权利要求4所述的设备(2),其中,所述透明窗(a2)适于
    透过1阶衍射光束到达像素检测器(20)。
    6.根据权利要求3至5中任一项所述的设备(2),其中,所述反射
    多层镜(16)是被组成的平面镜或曲面镜,所述反射多层镜设置在所述小
    孔孔板(18)的上游或下游。
    7.根据权利要求1至7所述的设备(2),还包括:通过所述聚焦元
    件(12)、所述透明窗(a2)和所述小孔孔板(18)的组合控制相干元件
    和所述光束的放大率两者。
    8.根据权利要求1至7中任一项所述的设备(2),其中,微型小孔
    孔板(18)的所述第二孔(a2)包括衰减元件(28),以将反射光束的第
    零阶衰减到预先确定的程度。

    关 键 词:
    使用 相干 衍射 成像 方法 以及 微型 小孔 系统 反射 模式
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