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    重庆时时彩分析: 用于投射光刻的照明光学单元.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201580009540.9

    申请日:

    2015.02.16

    公开号:

    CN106030415A

    公开日:

    2016.10.12

    当前法律状态:

    实审

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20150216|||公开
    IPC分类号: G03F7/20 主分类号: G03F7/20
    申请人: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
    发明人: M.恩德雷斯
    地址: 德国上科亨
    优先权: 2014.02.21 DE 102014203187.7
    专利代理机构: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 张邦帅
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201580009540.9

    授权公告号:

    |||

    法律状态公告日:

    2017.03.22|||2016.10.12

    法律状态类型:

    实质审查的生效|||公开

    摘要

    一种用于投射光刻的照明光学单元。在此,第一传输光学单元用于引导从光源发出的照明光。照明预定分面反射镜布置在第一传输光学单元下游且包含多个照明预定分面。该分面反射镜借助所照明的照明预定分面的布置而产生物场的预定照明。这造成了对照明光学单元的照明光瞳的照明,其预先确定物场中的照明角度分布。照明光瞳具有偏离圆形形式的包络线。照明光瞳划分为子光瞳区域(30),其以逐列(Z)和/或逐行(S)方式布置。这产生了照明光学单元与设置在其下游的投射光学单元的尽可能完全填充的出瞳,以在像场中成像物场。

    权利要求书

    1.一种用于投射光刻的照明光学单元(11),用于照明物场(8),
    -包含第一传输光学单元(4),用于引导从光源(2)发出的照明光(3);
    -包含照明预定分面反射镜(7),其布置在该第一传输光学单元(4)的下游并包含多个
    照明预定分面(25),所述分面反射镜借助被照明的照明预定分面(25)的布置产生该物场
    (8)的预定照明;
    -包含照明光学单元(11)的布置,使得这导致对照明光学单元(11)的具有最大范围的
    照明光瞳的照明,其具有偏离圆形形式的包络线(33)并预先确定该物场(8)中的照明角度
    分布;
    -其中,该照明光瞳划分为以逐列(Z)和/或逐行(S)方式布置的多个子光瞳区域(30)。
    2.如权利要求1所述的照明光学单元,其特征在于,该照明预定分面反射镜(7)构造为
    光瞳分面反射镜(7),其包含多个光瞳分面且布置在该照明光学单元的光瞳平面(32)中或
    与其共轭的平面(32a)中,光瞳分面预先确定该照明光瞳中的子光瞳区域(30)。
    3.如权利要求1所述的照明光学单元,其特征在于,该物场(8)的预定照明借助如下方
    式被预先确定为该物场(8)的场形式和照明角度分布的预定照明:
    -该照明预定分面反射镜(7)的可照明边缘形式;以及
    -照明预定分面(25)的单独倾斜角。
    4.如权利要求1至3中任一项所述的照明光学单元,其特征在于这样的布置,使得该照
    明光瞳的包络线(33)在第一光瞳维度(x)中具有最大范围(A)并在第二光瞳维度(y)中具有
    最小范围(B),其中该最大范围和该最小范围之间的比例为至少1.1。
    5.如权利要求1至4中任一项所述的照明光学单元,其特征在于,该布置的行之一(Si)的
    子光瞳区域(30)相对于该布置的相邻行(Sj)的子光瞳区域(30)彼此偏移一行内的彼此相
    邻的子光瞳区域(30)的间距(bij)的一半。
    6.如权利要求1至5中任一项所述的照明光学单元,其特征在于,该照明光瞳中的子光
    瞳区域(30)在第一子光瞳维度(x)中具有最大范围,并在第二子光瞳维度(y)中具有最小范
    围,其中该最大范围和该最小范围之间的比例为至少1.1。
    7.如权利要求1至6中任一项所述的照明光学单元,其特征在于,该第一传输光学单元
    包含具有多个传输分面的传输分面反射镜(6)。
    8.如权利要求7所述的照明光学单元,其特征在于,该传输分面反射镜的包络线在第一
    场维度(y)中具有最大范围,并在第二场维度(x)中具有最小范围,其中该最大范围和该最
    小范围之间的比例为至少1.1。
    9.如权利要求1至8中任一项所述的照明光学单元,其特征在于,该传输光学单元(4)包
    含集光器(24),该集光器在该照明光学单元(11)的照明光瞳上产生该光源(2)的变形图像。
    10.如权利要求1至9中任一项所述的照明光学单元,其特征在于另一传输光学单元
    (42;47;48),其布置在该照明预定分面反射镜的下游,用于产生照明光瞳。
    11.一种光学系统,包含如权利要求1至10中任一项所述的照明光学单元以及用于将物
    场(8)成像在像场(17)中的投射光学单元(10)。
    12.一种照明系统,包含如权利要求1至10中任一项所述的照明光学单元以及光源(2)。
    13.一种微光刻曝光设备,包含如权利要求11所述的光学系统以及光源(2)。
    14.一种用于制造微结构部件的方法,包含以下方法步骤:
    -提供掩模母版(8);
    -提供晶片(19),其具有对照明光(3)敏感的涂层;
    -借助如权利要求13所述的投射曝光设备将该掩模母版(8)的至少一部分投射至该晶
    片(19)上;以及
    -将该晶片(19)上的曝光于该照明光(3)的光敏层显影。
    15.一种根据权利要求14所述的方法制造的部件。

    关 键 词:
    用于 投射 光刻 照明 光学 单元
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