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    一种 水性 光刻 剥离
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    摘要
    申请专利号:

    CN201310677506.1

    申请日:

    2013.12.13

    公开号:

    CN103676504A

    公开日:

    2014.03.26

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/42申请日:20131213|||公开
    IPC分类号: G03F7/42 主分类号: G03F7/42
    申请人: 江阴润玛电子材料股份有限公司
    发明人: 戈士勇
    地址: 214423 江苏省无锡市江阴市周庄镇欧洲工业园区
    优先权:
    专利代理机构: 江阴大田知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 代理人: 杜兴
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201310677506.1

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2016.08.17|||2014.04.23|||2014.03.26

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种水性光刻胶剥离液,水性光刻胶剥离液由醇醚、二元醇、水溶性有机溶剂、季铵类氢氧化物、表面活性剂和纯水按一定比例混合而成。该剥离液剥离速度适中,1000倍显微镜下,剥离后的晶圆表面无光刻胶残留;10000倍显微镜下,对铝和铜金属层几乎没有腐蚀;与现有技术中有机剥离液使用温度在60℃~90℃以上相比,该剥离液在25~45℃使用温度下剥离速率快,使用能耗低;使用成本低,寿命长,环保。

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