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    重庆时时彩个位必中: 一种水性光刻胶剥离液.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201310677506.1

    申请日:

    2013.12.13

    公开号:

    CN103676504A

    公开日:

    2014.03.26

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/42申请日:20131213|||公开
    IPC分类号: G03F7/42 主分类号: G03F7/42
    申请人: 江阴润玛电子材料股份有限公司
    发明人: 戈士勇
    地址: 214423 江苏省无锡市江阴市周庄镇欧洲工业园区
    优先权:
    专利代理机构: 江阴大田知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 代理人: 杜兴
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201310677506.1

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2016.08.17|||2014.04.23|||2014.03.26

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种水性光刻胶剥离液,水性光刻胶剥离液由醇醚、二元醇、水溶性有机溶剂、季铵类氢氧化物、表面活性剂和纯水按一定比例混合而成。该剥离液剥离速度适中,1000倍显微镜下,剥离后的晶圆表面无光刻胶残留;10000倍显微镜下,对铝和铜金属层几乎没有腐蚀;与现有技术中有机剥离液使用温度在60℃~90℃以上相比,该剥离液在25~45℃使用温度下剥离速率快,使用能耗低;使用成本低,寿命长,环保。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种水性光刻胶剥离液,其特征在于,所述水性光刻胶剥离液由下列组分组成,所述组分的重量百分比为:
    醇醚                       30~40%;
    二元醇                     10~20%;
    水溶性有机溶剂             15~30%;
    季铵类氢氧化物             0.1~1%;
    表面活性剂                 0.05~0.1%;
    其余为纯水。

    2.  根据权利要求1中所述的水性光刻胶剥离液,其特征在于,所述醇醚为二乙二醇单丁醚、丙二醇单丁醚、二丙二醇单丁醚、二乙二醇单甲醚、乙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚和二丙二醇单乙醚中的一种。

    3.  根据权利要求1中所述的水性光刻胶剥离液,其特征在于,所述二元醇为乙二醇或丙二醇。

    4.  根据权利要求1中所述的水性光刻胶剥离液,其特征在于,所述水溶性有机溶剂由组分A和组分B混合而成,所述组分A为选自砜类和亚砜类有机溶剂中的一种、所述组分B为选自酰胺类和内酰胺类有机溶剂中的一种,所述组分A在所述水性光刻胶剥离液中的质量百分比为3~20%。

    5.  根据权利要求4所述的水性光刻胶剥离液,其特征在于,所述组分A在所述水性光刻胶剥离液中的质量百分比为5~10%。

    6.  根据权利要求5所述的水性光刻胶剥离液,其特征在于,所述组分A为二甲基亚砜、二甲基砜、二乙基砜和四亚甲基砜中的一种,所述组分B为、N,N- 二甲基甲酰胺、N,N- 二甲基乙酰胺、N- 甲基甲酰胺、N,N- 二乙基乙酰胺、N- 甲基-2- 吡咯烷酮、N- 乙基-2- 吡咯烷酮和N- 丙基-2- 吡咯烷酮中的一种。

    7.  根据权利要求1中所述的水性光刻胶剥离液,其特征在于,所述季铵类氢氧化物为四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵和四丁基氢氧化铵中的一种或几种。

    8.  根据权利要求1中所述的水性光刻胶剥离液,其特征在于,所述表面活性剂为阴离子表面活性剂。

    9.  根据权利要求8中所述的水性光刻胶剥离液,其特征在于,所述阴离子表面活性剂为烷基苯磺酸钠、烷基硫酸钠、烷基聚氧乙烯醚硫酸钠、脂肪酸钠、烷基聚氧乙烯醚羧酸钠、烷基磺酸钠的一种或几种。

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    一种 水性 光刻 剥离
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