• 浪潮孙丕恕从信息时代到智能时代 人工智能价值将爆发式释放 2019-12-21
  • 四川郎酒股份有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度环保奖 2019-05-13
  • 银保监会新规剑指大企业多头融资和过度融资 2019-05-12
  • 韩国再提4国联合申办世界杯 中国网友无视:我们自己来 2019-05-11
  • 中国人为什么一定要买房? 2019-05-11
  • 十九大精神进校园:风正扬帆当有为 勇做时代弄潮儿 2019-05-10
  • 粽叶飘香幸福邻里——廊坊市举办“我们的节日·端午”主题活动 2019-05-09
  • 太原设禁鸣路段 设备在测试中 2019-05-09
  • 拜耳医药保健有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度企业奖 2019-05-08
  • “港独”没出路!“梁天琦们”该醒醒了 2019-05-07
  • 陈卫平:中国文化内涵包含三方面 文化复兴表现在其中 2019-05-06
  • 人民日报客户端辟谣:“合成军装照”产品请放心使用 2019-05-05
  • 【十九大·理论新视野】为什么要“建设现代化经济体系”?   2019-05-04
  • 聚焦2017年乌鲁木齐市老城区改造提升工程 2019-05-04
  • 【专家谈】上合组织——构建区域命运共同体的有力实践者 2019-05-03
    • / 11
    • 下载费用:30 金币  

    重庆时时彩怎么选四胆: 真空反应腔以及真空加工设备.pdf

    关 键 词:
    真空 反应 以及 加工 设备
      专利查询网所有资源均是用户自行上传分享,仅供网友学习交流,未经上传用户书面授权,请勿作他用。
    摘要
    申请专利号:

    CN201310753412.8

    申请日:

    2013.12.31

    公开号:

    CN103695860A

    公开日:

    2014.04.02

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/52申请日:20131231|||公开
    IPC分类号: C23C14/52; C23C14/00; C25F3/02; C25F7/00 主分类号: C23C14/52
    申请人: 合肥京东方光电科技有限公司; 京东方科技集团股份有限公司
    发明人: 王轶南; 张福刚; 张巍; 刘祖宏; 侯智; 吴代吾
    地址: 230012 安徽省合肥市新站区铜陵北路2177号
    优先权:
    专利代理机构: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 黄灿;吕品
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201310753412.8

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2015.09.30|||2014.04.30|||2014.04.02

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开的真空反应腔以及真空加工设备,其中,本发明的真空反应腔,包括多个壁板,多个壁板中至少一个壁板上设置有观察装置,观察装置包括设置于壁板上的观察窗以及用于遮挡观察窗的遮挡板,遮挡板可在遮挡观察窗的第一位置以及不遮挡观察窗的第二位置之间运动。本发明的真空加工设备,包括本发明的真空反应腔。本发明的真空反应腔以及本发明的真空加工设备,遮挡板既?;す鄄齑?,还有效遮挡观察窗四周的壁板。本发明的真空反应腔以及本发明的真空加工设备可以有效?;す鄄齑?,延长其寿命,并有效保证观测效果;同时遮挡板也?;ち斯鄄齑八闹艿谋诎濉幢诎迳系淖钜妆豢淌辞?,使得壁板整体寿命延长,减少高频维护的费用和人力损失。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种真空反应腔,包括多个壁板,多个所述壁板围合形成用于容纳工件的腔室,多个所述壁板中至少一个壁板上设置有观察装置,其特征在于,所述观察装置包括设置于所述壁板上的观察窗以及设置于所述壁板的面向腔室的内部的一侧的用于遮挡观察窗的遮挡板,所述遮挡板可在遮挡所述观察窗的第一位置以及不遮挡所述观察窗的第二位置之间运动。

    2.  根据权利要求1所述的真空反应腔,其特征在于,所述遮挡板与用于带动所述遮挡板在所述第一位置和第二位置之间运动的运动杆连接,所述运动杆由所述腔室的内部伸出。

    3.  根据权利要求2所述的真空反应腔,其特征在于,所述运动杆由所述腔室的内部伸出的一端连接有弹簧管,所述弹簧管通过压缩带动所述运动杆向所述腔室的内部运动以使所述遮挡板由所述第二位置运动至所述第一位置,所述弹簧管通过伸长带动所述运动杆向所述腔室的外部运动以使遮挡板由所述第一位置运动至所述第二位置。

    4.  根据权利要求3所述的真空反应腔,其特征在于,所述弹簧管的一端与所述运动杆的由所述腔室的内部伸出的一端连接,所述弹簧管的另一端连接有手柄,所述手柄通过带动所述弹簧管伸长或压缩以使所述遮挡板在所述第一位置和第二位置之间运动。

    5.  根据权利要求3所述的真空反应腔,其特征在于,所述真空反应腔还包括用于带动所述弹簧管伸长或压缩的动力机构,所述弹簧管的一端与所述运动杆的由所述腔室的内部伸出的一端连接,所述弹簧管的另一端与所述动力机构连接,所述动力机构通过带动所述弹簧管伸长或压缩以使所述遮挡板在所述第一位置和第二位置之间运动。

    6.  根据权利要求5所述的真空反应腔,其特征在于,所述动力机构包括:
    用于带动所述弹簧管伸长或压缩以使所述遮挡板在所述第一位置和第二位置之间运动的动力部件;
    控制器,所述控制器与所述动力部件连接,所述控制器通过控制所述动力部件的运动控制所述遮挡板在所述第一位置和第二位置之间的运动。

    7.  根据权利要求6所述的真空反应腔,其特征在于,所述动力部件为电机,所述电机的输出轴与所述弹簧管的另一端连接,所述控制器与所述电机连接,所述控制器通过控制所述电机的运动控制所述遮挡板在所述第一位置和第二位置之间的运动。

    8.  根据权利要求6所述的真空反应腔,其特征在于,所述动力部件为气缸,所述气缸的活塞杆与所述弹簧管的另一端连接,所述控制器与所述气缸连接,所述控制器通过控制所述气缸的活塞杆的运动控制所述遮挡板在所述第一位置和第二位置之间的运动。

    9.  根据权利要求2所述的真空反应腔,其特征在于,所述观察窗的上方、下方分别设置有第一沟槽以及与第一沟槽相对的第二沟槽,所述遮挡板可滑动地安装于所述第一沟槽以及所述第二沟槽之间,所述第一沟槽以及第二沟槽用于对在所述第一位置和第二位置之间运动的所述遮挡板导向。

    10.  根据权利要求9所述的真空反应腔,其特征在于,所述第二沟槽的槽底可旋转地设置有滚珠,所述遮挡板通过所述滚珠可滑动地安装于所述第二沟槽内。

    11.  根据权利要求2所述的真空反应腔,其特征在于,所述运动杆位于所述腔室的内部的部分镶嵌于所述壁板的内部。

    12.  根据权利要求2所述的真空反应腔,其特征在于,所述运动杆位于所述腔室的内部的部分的外侧设置有防护板。

    13.  根据权利要求2所述的真空反应腔,其特征在于,多个所述壁板中至少一个壁板上设置有多个所述观察装置,多个所述观察装置的所述遮挡板分别通过连接杆与所述运动杆连接,以使所述运动杆同时带动多个所述观察装置的所述遮挡板运动。

    14.  根据权利要求13所述的真空反应腔,其特征在于,多个所述壁板中的两相对壁板上分别设置有多个所述观察装置,所述两相对壁板中每一壁板上的多个所述观察装置的所述遮挡板分别与一个所述运动杆连接,以使每一运动杆同时带动一个壁板上的多个所述观察装置的所述遮挡板运动。

    15.  一种真空加工设备,其特征在于,包括如权利要求1-14任一项所述的真空反应腔。

    说明书

    说明书真空反应腔以及真空加工设备
    技术领域
    本发明涉及光伏产业、半导体、液晶面板产业的真空刻蚀与真空镀膜设备,特别是涉及一种真空反应腔以及真空加工设备。
    背景技术
    光伏产业、半导体、液晶面板产业中经常用到的真空刻蚀设备或真空镀膜设备中的真空反应腔一般采用不透明的金属材质制造而成。这种真空反应腔一般会设置透明石英玻璃材质的观察窗,以便于操作者在生产异常时或者出于某种目的监测时观察真空设备内部情况。
    现有的真空加工设备的观察窗均不包括?;ど枋?,这致使观察窗长期裸露在制程反应环境中,一段时间后,观察窗会因为玻璃雾化而无法正常使用,不得不定期更换,浪费大量人力、物力,同时间接降低设备的稼动率;而且部分反应制成需要操作者通过观察窗探测反应物和生成物光谱以控制反应时间,由于观察窗被电浆雾化,导致光谱探测不精确并进一步导致刻蚀不充分,严重影响产品品质;另外一方面,真空反应腔室的内壁板会受到刻蚀过程中电浆和反应物的刻蚀,导致内壁板氧化层缺失,内壁板导电,大大缩短了内壁板的使用寿命,浪费大量资金,同时壁板更换也浪费了人力,并降低设备稼动率,影响生产效率。
    发明内容
    本发明的目的在于提供一种有效隔离反应物及离子轰击对观察窗的伤害的,有效提高观察窗的使用寿命的真空反应腔以及真空加工设备。
    本发明的真空反应腔,包括多个壁板,多个所述壁板围合形成用于容纳工件的腔室,多个所述壁板中至少一个壁板上设置有观察装置,所述观察装置包括设置于所述壁板上的观察窗以及设置于所述壁板的面向腔室的内部的一侧 的用于遮挡观察窗的遮挡板,所述遮挡板可在遮挡所述观察窗的第一位置以及不遮挡所述观察窗的第二位置之间运动。
    本发明的真空反应腔,其中,所述遮挡板与用于带动所述遮挡板在所述第一位置和第二位置之间运动的运动杆连接,所述运动杆由所述腔室的内部伸出。
    本发明的真空反应腔,其中,所述运动杆由所述腔室的内部伸出的一端连接有弹簧管,所述弹簧管通过压缩带动所述运动杆向所述腔室的内部运动以使所述遮挡板由所述第二位置运动至所述第一位置,所述弹簧管通过伸长带动所述运动杆向所述腔室的外部运动以使遮挡板由所述第一位置运动至所述第二位置。
    本发明的真空反应腔,其中,所述弹簧管的一端与所述运动杆的由所述腔室的内部伸出的一端连接,所述弹簧管的另一端连接有手柄,所述手柄通过带动所述弹簧管伸长或压缩以使所述遮挡板在所述第一位置和第二位置之间运动。
    本发明的真空反应腔,其中,所述真空反应腔还包括用于带动所述弹簧管伸长或压缩的动力机构,所述弹簧管的一端与所述运动杆的由所述腔室的内部伸出的一端连接,所述弹簧管的另一端与所述动力机构连接,所述动力机构通过带动所述弹簧管伸长或压缩以使所述遮挡板在所述第一位置和第二位置之间运动。
    本发明的真空反应腔,其中,所述动力机构包括:
    用于带动所述弹簧管伸长或压缩以使所述遮挡板在所述第一位置和第二位置之间运动的动力部件;
    控制器,所述控制器与所述动力部件连接,所述控制器通过控制所述动力部件的运动控制所述遮挡板在所述第一位置和第二位置之间的运动。
    本发明的真空反应腔,其中,所述动力部件为电机,所述电机的输出轴与所述弹簧管的另一端连接,所述控制器与所述电机连接,所述控制器通过控制所述电机的运动控制所述遮挡板在所述第一位置和第二位置之间的运动。
    本发明的真空反应腔,其中,所述动力部件为气缸,所述气缸的活塞杆与所述弹簧管的另一端连接,所述控制器与所述气缸连接,所述控制器通过控制 所述气缸的活塞杆的运动控制所述遮挡板在所述第一位置和第二位置之间的运动。
    本发明的真空反应腔,其中,所述观察窗的上方、下方分别设置有第一沟槽以及与第一沟槽相对的第二沟槽,所述遮挡板可滑动地安装于所述第一沟槽以及所述第二沟槽之间,所述第一沟槽以及第二沟槽用于对在所述第一位置和第二位置之间运动的所述遮挡板导向。
    本发明的真空反应腔,其中,所述第二沟槽的槽底可旋转地设置有滚珠,所述遮挡板通过所述滚珠可滑动地安装于所述第二沟槽内。
    本发明的真空反应腔,其中,所述运动杆位于所述腔室的内部的部分镶嵌于所述壁板的内部。
    本发明的真空反应腔,其中,所述运动杆位于所述腔室的内部的部分的外侧设置有防护板。
    本发明的真空反应腔,其中,多个所述壁板中至少一个壁板上设置有多个所述观察装置,多个所述观察装置的所述遮挡板分别通过连接杆与所述运动杆连接,以使所述运动杆同时带动多个所述观察装置的所述遮挡板运动。
    本发明的真空反应腔,其中,多个所述壁板中的两相对壁板上分别设置有多个所述观察装置,所述两相对壁板中每一壁板上的多个所述观察装置的所述遮挡板分别与一个所述运动杆连接,以使每一运动杆同时带动一个壁板上的多个所述观察装置的所述遮挡板运动。
    本发明的真空加工设备,包括本发明的真空反应腔。
    本发明的真空反应腔以及本发明的真空加工设备,遮挡板既?;す鄄齑?,还有效遮挡观察窗四周的壁板。本发明的真空反应腔以及本发明的真空加工设备可以有效?;す鄄齑?,延长其寿命,并有效保证观测效果;同时遮挡板也?;ち斯鄄齑八闹艿谋诎濉幢诎迳系淖钜妆豢淌辞?,使得壁板整体寿命延长,减少高频维护的费用和人力损失。
    附图说明
    图1为本发明的真空反应腔的第一种实施例的结构示意图的俯视图;
    图2为本发明的真空反应腔的第一种实施例的壁板、观察装置以及动力机 构的结构示意图;
    图3为本发明的真空反应腔的第二种实施例的壁板、观察装置以及动力机构的结构示意图;
    图4为本发明的真空反应腔的第三种实施例的壁板、观察装置以及动力机构的结构示意图;
    图5为图2的A-A剖视图。
    具体实施方式
    下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明,以使本领域的技术人员可以更好的理解本发明并能予以实施,但所举实施例不作为对本发明的限定。
    实施例一
    如图1、图2所示,本发明的真空反应腔的实施例,包括多个壁板1,多个壁板1围合形成用于容纳工件的腔室10。腔室10为长方形。多个壁板1中至少一个壁板1上设置有观察装置2,观察装置2包括设置于壁板1上的观察窗4以及设置于壁板1的面向腔室10的内部的一侧的用于遮挡观察窗4的遮挡板3。遮挡板3位于腔室10的内部。遮挡板3可在遮挡观察窗4的第一位置11以及不遮挡观察窗4的第二位置12之间运动。
    图2示出了腔室10内部的观察装置2的结构。本发明的真空反应腔的实施例,其中,遮挡板3与用于带动遮挡板3在第一位置11和第二位置12之间运动的运动杆6连接,运动杆6由腔室10的内部伸出。
    本发明的真空反应腔的实施例,其中,观察窗4的材质为耐腐蚀、耐冲击的石英玻璃。
    本发明的真空反应腔的实施例,其中,遮挡板3依照观察窗4的尺寸设计,遮挡板3既?;す鄄齑?,还有效遮挡观察窗4四周的壁板。这种设计不仅可以有效?;す鄄齑?,延长其寿命,并有效保证观测效果;同时遮挡板3也?;ち斯鄄齑?四周的壁板——即壁板上的最易被刻蚀区域,使得壁板整体寿命延长,减少高频维护的费用和人力损失。
    本发明的真空反应腔的实施例,其中,多个壁板1中至少一个壁板上设置 有多个观察装置2,多个观察装置2的遮挡板3分别通过连接杆5与运动杆6连接,以使运动杆6同时带动多个观察装置的2遮挡板3运动。
    本发明的真空反应腔的实施例,其中,多个壁板1中的两个相对壁板1上分别设置有多个观察装置2,两个壁板1中每一壁板上的多个观察装置2的遮挡板3分别与一个运动杆6连接,以使每一运动杆6同时带动一个壁板1上的多个观察装置2的遮挡板3运动。
    本发明的真空反应腔的实施例,其中,运动杆6由腔室10的内部伸出的一端连接有弹簧管8,弹簧管8通过压缩带动运动杆6向腔室10的内部运动以使遮挡板3由第二位置12运动至第一位置11,弹簧管8通过伸长带动运动杆6向腔室10的外部运动以使遮挡板3由第一位置11运动至第二位置12。
    本发明的真空反应腔的实施例,其中,弹簧管8可以用真空弹簧管或波纹管替代,真空弹簧管是密闭的,内部与外部不存在气体流通,同时它又具备普通弹簧管的特性——随外界应力改变长度。
    本发明的真空反应腔的实施例,其中,弹簧管8为一种传递力的部件,弹簧管8的一端与运动杆6的由腔室10的内部伸出的一端连接,当对弹簧管8的另一端施加压力或拉力,则弹簧管8压缩或伸长。当弹簧管8压缩,则弹簧管8的一端带动运动杆6向腔室10的内部运动以使遮挡板3由第二位置12运动至第一位置11;当弹簧管8伸长,则弹簧管8的一端带动运动杆6向腔室10的外部运动以使遮挡板3由第一位置11运动至第二位置12。
    本发明的真空反应腔的实施例,其中,真空反应腔还包括用于带动弹簧管8伸长或压缩的动力机构,弹簧管8的一端与运动杆6的由腔室10的内部伸出的一端连接,弹簧管8的另一端与上述动力机构连接,上述动力机构通过带动弹簧管8伸长或压缩以使遮挡板3在第一位置11和第二位置12之间运动。
    本发明的真空反应腔的实施例,其中,上述动力机构包括:
    用于带动弹簧管8伸长或压缩以使遮挡板3在第一位置11和第二位置12之间运动的动力部件31;
    控制器,控制器与动力部件31连接,控制器通过控制动力部件31的运动控制遮挡板3在第一位置11和第二位置12之间的运动。
    本发明的真空反应腔的实施例,其中,动力部件31为电机13,电机13 的输出轴与弹簧管8的另一端连接,控制器与电机13连接,控制器通过控制电机13的运动控制遮挡板3在第一位置11和第二位置12之间的运动。
    本发明的真空反应腔的实施例,其中,电机13的输出轴与运动杆6之间设置减速器26。
    结合图5所示,本发明的真空反应腔的实施例,其中,观察窗4的上方、下方分别设置有第一沟槽21以及与第一沟槽21相对的第二沟槽22,遮挡板3可滑动地安装于第一沟槽21以及第二沟槽22之间,第一沟槽21以及第二沟槽22用于对在第一位置11和第二位置12之间运动的遮挡板3导向。
    本发明的真空反应腔的实施例,其中,第二沟槽22的槽底可旋转地设置有滚珠9,遮挡板3通过滚珠9可滑动地安装于第二沟槽22内。
    本发明的真空反应腔的实施例,其中,滚珠9为陶瓷材质,
    遮挡板3可滑动地镶嵌在第一沟槽21以及第二沟槽22中。第一沟槽21以及第二沟槽22通过螺丝连接于壁板1的面向腔室10的内部的一侧。
    遮挡板3与运动杆6通过连接杆5刚性连接,有效保障遮挡板3与第一沟槽21的内壁、第二沟槽22的内壁、壁板1均不接触。遮挡板3通过滚珠9在第二沟槽22内移动,由于滚珠9的支撑,使得动力机构在通过运动杆6移动遮挡板3时所用的牵引力更小,减少驱动负载,节省耗电,也延长动力机构寿命;同时也更不易产生灰尘,保持腔室内部清洁。
    第一沟槽21、第二沟槽22的作用还表现为:当遮挡板3与运动杆6发生意外脱离时,遮挡板3不会掉落,使真空反应腔的腔室10的内部的其余配件和产品不受影响。
    第一沟槽21、第二沟槽22与壁板1之间通过螺丝连接,以方便遮挡板3的拆卸、安装以及定期维护更换。
    为更好的?;ぴ硕?,以延长其寿命,本发明的真空反应腔的实施例,其中,运动杆6可以使用钢材制成,运动杆6位于腔室10的内部的部分可以镶嵌于壁板的内部。
    为更好的?;ぴ硕?,以延长其寿命,本发明的真空反应腔的实施例,其中,运动杆6位于腔室10的内部的部分的外侧还可以设置有防护板,上述防护板用于将运动杆6?;て鹄?,以免其接触电浆以致被电浆刻蚀。
    实施例二
    结合图3所示,本发明的真空反应腔的实施例与实施例一的区别仅在于动力部件的不同,其中,本实施例的动力部件31为气缸23,气缸23的活塞杆与弹簧管8的另一端连接,控制器与气缸23连接,控制器通过控制气缸23的活塞杆的运动控制遮挡板3在第一位置11和第二位置12之间的运动。
    实施例三
    结合图4所示,本发明的真空反应腔的实施例,其中,弹簧管8的一端与运动杆6的由腔室10的内部伸出的一端连接,弹簧管8的另一端连接有手柄25,手柄25通过带动弹簧管8伸长或压缩以使遮挡板3在第一位置11和第二位置12之间运动。
    本发明的真空加工设备,包括本发明的真空反应腔。
    本发明的真空反应腔使用耐高温、耐腐蚀、抗离子轰击的陶瓷材料制作遮挡板,在使用观察窗观察时,遮挡板可以手动或自动打开;在正常生产不使用观察窗时,遮挡板可以手动或自动关闭。本发明的真空反应腔的遮挡板,可以隔离反应物及离子轰击对观察窗的伤害,从而有效提高观察窗的使用寿命。
    本发明的真空反应腔,由于采用了陶瓷材料制作遮挡板,因此具有不易产生灰尘的良好特性,遮挡板的更换周期延长,减少定期维护所耗费的人力物力并提高了设备稼动率。
    以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以作出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的?;し段??!  ∧谌堇醋宰ɡ鴚ww.www.4mum.com.cn转载请标明出处

    关于本文
    本文标题:真空反应腔以及真空加工设备.pdf
    链接地址://www.4mum.com.cn/p-6181142.html
    关于我们 - 网站声明 - 网站地图 - 资源地图 - 友情链接 - 网站客服 - 联系我们

    [email protected] 2017-2018 www.4mum.com.cn网站版权所有
    经营许可证编号:粤ICP备17046363号-1 
     


    收起
    展开
  • 浪潮孙丕恕从信息时代到智能时代 人工智能价值将爆发式释放 2019-12-21
  • 四川郎酒股份有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度环保奖 2019-05-13
  • 银保监会新规剑指大企业多头融资和过度融资 2019-05-12
  • 韩国再提4国联合申办世界杯 中国网友无视:我们自己来 2019-05-11
  • 中国人为什么一定要买房? 2019-05-11
  • 十九大精神进校园:风正扬帆当有为 勇做时代弄潮儿 2019-05-10
  • 粽叶飘香幸福邻里——廊坊市举办“我们的节日·端午”主题活动 2019-05-09
  • 太原设禁鸣路段 设备在测试中 2019-05-09
  • 拜耳医药保健有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度企业奖 2019-05-08
  • “港独”没出路!“梁天琦们”该醒醒了 2019-05-07
  • 陈卫平:中国文化内涵包含三方面 文化复兴表现在其中 2019-05-06
  • 人民日报客户端辟谣:“合成军装照”产品请放心使用 2019-05-05
  • 【十九大·理论新视野】为什么要“建设现代化经济体系”?   2019-05-04
  • 聚焦2017年乌鲁木齐市老城区改造提升工程 2019-05-04
  • 【专家谈】上合组织——构建区域命运共同体的有力实践者 2019-05-03
  • 6场半全场 大连娱网棋牌安卓官网 法甲直播乐视 搜狐凯利即时指数 股票行情走势图 澳门博彩 山西快乐十分遗漏号码 安徽十一选五开奖走势图 时时彩走势图分析技巧 555彩票首页 31选7走势图福建省开奖结果查询 下期福彩号码预测 竞彩比分攻略 麻将软件怎么破解 内蒙古11选5推荐 3d试机号今天开机号