• 四川郎酒股份有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度环保奖 2019-05-13
  • 银保监会新规剑指大企业多头融资和过度融资 2019-05-12
  • 韩国再提4国联合申办世界杯 中国网友无视:我们自己来 2019-05-11
  • 中国人为什么一定要买房? 2019-05-11
  • 十九大精神进校园:风正扬帆当有为 勇做时代弄潮儿 2019-05-10
  • 粽叶飘香幸福邻里——廊坊市举办“我们的节日·端午”主题活动 2019-05-09
  • 太原设禁鸣路段 设备在测试中 2019-05-09
  • 拜耳医药保健有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度企业奖 2019-05-08
  • “港独”没出路!“梁天琦们”该醒醒了 2019-05-07
  • 陈卫平:中国文化内涵包含三方面 文化复兴表现在其中 2019-05-06
  • 人民日报客户端辟谣:“合成军装照”产品请放心使用 2019-05-05
  • 【十九大·理论新视野】为什么要“建设现代化经济体系”?   2019-05-04
  • 聚焦2017年乌鲁木齐市老城区改造提升工程 2019-05-04
  • 【专家谈】上合组织——构建区域命运共同体的有力实践者 2019-05-03
  • 【华商侃车NO.192】 亲!楼市火爆,别忘了买车位啊! 2019-05-03
    • / 20
    • 下载费用:20 金币  

    重庆时时彩六码: 导电图形及其制造方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201310746147.0

    申请日:

    2010.02.08

    公开号:

    CN103777837A

    公开日:

    2014.05.07

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G06F 3/045申请日:20100208|||公开
    IPC分类号: G06F3/045; H01L31/0224 主分类号: G06F3/045
    申请人: LG化学株式会社
    发明人: 黄智泳; 黄仁皙; 李东郁; 朴珉春; 李承宪; 全相起; 孙镛久; 具范谟
    地址: 韩国首尔
    优先权: 2009.02.06 KR 10-2009-0009750; 2009.12.21 KR 10-2009-0127756
    专利代理机构: 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 代理人: 朱梅;李海明
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201310746147.0

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2017.12.08|||2014.06.04|||2014.05.07

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供了一种制造导电图形的方法,以及用该方法制造的导电图形。所述方法包括以下步骤:a)在基板上形成导电膜;b)在所述导电膜上形成抗蚀图形;以及c)通过使用抗蚀图形来过度蚀刻导电膜从而形成导电图形,该导电图形的线宽比抗蚀图形的窄。根据本发明的示例性实施例,能够有效且低成本地提供具有超细线宽的导电图形。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种导电图形,其中线宽为100微米以下。

    2.  根据权利要求1所述的导电图形,其中所述导电图形的线宽为0.5到10微米。

    3.  根据权利要求1或2所述的导电图形,其中制造所述导电图形的方法包括如下步骤:
    a)在基板上形成导电膜;
    b)在所述导电膜上形成抗蚀图形;以及
    c)通过使用抗蚀图形来过度蚀刻导电膜从而形成导电图形,所述导电图形的线宽小于抗蚀图形的宽度。

    4.  根据权利要求1或2所述的导电图形,进一步包括位于导电图形上的抗蚀图形,所述抗蚀图形具有与所述导电图相对应的图形,并且其线宽大于所述导电图形的线宽。

    5.  根据权利要求4所述的导电图形,其中所述抗蚀图形具有绝缘性。

    6.  根据权利要求1或2所述的导电图形,其中所述导电图形的表面电阻为100欧姆/平方到0.001欧姆/平方。

    7.  根据权利要求1或2所述的导电图形,其中所述导电图形的厚度为300nm以下。

    8.  根据权利要求1或2所述的导电图形,其中所述导电图形所具有的开孔率为85%到98%,表面电阻为1欧姆到200欧姆,厚度为100到300nm,以及线宽为0.1到10微米,并且满足以下公式1:
    [公式1]
    a/(1-开孔率)=A
    在公式1中,a是构成厚度为t的由导电图形的材料形成的层的表面电阻,以及
    A是厚度为t的导电图形的表面电阻。

    9.  根据权利要求1或2所述的导电图形,其中所述导电图形满足以下公式2和3:
    [公式2]
    a/[1-(R-L)2/R2]=A
    [公式3]
    (R-L)2/R2×Ts=Tc
    其中,
    R是所述导电图形的间距,
    L是所述导电图形的线宽,
    a是构成厚度为t的由导电图形的材料形成的层的表面电阻,
    A是厚度为t的导电图形的表面电阻,
    Ts是基板透光率,以及
    Tc是具有导电图形的基板的透光率。

    10.  根据权利要求1或2所述的导电图形,其中,所述导电图形依据位置的厚度偏差为3%以内。

    11.  根据权利要求1或2所述的导电图形,其中,所述导电图形依据位置的线宽偏差为30%以内。

    12.  根据权利要求1或2所述的导电图形,其中,所述导电图形具有在7英寸以上的面积内连续形成的图形形状。

    13.  根据权利要求4所述的导电图形,其中,在所述导电图形的线宽方向上的横截面中,从所述导电图形一侧的末端到绝缘层图形的末端的距离(a)和从导电图形另一侧的末端到绝缘层图形的末端的距离(b)的百分比(a/b*100)可以在90到110的范围内。

    关 键 词:
    导电 图形 及其 制造 方法
      专利查询网所有资源均是用户自行上传分享,仅供网友学习交流,未经上传用户书面授权,请勿作他用。
    0条评论

    还可以输入200字符

    暂无评论,赶快抢占沙发吧。

    关于本文
    本文标题:导电图形及其制造方法.pdf
    链接地址://www.4mum.com.cn/p-6159919.html
    关于我们 - 网站声明 - 网站地图 - 资源地图 - 友情链接 - 网站客服客服 - 联系我们

    [email protected] 2017-2018 www.4mum.com.cn网站版权所有
    经营许可证编号:粤ICP备17046363号-1 
     


    收起
    展开
  • 四川郎酒股份有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度环保奖 2019-05-13
  • 银保监会新规剑指大企业多头融资和过度融资 2019-05-12
  • 韩国再提4国联合申办世界杯 中国网友无视:我们自己来 2019-05-11
  • 中国人为什么一定要买房? 2019-05-11
  • 十九大精神进校园:风正扬帆当有为 勇做时代弄潮儿 2019-05-10
  • 粽叶飘香幸福邻里——廊坊市举办“我们的节日·端午”主题活动 2019-05-09
  • 太原设禁鸣路段 设备在测试中 2019-05-09
  • 拜耳医药保健有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度企业奖 2019-05-08
  • “港独”没出路!“梁天琦们”该醒醒了 2019-05-07
  • 陈卫平:中国文化内涵包含三方面 文化复兴表现在其中 2019-05-06
  • 人民日报客户端辟谣:“合成军装照”产品请放心使用 2019-05-05
  • 【十九大·理论新视野】为什么要“建设现代化经济体系”?   2019-05-04
  • 聚焦2017年乌鲁木齐市老城区改造提升工程 2019-05-04
  • 【专家谈】上合组织——构建区域命运共同体的有力实践者 2019-05-03
  • 【华商侃车NO.192】 亲!楼市火爆,别忘了买车位啊! 2019-05-03