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    重庆时时彩网易: 照明光学设备、曝光设备、照明方法、曝光方法和装置制造方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201410019498.6

    申请日:

    2008.10.23

    公开号:

    CN103777471A

    公开日:

    2014.05.07

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20081023|||公开
    IPC分类号: G03F7/20 主分类号: G03F7/20
    申请人: 株式会社尼康
    发明人: 谷津修
    地址: 日本东京都千代田区有乐町一丁目12番1号
    优先权: 2007.10.24 US 60/960,996; 2008.01.14 US 61/006,446; 2008.10.03 US 12/245,021
    专利代理机构: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 代理人: 寿宁
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201410019498.6

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2016.08.17|||2014.06.11|||2014.05.07

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    一种照明光学设备具有光学单元(3)。所述光学单元具有:分光器(35),用以使入射射束分裂成两个射束;第一空间光调制器(33),其可布置于第一射束的光学路径中;第二空间光调制器(34),其可布置于第二射束的光学路径中;和光组合器(36),其将已通过所述第一空间光调制器的射束与已通过所述第二空间光调制器的射束组合;所述第一空间光调制器和所述第二空间光调制器中的每一者具有二维地布置且个别地被控制的多个光学元件(33a、34a)。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种照明光学设备,使照明光对于形成有图案的掩膜进行照明,所述照明光学设备的特征在于包括:
    空间光调制器,含有:反射所述照明光的多个反射表面,将所述多个反射表面的朝向进行个别设定,而在所述照明光学设备的照明光瞳中形成所述照明光的强度分布;以及
    偏振单元,配置于所述照明光的光路中,对于具有线性偏振状态的所述照明光的偏振方向进行变换;
    其中,所述偏振单元是:以通过所述照明光瞳的所述照明光以S偏光作为主成分的偏振状态而照射到所述掩膜的方式,而变换所述照明光的偏振方向。

    2.  一种曝光设备,将形成在掩膜的图案曝光到基板,所述曝光设备的特征在于包括:
    权利要求1所述的照明光学设备,对所述掩膜进行照明。

    3.  根据权利要求2所述的曝光设备,其特征在于包括:
    投影光学系统,投影所述图案;以及
    液体供给设备,将液体供给到所述投影光学系统与所述基板之间的光路中,
    所述照明光学设备是:以将所述液体供给到所述投影光学系统与所述基板之间的光路中的状态,而对所述掩膜进行照明。

    4.  一种装置制造方法,其特征在于包括:
    使用权利要求2或3所述的曝光设备,将被形成在掩膜的图案曝光到基板上;以及
    使所述图案被曝光的所述基板进行显影。

    5.  一种照明方法,使照明光对于形成有图案的掩膜进行照明,所述照明方法的特征在于包括:
    利用含有能够个别控制的多个反射表面的空间光调制器,来反射所述照明光,而在照明光瞳中形成所述照明光的强度分布;以及
    利用配置于所述照明光的光路中的偏振单元,对于具有线性偏振状态的所述照明光的偏振方向进行变换;
    其中,所述照明光是:以通过所述照明光瞳的所述照明光以S偏光作为主成分的偏振状态而照射到所述掩膜的方式,而变换偏振方向。

    6.  一种曝光方法,将形成在掩膜的图案曝光到基板,所述曝光方法的特征在于包括:
    使用权利要求5所述的照明方法,利用所述照明光来对所述图案进行照明。

    7.  根据权利要求6所述的曝光方法,其特征在于包括:
    利用能够移动的台来支持所述基板;
    经由投影光学系统,将使用所述照明光而被照明的所述图案的像,投影到被支持在所述台的所述基板;以及
    将液体供给到被支持在所述台的所述基板、与所述投影光学系统之间的光路中。

    8.  一种装置制造方法,其特征在于包括:
    使用权利要求6或7所述的曝光方法,将被形成在掩膜的图案曝光到基板上;以及
    使所述图案被曝光的所述基板进行显影。

    关 键 词:
    照明 光学 设备 曝光 方法 装置 制造
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