• 浪潮孙丕恕从信息时代到智能时代 人工智能价值将爆发式释放 2019-12-21
  • 四川郎酒股份有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度环保奖 2019-05-13
  • 银保监会新规剑指大企业多头融资和过度融资 2019-05-12
  • 韩国再提4国联合申办世界杯 中国网友无视:我们自己来 2019-05-11
  • 中国人为什么一定要买房? 2019-05-11
  • 十九大精神进校园:风正扬帆当有为 勇做时代弄潮儿 2019-05-10
  • 粽叶飘香幸福邻里——廊坊市举办“我们的节日·端午”主题活动 2019-05-09
  • 太原设禁鸣路段 设备在测试中 2019-05-09
  • 拜耳医药保健有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度企业奖 2019-05-08
  • “港独”没出路!“梁天琦们”该醒醒了 2019-05-07
  • 陈卫平:中国文化内涵包含三方面 文化复兴表现在其中 2019-05-06
  • 人民日报客户端辟谣:“合成军装照”产品请放心使用 2019-05-05
  • 【十九大·理论新视野】为什么要“建设现代化经济体系”?   2019-05-04
  • 聚焦2017年乌鲁木齐市老城区改造提升工程 2019-05-04
  • 【专家谈】上合组织——构建区域命运共同体的有力实践者 2019-05-03
    • / 8
    • 下载费用:30 金币  

    重庆时时彩几点到几点: 一种非接触式光刻机的晶圆校准水平装置及其应用.pdf

    关 键 词:
    一种 接触 光刻 校准 水平 装置 及其 应用
      专利查询网所有资源均是用户自行上传分享,仅供网友学习交流,未经上传用户书面授权,请勿作他用。
    摘要
    申请专利号:

    CN201410057628.5

    申请日:

    2014.02.20

    公开号:

    CN103777478A

    公开日:

    2014.05.07

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 9/00申请日:20140220|||公开
    IPC分类号: G03F9/00; G03F7/20; H01L21/68 主分类号: G03F9/00
    申请人: 江阴长电先进封装有限公司
    发明人: 王维斌; 赖志明; 陈锦辉
    地址: 214429 江苏省无锡市江阴市高新技术产业开发园区(澄江东路99号)
    优先权:
    专利代理机构: 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人: 彭英
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201410057628.5

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2015.12.30|||2014.06.11|||2014.05.07

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种非接触式光刻机的晶圆校准水平装置及其应用,属于半导体芯片封装技术领域。晶圆校准水平装置包括一环状物件(310)和分散设置于环状物件(310)的上表面的若干个均匀分布的突起物(320),所述突起物(320)与环状物件(310)固定连接,所述突起物(320)的高度相等、且其高度高于晶圆样片(100)的上表面。本发明的晶圆校准水平装置不接触晶圆样片且能兼顾质地偏软的光刻胶进行安全光刻。

    关于本文
    本文标题:一种非接触式光刻机的晶圆校准水平装置及其应用.pdf
    链接地址://www.4mum.com.cn/p-6159759.html
    关于我们 - 网站声明 - 网站地图 - 资源地图 - 友情链接 - 网站客服 - 联系我们

    [email protected] 2017-2018 www.4mum.com.cn网站版权所有
    经营许可证编号:粤ICP备17046363号-1 
     


    收起
    展开
  • 浪潮孙丕恕从信息时代到智能时代 人工智能价值将爆发式释放 2019-12-21
  • 四川郎酒股份有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度环保奖 2019-05-13
  • 银保监会新规剑指大企业多头融资和过度融资 2019-05-12
  • 韩国再提4国联合申办世界杯 中国网友无视:我们自己来 2019-05-11
  • 中国人为什么一定要买房? 2019-05-11
  • 十九大精神进校园:风正扬帆当有为 勇做时代弄潮儿 2019-05-10
  • 粽叶飘香幸福邻里——廊坊市举办“我们的节日·端午”主题活动 2019-05-09
  • 太原设禁鸣路段 设备在测试中 2019-05-09
  • 拜耳医药保健有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度企业奖 2019-05-08
  • “港独”没出路!“梁天琦们”该醒醒了 2019-05-07
  • 陈卫平:中国文化内涵包含三方面 文化复兴表现在其中 2019-05-06
  • 人民日报客户端辟谣:“合成军装照”产品请放心使用 2019-05-05
  • 【十九大·理论新视野】为什么要“建设现代化经济体系”?   2019-05-04
  • 聚焦2017年乌鲁木齐市老城区改造提升工程 2019-05-04
  • 【专家谈】上合组织——构建区域命运共同体的有力实践者 2019-05-03
  • 哪里理财最安全可靠 期货配资列入刑法 紫金矿业股票分析预测 启天配资 伊利股票涨跌 上证指数数据 东方财富网上证指数吧 恒丰配资 尊享配资 股票融资比例_杨方配资开户 玖玖玖配资 杨方配资怎么样 金管家期货配资 股票分析师下载 中国证券公司佣金排名 腾讯股票