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    重庆时时彩杀号是什么: 一种非接触式光刻机的晶圆校准水平装置及其应用.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201410057628.5

    申请日:

    2014.02.20

    公开号:

    CN103777478A

    公开日:

    2014.05.07

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 9/00申请日:20140220|||公开
    IPC分类号: G03F9/00; G03F7/20; H01L21/68 主分类号: G03F9/00
    申请人: 江阴长电先进封装有限公司
    发明人: 王维斌; 赖志明; 陈锦辉
    地址: 214429 江苏省无锡市江阴市高新技术产业开发园区(澄江东路99号)
    优先权:
    专利代理机构: 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人: 彭英
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201410057628.5

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2015.12.30|||2014.06.11|||2014.05.07

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种非接触式光刻机的晶圆校准水平装置及其应用,属于半导体芯片封装技术领域。晶圆校准水平装置包括一环状物件(310)和分散设置于环状物件(310)的上表面的若干个均匀分布的突起物(320),所述突起物(320)与环状物件(310)固定连接,所述突起物(320)的高度相等、且其高度高于晶圆样片(100)的上表面。本发明的晶圆校准水平装置不接触晶圆样片且能兼顾质地偏软的光刻胶进行安全光刻。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种非接触式光刻机的晶圆校准水平装置,其特征在于:所述晶圆校准水平装置(300)包括一环状物件(310)和分散设置于环状物件(310)的上表面的若干个均匀分布的突起物(320),所述突起物(320)与环状物件(310)固定连接,所述突起物(320)的高度相等、且其高度高于晶圆样片(100)的上表面。

    2.  根据权利要求1所述的晶圆校准水平装置,其特征在于:所述突起物(320)的横截面呈圆形,其面向晶圆校准水平装置(300)中心的内侧面不超出环状物件(310)的对应的内侧面。

    3.  根据权利要求1所述的晶圆校准水平装置,其特征在于:所述突起物(320)的横截面呈矩形或多边形。

    4.  根据权利要求3所述的晶圆校准水平装置,其特征在于:所述突起物(320)的内侧面朝向晶圆校准水平装置(300)的中心,其面向晶圆校准水平装置(300)中心的内侧面不超出环状物件(310)的对应的内侧面。

    5.  根据权利要求1至4中任一项所述的晶圆校准水平装置,其特征在于:所述突起物(320)至少有三个。

    6.  一种非接触式光刻机的晶圆校准水平机构,包括底盘(210)、设置于底盘(210)表面的吸盘(220)、以及固接于吸盘(220)正上方的光刻版(230),所述光刻版(230)为水平基准面,所述底盘(210)和吸盘(220)彼此平行,且能在动力驱动下同时上下运动、在外力挤压下同时扭转一定角度,所述吸盘(220)的尺寸小于底盘(210)的尺寸,所述吸盘(220)的表面吸附晶圆样片(100),其特征在于:所述吸盘(220)的外围套装如权利要求1至5中任一项所述的晶圆校准水平装置(300),所述晶圆校准水平装置(300)套装于底盘(210)的表面,所述突起物(320)的上端面与底盘(210)的表面彼此平行。

    7.  根据权利要求6所述的晶圆校准水平机构,其特征在于:所述突起物(320)的高度高于吸盘(220)和吸附于所述吸盘(220)之上的晶圆样片(100)的厚度之和。

    8.  根据权利要求6所述的晶圆校准水平机构,其特征在于:所述环状物件(310)的内周与吸盘(220)的外周形状相同。

    9.  根据权利要求8所述的晶圆校准水平机构,其特征在于:所述环状物件(310)的内周与吸盘(220)的外周的横截面形状均为圆形或方形。

    10.  根据权利要求9所述的晶圆校准水平机构,其特征在于:所述环状物件(310)的内周与吸盘(220)的外周之间设有螺纹或垫片。

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    一种 接触 光刻 校准 水平 装置 及其 应用
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