• 四川郎酒股份有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度环保奖 2019-05-13
  • 银保监会新规剑指大企业多头融资和过度融资 2019-05-12
  • 韩国再提4国联合申办世界杯 中国网友无视:我们自己来 2019-05-11
  • 中国人为什么一定要买房? 2019-05-11
  • 十九大精神进校园:风正扬帆当有为 勇做时代弄潮儿 2019-05-10
  • 粽叶飘香幸福邻里——廊坊市举办“我们的节日·端午”主题活动 2019-05-09
  • 太原设禁鸣路段 设备在测试中 2019-05-09
  • 拜耳医药保健有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度企业奖 2019-05-08
  • “港独”没出路!“梁天琦们”该醒醒了 2019-05-07
  • 陈卫平:中国文化内涵包含三方面 文化复兴表现在其中 2019-05-06
  • 人民日报客户端辟谣:“合成军装照”产品请放心使用 2019-05-05
  • 【十九大·理论新视野】为什么要“建设现代化经济体系”?   2019-05-04
  • 聚焦2017年乌鲁木齐市老城区改造提升工程 2019-05-04
  • 【专家谈】上合组织——构建区域命运共同体的有力实践者 2019-05-03
  • 【华商侃车NO.192】 亲!楼市火爆,别忘了买车位啊! 2019-05-03
    • / 10
    • 下载费用:20 金币  

    重庆时时彩excel表格: 一种OPC方法以及制备掩膜版的方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201210413530.X

    申请日:

    2012.10.25

    公开号:

    CN103777458A

    公开日:

    2014.05.07

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 1/36申请日:20121025|||公开
    IPC分类号: G03F1/36(2012.01)I 主分类号: G03F1/36
    申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
    发明人: 张婉娟
    地址: 201203 上海市浦东新区张江路18号
    优先权:
    专利代理机构: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201210413530.X

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2017.02.22|||2014.06.04|||2014.05.07

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供一种OPC方法以及制备掩膜版的方法,引入了掩膜版误差增强因子,并设计出与掩膜版误差增强因子相关的反馈系数调整表格,结合边缘放置误差的影响,来优化图案,克服了掩膜版误差增强因子的存在造成图案的较大的震荡,使得现有的OPC过程收敛性差的问题得到了解决,并且能够提高精确度,故不再需要编写大量脚本,还能够缩短一个OPC过程所需要的循环次数,从而节省了时间,有利于生产出优秀的掩膜版。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种OPC方法,其特征在于,包括:
    建立与掩膜版误差增强因子相关的反馈系数调整表格;
    根据工艺模型优化原始图案,获得优化后的图案;
    计算优化后的图案的边缘放置误差,若所述边缘放置误差不符合标准,则计算掩膜版误差增强因子,根据所述掩膜版误差增强因子以及所述与掩膜版误差增强因子相关的反馈系数调整表格获得反馈系数百分比,根据所述反馈系数百分比调整所述优化后的图案,如此循环直至所述边缘放置误差符合标准,以形成矫正后的图案;
    输出矫正后的图案。

    2.  如权利要求1所述的OPC方法,其特征在于,所述与掩膜版误差增强因子相关的反馈系数调整表格包括掩膜版误差增强因子的值和与所述掩膜版误差增强因子的值相对应的反馈系数百分比。

    3.  如权利要求2所述的OPC方法,其特征在于,调整所述优化后的图案的方法为:
    设定原始反馈系数值;
    计算掩膜版误差增强因子,按照掩膜版误差增强因子的值从与掩膜版误差增强因子相关的反馈系数调整表格中选取反馈系数百分比;
    计算最终反馈系数值,所述最终反馈系数值为所述原始反馈系数值及反馈系数百分比的乘积;
    按照最终反馈系数值调整所述优化后的图案。

    4.  如权利要求3所述的OPC方法,其特征在于,调整所述优化后的图案为移动图案的边,所述图案边的移动量为边缘放置误差与最终反馈系数值的乘积。

    5.  如权利要求1所述的OPC方法,其特征在于,所述掩膜版误差增强因子为显影后在硅片上测量的尺寸变化量与掩膜版尺寸的变化量的比。

    6.  如权利要求3所述的OPC方法,其特征在于,在首次计算掩膜版误差增强因子之前,由人工设定所述原始反馈系数值。

    7.  如权利要求3所述的OPC方法,其特征在于,在第二次及之后的计算掩膜版误差增强因子之前,由OPC设备设定所述原始反馈系数值。

    8.  如权利要求3所述的OPC方法,其特征在于,在后一个循环中的所述边缘放置误差比在前一个循环中的所述边缘放置误差大,则在后一个循环中的所述原始反馈系数值大于在前一个循环中的所述原始反馈系数值。

    9.  如权利要求3所述的OPC方法,其特征在于,在后一个循环中的所述边缘放置误差比在前一个循环中的所述边缘放置误差小,则在后一个循环中的所述原始反馈系数值小于在前一个循环中的所述原始反馈系数值。

    10.  如权利要求3所述的OPC方法,其特征在于,在后一个循环中的所述边缘放置误差与在前一个循环中的所述边缘放置误差相同,则在后一个循环中的所述原始反馈系数值等于在前一个循环中的所述原始反馈系数值。

    11.  一种制备掩膜版的方法,其特征在于,包括:
    提供基板;
    利用权利要求1至10中任一项所述的OPC方法形成的矫正后的图案制备掩膜版。

    关 键 词:
    一种 OPC 方法 以及 制备 掩膜版
      专利查询网所有资源均是用户自行上传分享,仅供网友学习交流,未经上传用户书面授权,请勿作他用。
    0条评论

    还可以输入200字符

    暂无评论,赶快抢占沙发吧。

    关于本文
    本文标题:一种OPC方法以及制备掩膜版的方法.pdf
    链接地址://www.4mum.com.cn/p-6159743.html
    关于我们 - 网站声明 - 网站地图 - 资源地图 - 友情链接 - 网站客服客服 - 联系我们

    [email protected] 2017-2018 www.4mum.com.cn网站版权所有
    经营许可证编号:粤ICP备17046363号-1 
     


    收起
    展开
  • 四川郎酒股份有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度环保奖 2019-05-13
  • 银保监会新规剑指大企业多头融资和过度融资 2019-05-12
  • 韩国再提4国联合申办世界杯 中国网友无视:我们自己来 2019-05-11
  • 中国人为什么一定要买房? 2019-05-11
  • 十九大精神进校园:风正扬帆当有为 勇做时代弄潮儿 2019-05-10
  • 粽叶飘香幸福邻里——廊坊市举办“我们的节日·端午”主题活动 2019-05-09
  • 太原设禁鸣路段 设备在测试中 2019-05-09
  • 拜耳医药保健有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度企业奖 2019-05-08
  • “港独”没出路!“梁天琦们”该醒醒了 2019-05-07
  • 陈卫平:中国文化内涵包含三方面 文化复兴表现在其中 2019-05-06
  • 人民日报客户端辟谣:“合成军装照”产品请放心使用 2019-05-05
  • 【十九大·理论新视野】为什么要“建设现代化经济体系”?   2019-05-04
  • 聚焦2017年乌鲁木齐市老城区改造提升工程 2019-05-04
  • 【专家谈】上合组织——构建区域命运共同体的有力实践者 2019-05-03
  • 【华商侃车NO.192】 亲!楼市火爆,别忘了买车位啊! 2019-05-03