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    重庆时时彩咋玩法: 覆盖预测的方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201310014649.4

    申请日:

    2013.01.15

    公开号:

    CN103779188A

    公开日:

    2014.05.07

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/027申请日:20130115|||公开
    IPC分类号: H01L21/027; G03F7/20 主分类号: H01L21/027
    申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
    发明人: 陈立锐; 梁辅杰; 谢弘璋
    地址: 中国台湾新竹
    优先权: 2012.10.19 US 13/656,067
    专利代理机构: 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人: 章社杲;孙征
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201310014649.4

    授权公告号:

    103779188B||||||

    法律状态公告日:

    2017.05.03|||2014.06.11|||2014.05.07

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    一种方法包括:接收衬底,该衬底具有内嵌在衬底中的材料部件,其中,接收衬底包括接收形成材料部件时所生成的第一水准数据和第一覆盖数据;在衬底上沉积抗蚀膜;以及使用预测的覆盖校正数据对抗蚀膜进行曝光,以形成覆盖衬底上的材料部件的抗蚀图案,其中,使用预测的覆盖校正数据包括生成第二水准数据并使用第一水准数据、第一覆盖数据和第二水准数据计算预测的覆盖校正数据。本发明还提供了覆盖预测的方法。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种形成抗蚀图案的方法,所述方法包括:
    接收衬底,所述衬底具有内嵌在所述衬底中的材料部件,其中,接收所述衬底包括接收形成所述材料部件时所生成的第一水准数据和第一覆盖数据;
    在所述衬底上沉积抗蚀膜;以及
    使用预测的覆盖校正数据对所述抗蚀膜进行曝光,以形成覆盖所述衬底上的所述材料部件的抗蚀图案,其中,使用所述预测的覆盖校正数据包括生成第二水准数据并使用所述第一水准数据、所述第一覆盖数据和所述第二水准数据计算所述预测的覆盖校正数据。

    2.  根据权利要求1所述的方法,进一步包括:对曝光的抗蚀膜进行显影。

    3.  根据权利要求1所述的方法,进一步包括:进行所述第一覆盖数据的覆盖测量。

    4.  根据权利要求1所述的方法,其中,计算所述预测的覆盖校正数据包括计算所述预测的覆盖校正数据的区域间校正数据。

    5.  根据权利要求4所述的方法,进一步包括:使用所述第一水准数据和所述第二水准数据之间的水准差值数据来修正所述区域间校正数据。

    6.  根据权利要求5所述的方法,进一步包括:使用所述水准差值数据计算Z高度图。

    7.  根据权利要求1所述的方法,其中,计算所述预测的覆盖校正数据包括计算所述预测的覆盖校正数据的区域内校正数据。

    8.  根据权利要求7所述的方法,进一步包括:使用所述第一水准数据和所述第二水准数据之间的水准差值数据修正所述区域内校正数据。

    9.  一种形成抗蚀图案的方法,所述方法包括:
    接收衬底,所述衬底具有内嵌在所述衬底中的材料部件,其中,接收所述衬底包括接收形成与所述衬底上的所述材料部件相关的第一抗蚀图案时所生成的第一水准数据和第一覆盖数据;
    在所述衬底上沉积抗蚀膜;以及
    使用预测的覆盖校正数据,根据一图案对所述抗蚀膜进行曝光,以形成覆盖所述衬底上的所述材料部件的第二抗蚀图案,其中,使用所述预测的覆盖校正数据包括生成第二水准数据并使用所述第一水准数据、所述第一覆盖数据和所述第二水准数据计算所述预测的覆盖校正数据。

    10.  一种图案化衬底的方法,所述方法包括:
    对所述衬底上的第一图案进行曝光并获得第一水准数据;
    确定第一覆盖数据;
    通过所述第一图案处理所述衬底;
    将处理过的衬底与第二图案对准并获得第二水准数据;
    根据所述第二水准数据和所述第一覆盖数据预测第二覆盖数据;以及
    使用所述第二覆盖数据对所述衬底上的所述第二图案进行曝光。

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    覆盖 预测 方法
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