• 四川郎酒股份有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度环保奖 2019-05-13
  • 银保监会新规剑指大企业多头融资和过度融资 2019-05-12
  • 韩国再提4国联合申办世界杯 中国网友无视:我们自己来 2019-05-11
  • 中国人为什么一定要买房? 2019-05-11
  • 十九大精神进校园:风正扬帆当有为 勇做时代弄潮儿 2019-05-10
  • 粽叶飘香幸福邻里——廊坊市举办“我们的节日·端午”主题活动 2019-05-09
  • 太原设禁鸣路段 设备在测试中 2019-05-09
  • 拜耳医药保健有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度企业奖 2019-05-08
  • “港独”没出路!“梁天琦们”该醒醒了 2019-05-07
  • 陈卫平:中国文化内涵包含三方面 文化复兴表现在其中 2019-05-06
  • 人民日报客户端辟谣:“合成军装照”产品请放心使用 2019-05-05
  • 【十九大·理论新视野】为什么要“建设现代化经济体系”?   2019-05-04
  • 聚焦2017年乌鲁木齐市老城区改造提升工程 2019-05-04
  • 【专家谈】上合组织——构建区域命运共同体的有力实践者 2019-05-03
  • 【华商侃车NO.192】 亲!楼市火爆,别忘了买车位啊! 2019-05-03
    • / 18
    • 下载费用:20 金币  

    重庆时时彩组六单式: 光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置及其测试方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201410040999.2

    申请日:

    2014.01.28

    公开号:

    CN103792798A

    公开日:

    2014.05.14

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20140128|||公开
    IPC分类号: G03F7/20 主分类号: G03F7/20
    申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
    发明人: 蔡燕民; 李中梁; 步扬; 王向朝; 黄惠杰
    地址: 201800 上海市嘉定区800-211邮政信箱
    优先权:
    专利代理机构: 上海新天专利代理有限公司 31213 代理人: 张泽纯
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201410040999.2

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2015.10.28|||2014.06.11|||2014.05.14

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    一种光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置及其测试方法,测量装置包括反射镜、针孔板、成像物镜、中继物镜、相位补偿板、1/4波片、1/2波片、沃拉斯顿棱镜、聚焦镜、像传感器。本发明可以实时监测照明光瞳偏振态的动态变化,直接测量得到每一个归一化的斯托克斯参量,或者每一个斯托克斯参量,1/4波片和1/2波片分别仅有2个定位位置,不需要连续旋转,运动控制简单可靠。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置,包括反射镜、针孔板、成像物镜、中继物镜、相位补偿板、1/4波片、1/2波片、沃拉斯顿棱镜、聚焦镜、像传感器,其特征在于光刻机照明系统的偏振光束入射到所述反射镜上,被反射到与照明系统光轴垂直的方向,投射到所述针孔板上,通过针孔的光束再经过所述成像物镜和所述中继物镜准直成平行光束,通过所述相位补偿板、所述1/4波片、所述1/2波片,投射到所述沃拉斯顿棱镜上,被所述沃拉斯顿棱镜分成2束光,经过所述聚焦镜投射到所述像传感器上,所述像传感器采用CCD相机。

    2.  如权利要求1所述的光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置,其特征在于,所述反射镜将偏振照明系统的汇聚到某一视场点的光束转折到所述针孔板的针孔位置,将所述光瞳偏振态测量装置整体置于一个XY移动平台上,通过所述XY移动平台的移动测量所有视场点的光瞳偏振态。

    3.  如权利要求1所述的光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置,其特征在于,所述针孔板的位置与掩模版图形面位置呈现镜像位置关系,通过所述针孔板上的针孔选定照明视场某个位置的照明光束进行偏振态测量,针孔板选择低热膨胀系数的熔石英材料,针孔图案由一层金属铬形成,针孔的直径一般为0.1mm~1mm。

    4.  如权利要求1所述的光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置,其特征在于,所述成像物镜和所述中继物镜将通过针孔的照明光束准直成平行光束,所述中继物镜将照明系统的光瞳成像在所述相位补偿板平面上。

    5.  如权利要求1所述的光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置,其特征在于,所述相位补偿板是一种组合相位补偿板,针对不同的照明设置有不同的组合配置,将不同的照明光瞳偏振态分布转化为X向线偏振或Y向线偏振。

    6.  如权利要求1所述的光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置,其特征在于,所述1/4波片和所述1/2波片对输入被测光束按照预定方式进行光强调制,根据波片不同的快轴位置,可以测量不同的斯托克斯参量。

    7.  如权利要求1所述的光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置,其特征在于,所述沃拉斯顿棱镜作为检偏器来使用,可以通过X向和Y向2束线偏振光。

    8.  如权利要求1所述的光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置,其特征在于,所述聚焦镜将所述沃拉斯顿棱镜输出的2束光汇聚到所述像传感器指定位置上。

    9.  如权利要求1所述的光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置,其特征在于,所述像传感器采用CCD相机,将其像素分成上下两部分,分别接收所述聚焦镜输出的2束光。

    10.  一种光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置的测试方法,如下:
    在所述像传感器的上下两部分像素区域,探测两束光的光强,其中,Ih表示测量到的偏振光水平偏振成分的光强,Iv表示测量到的偏振光垂直偏振成分的光强,可以根据下式计算参数β:
    β=IvIh]]>
    所述1/4波片和所述1/2波片处于不同的快轴位置,可以根据下式测量得到不同的归一化的斯托克斯参量:
    si=(1-βi)(1+βi)]]>
    其中,si为归一化的斯托克斯参量,i=0,1,2,3;
    斯托克斯参量s1的测量:是将所述1/4波片和所述1/2波片的快轴方向都定位在X轴方向;
    斯托克斯参量s2的测量:是将所述1/4波片的快轴方向从X轴方向旋转到45°位置,将所述1/2波片的快轴方向从X轴方向旋转到22.5°位置;
    斯托克斯参量s3的测量:是将所述1/4波片的快轴方向从X轴方向旋转到45°位置,将所述1/2波片的快轴方向位于X轴方向;
    测量斯托克斯参量s1时,对CCD相机探测到的水平偏振和垂直偏振成分的光强相加,根据下式计算得到斯托克斯参量S0:
    S0=Iv+Ih
    通过下式计算得到每一个斯托克斯参量:
    Si=si*S0
    其中,Si为斯托克斯参量,i=0,1,2,3。

    关 键 词:
    光刻 偏振 照明 系统 测量 装置 及其 测试 方法
      专利查询网所有资源均是用户自行上传分享,仅供网友学习交流,未经上传用户书面授权,请勿作他用。
    0条评论

    还可以输入200字符

    暂无评论,赶快抢占沙发吧。

    关于本文
    本文标题:光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置及其测试方法.pdf
    链接地址://www.4mum.com.cn/p-6159093.html
    关于我们 - 网站声明 - 网站地图 - 资源地图 - 友情链接 - 网站客服客服 - 联系我们

    [email protected] 2017-2018 www.4mum.com.cn网站版权所有
    经营许可证编号:粤ICP备17046363号-1 
     


    收起
    展开
  • 四川郎酒股份有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度环保奖 2019-05-13
  • 银保监会新规剑指大企业多头融资和过度融资 2019-05-12
  • 韩国再提4国联合申办世界杯 中国网友无视:我们自己来 2019-05-11
  • 中国人为什么一定要买房? 2019-05-11
  • 十九大精神进校园:风正扬帆当有为 勇做时代弄潮儿 2019-05-10
  • 粽叶飘香幸福邻里——廊坊市举办“我们的节日·端午”主题活动 2019-05-09
  • 太原设禁鸣路段 设备在测试中 2019-05-09
  • 拜耳医药保健有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度企业奖 2019-05-08
  • “港独”没出路!“梁天琦们”该醒醒了 2019-05-07
  • 陈卫平:中国文化内涵包含三方面 文化复兴表现在其中 2019-05-06
  • 人民日报客户端辟谣:“合成军装照”产品请放心使用 2019-05-05
  • 【十九大·理论新视野】为什么要“建设现代化经济体系”?   2019-05-04
  • 聚焦2017年乌鲁木齐市老城区改造提升工程 2019-05-04
  • 【专家谈】上合组织——构建区域命运共同体的有力实践者 2019-05-03
  • 【华商侃车NO.192】 亲!楼市火爆,别忘了买车位啊! 2019-05-03