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    重庆时时彩直选的概率: 一种新的LED光刻显影工艺.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201210447726.0

    申请日:

    2012.10.29

    公开号:

    CN103792799A

    公开日:

    2014.05.14

    当前法律状态:

    撤回

    有效性:

    无权

    法律详情: 发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):G03F 7/30申请公布日:20140514|||公开
    IPC分类号: G03F7/30; G03F7/32; G03F7/40 主分类号: G03F7/30
    申请人: 马阁华
    发明人: 马阁华
    地址: 264000 山东省烟台市龙口市环保局
    优先权:
    专利代理机构: 代理人:
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201210447726.0

    授权公告号:

    |||

    法律状态公告日:

    2016.06.22|||2014.05.14

    法律状态类型:

    发明专利申请公布后的视为撤回|||公开

    摘要

    本发明涉及一种新的LED光刻显影工艺,其特征在于,所述方法步骤如下:首先在显影槽中放满显影液,0.8%氢氧化钠溶液与2.38%四甲基氢氧化铵水溶液各两份,设定好显影机参数,让显影机摆臂上下摆动;片子放置在花篮上,然后将装满片子的花篮放在显影机的摆臂上,在显影液中晃动;用0.8%氢氧化钠溶液对N电极显影;用0.8%氢氧化钠溶液对ITO显影;用2.38%四甲基氢氧化铵水溶液对P、N电极显影;从显影槽中提出用清洗槽去离子水清洗干净,使其水阻值达到5MΩ·cm;最后用热氮烘干机吹干。本发明操作简单,更精确的控制显影过程,能有效减少显影不彻底或过显影现象。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种新的LED光刻显影工艺,其特征在于,所述方法步骤如下:
    (1)首先在显影槽中放满显影液,0.8%氢氧化钠溶液与2.38%四甲基氢氧化铵水溶液各两份,设定好显影机参数,让显影机摆臂上下摆动;
    (2)片子放置在花篮上,然后将装满片子的花篮放在显影机的摆臂上,在显影液中晃动;
    (3)用0.8%氢氧化钠溶液对N电极显影:先在第一个显影槽中显影30秒,使光刻胶与显影液充分反应,然后取出放入第二个显影槽内显影20秒让反应物从晶片表面完全掉落后取出冲水;
    (4)用0.8%氢氧化钠溶液对IT0显影:先在第一个显影槽中显影20秒,使光刻胶与显影液充分反应,然后取出放入第二个显影槽内显影15秒让反应物从晶片表面完全掉落后取出冲水;
    (5)用2.38%四甲基氢氧化铵水溶液对P、N电极显影:先在第一个显影槽中显影20秒,使光刻胶与显影液充分反应,然后取出放入第二个显影槽内显影20秒让反应物从晶片表面完全掉落后取出冲水;
    (6)从显影槽中提出用清洗槽去离子水清洗干净,使其水阻值达到5MΩ·cm;
    (7)最后用热氮烘干机吹干。

    2.  根据权利要求1所述的一种新的LED光刻显影方法,其特征在于,所述热氮烘干机吹风时间为:大台、小台大流量吹300秒,电极大流量吹600秒。

    关 键 词:
    一种 LED 光刻 显影 工艺
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