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    重庆时时彩改单器下载: 光刻胶与显影液的恒温控制系统.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201210424510.2

    申请日:

    2012.10.30

    公开号:

    CN103792790A

    公开日:

    2014.05.14

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/16申请日:20121030|||公开
    IPC分类号: G03F7/16; G03F7/30; G05D23/00 主分类号: G03F7/16
    申请人: 沈阳芯源微电子设备有限公司
    发明人: 王冲
    地址: 110168 辽宁省沈阳市浑南新区飞云路16号
    优先权:
    专利代理机构: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 白振宇
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201210424510.2

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2016.09.14|||2014.06.11|||2014.05.14

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明涉及IC及LED行业,具体地说是一种光刻胶与显影液的恒温控制系统。包括恒温水控制装置、双层套管组件及喷嘴,其中双层套管组件设有两个双层管路,每个双层管路的内层管路一端均设有喷嘴,另一端均为药液入口,每个双层管路的外层管路与喷嘴同侧的一端相互连通,两个外层管路与药液进口同侧的另一端分别设有恒温水入口II和恒温水出口II,所述恒温水控制装置的恒温水入口I和恒温水出口I通过管路分别与双层套管组件的恒温水出口II和恒温水入口II连接,形成恒温水回路,内层管路浸泡在恒温水中,通过热交换控制内层管路中光刻胶与显影液的温度。本发明安装简单,控温精度高,反应灵敏,在IC和LED行业可广泛使用。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种光刻胶与显影液的恒温控制系统,其特征在于:包括恒温水控制装置(10)、双层套管组件及喷嘴(13),其中双层套管组件设有两个双层管路,每个双层管路的内层管路一端均设有喷嘴(13),另一端均为药液入口,每个双层管路的外层管路与喷嘴(13)同侧的一端相互连通,两个外层管路与药液进口同侧的另一端分别设有恒温水入口II(14)和恒温水出口II(21),所述恒温水控制装置(10)的恒温水入口I(8)和恒温水出口I(9)通过管路分别与双层套管组件的恒温水出口II(21)和恒温水入口II(14)连接,形成恒温水回路,内层管路浸泡在恒温水中,通过热交换控制内层管路中光刻胶与显影液的温度。

    2.  按权利要求1所述的光刻胶与显影液的恒温控制系统,其特征在于:所述双层套管组件包括套管连接件I(5)、套管连接件II(7)、套管连接件III(6)及两个套管内管(22)和套管外管(23),其中两个套管内管(22)分别设置于两个套管外管(23)内,所述套管内管(22)外壁与套管外管(23)的内壁之间留有间隙,形成两个所述双层管路,每个双层管路的一端分别通过套管连接件I(5)和套管连接件II(7)将套管内管(22)和套管外管(23)连接,两个双层管路的另一端通过套管连接件III(6)连接,所述套管连接件III(6)上设有贯通两个套管外管(23)的通孔,所述套管连接件I(5)和套管连接件II(7)上分别设有与套管外管(23)连通的恒温水入口II(14)和恒温水出口II(21);每个套管内管(22)的一端均穿出套管连接件III(6)设有喷嘴(13),另一端分别穿出套管连接件I(5)、套管连接件II(7)为药液入口端。

    3.  按权利要求2所述的光刻胶与显影液的恒温控制系统,其特征在于:所述套管连接件I(5)和套管连接件II(7)结构相同,其上均设有阶梯孔,所述套管内管(22)穿过该阶梯孔、并与小直径孔密封连接,阶梯孔的大直径端的端部沿轴向向外延伸形成接头,所述接头的内径大于套管内管(22)的直径,接头的外壁与套管外管(23)的内壁密封连接,所述套管连接件I(5)和套管连接件II(7)的侧壁上分别设有与阶梯孔的大直径端连通的恒温水入口II(14)和恒温水出口II(21)。

    4.  按权利要求3所述的光刻胶与显影液的恒温控制系统,其特征在于:所述阶梯孔的小直径孔端部设有容置密封机构的沉孔,所述密封机构包括密封压块(18)和密封圈II(20),其中密封圈II(20)套设于套管内管(22)上、并设置于沉孔的底部,所述密封圈II(20)通过密封压块(18)压紧。

    5.  按权利要求2所述的光刻胶与显影液的恒温控制系统,其特征在于:所述套管连接件III(6)上设有两个阶梯孔,每个阶梯孔内均穿过套管内管(22),每个套管内管(22)均与阶梯孔的小直径孔密封配合,两个阶梯孔的大直径孔底部相互贯通、并端口部分别沿轴向向外延伸形成两个接头,每个接头的内径大于套管内管(22)的直径、并外壁与套管外管(23)的内壁密 封连接。

    6.  按权利要求5所述的光刻胶与显影液的恒温控制系统,其特征在于:所述套管连接件III(6)上的两个阶梯孔的小直径端均设有沉孔,所述喷嘴(13)容置于该沉孔内、并与套管内管(22)连接,喷嘴(13)与沉孔的底部之间设有套设于套管内管(22)上的密封圈I(12)。

    7.  按权利要求1所述的光刻胶与显影液的恒温控制系统,其特征在于:所述各药液进口端均设有阀门。

    说明书

    说明书光刻胶与显影液的恒温控制系统
    技术领域
    本发明涉及IC及LED行业,具体地说是一种光刻胶与显影液的恒温控制系统。
    背景技术
    在IC(集成电路)及LED(发光二极管)行业,需要进行大量的光刻胶涂覆和显影作业,而光刻胶与显影液的温度对光刻胶的涂覆和显影效果有直接影响。在IC及LED行业,为了提高产品良率,对光刻胶的膜厚,均匀性和显影的均匀性都有较高的要求。为了达到这种要求,就需要在进行光刻胶涂覆和显影作业时,保证光刻胶和显影液的温度。
    发明内容
    针对上述问题,本发明的目的在于提供一种光刻胶与显影液的恒温控制系统。该光刻胶与显影液的恒温控制系统使光刻胶与显影液从喷头喷出时温度恒定,并且可以根据工艺要求调整温度,从而减小温度对光刻胶涂覆和显影的影响,达到提高产品良率的目的。
    为了实现上述目的,本发明采用以下技术方案:
    一种光刻胶与显影液的恒温控制系统,包括恒温水控制装置、双层套管组件及喷嘴,其中双层套管组件设有两个双层管路,每个双层管路的内层管路一端均设有喷嘴,另一端均为药液入口,每个双层管路的外层管路与喷嘴同侧的一端相互连通,两个外层管路与药液进口同侧的另一端分别设有恒温水入口II和恒温水出口II,所述恒温水控制装置的恒温水入口I和恒温水出口I通过管路分别与双层套管组件的恒温水出口II和恒温水入口II连接,形成恒温水回路,内层管路浸泡在恒温水中,通过热交换控制内层管路中光刻胶与显影液的温度。
    所述双层套管组件包括套管连接件I、套管连接件II、套管连接件III及两个套管内管和套管外管,其中两个套管内管分别设置于两个套管外管内,所述套管内管外壁与套管外管的内壁之间留有间隙,形成两个所述双层管路,每个双层管路的一端分别通过套管连接件I和套管连接件II将套管内管和套管外管连接,两个双层管路的另一端通过套管连接件III连接,所述套管连接件III上设有贯通两个套管外管的通孔,所述套管连接件I和套管连接件II上分别设有与套管外管连通的恒温水入口II和恒温水出口II;每个套管内管的一端均穿出套管连接件III设有喷嘴,另一端分别穿出套管连接件I、套管连接件II为药液入口端。
    所述套管连接件I和套管连接件II结构相同,其上均设有阶梯孔,所述套管内管穿过该阶梯孔、并与小直径孔密封连接,阶梯孔的大直径端的端部沿轴向向外延伸形成接头,所述接头的内径大于套管内管的直径,接头的外 壁与套管外管的内壁密封连接,所述套管连接件I和套管连接件II的侧壁上分别设有与阶梯孔的大直径端连通的恒温水入口II和恒温水出口II。
    所述阶梯孔的小直径孔端部设有容置密封机构的沉孔,所述密封机构包括密封压块和密封圈II,其中密封圈II套设于套管内管上、并设置于沉孔的底部,所述密封圈II通过密封压块压紧。
    所述套管连接件III上设有两个阶梯孔,每个阶梯孔内均穿过套管内管,每个套管内管均与阶梯孔的小直径孔密封配合,两个阶梯孔的大直径孔底部相互贯通、并端口部分别沿轴向向外延伸形成两个接头,每个接头的内径大于套管内管的直径、并外壁与套管外管的内壁密封连接。
    所述套管连接件III上的两个阶梯孔的小直径端均设有沉孔,所述喷嘴容置于该沉孔内、并与套管内管连接,喷嘴与沉孔的底部之间设有套设于套管内管上的密封圈I。所述各药液进口端均设有阀门。
    本发明的优点及有益效果是:
    1.本发明通过恒温控制器产生恒温水,恒温水在外层管路中循环,内层管路中为光刻胶或显影液,通过内层管路和外层管路之间进行热交换达到控制光刻胶与显影液温度的目的。
    2.本发明具有结构简单、安装方便、响应时间快,控温精度高等特点。
    3.本发明能通过对恒温控制器温度的设定来改变光刻胶与显影液出口温度。
    4.本发明在光刻胶与显影液流动过程中进行控温,不占用设备工作时间。
    附图说明
    图1为本发明的原理图;
    图2为本发明的套管及密封结构图。
    其中:1为冷却水入口,2为冷却水出口,3为阀门I,4为阀门II,5为套管连接件I,6为套管连接件III,7为套管连接件II,8为恒温水入口I,9为恒温水出口I,10为恒温水控制装置,11为喷头固定座,12为密封圈I,13为喷嘴,14为恒温水入口II,15为入口密封座,16为药液入口I,17为出口密封座,18为密封压块,19为药液入口II,20为密封圈II,21为恒温水出口II,22为套管内管,23为套管外管。
    具体实施方式
    下面结合附图对本发明作详细描述。
    如图1、图2所示,本发明包括恒温水控制装置10、双层套管组件及喷嘴13,其中所述双层套管组件包括套管连接件I5、套管连接件II7、套管连接件III6及两个套管内管22和套管外管23,其中两个套管内管22分别设置于两个套管外管23内,套管内管22外壁与套管外管23的内壁之间留有间隙,形成两个双层管路。每个双层管路的一端分别通过套管连接件I5和套管连接件II7将套管内管22和套管外管23连接,两个双层管路的另一端通过套管连接件III6连接,套管连接件III6上设有贯通两个套管外管23的通孔,套管连接件I5和套管连接件II7上分别设有与套管外管23连通的恒温水入口II14 和恒温水出口II21。恒温水控制装置10的恒温水入口I8和恒温水出口I9通过管路分别与双层套管组件的恒温水出口II21和恒温水入口II14连接,形成恒温水回路。每个套管内管22的一端均穿出套管连接件III6设有喷嘴13,另一端分别穿出套管连接件I5、套管连接件II7为药液入口I16和药液入口II19,药液入口I16和药液入口II19处分别设有阀门I3和阀门II4。内层管路浸泡在恒温水中,通过热交换控制内层管路中光刻胶与显影液的温度。
    所述套管连接件I5为入口密封座15,套管连接件II7为出口密封座17。入口密封座15和出口密封座17结构相同,其上均设有阶梯孔,套管内管22穿过该阶梯孔、并与小直径孔密封连接,大直径孔的端部沿轴向向外延伸形成接头,所述接头的内径大于套管内管22的直径,接头的外壁与套管外管23的内壁密封连接。套管连接件I5和套管连接件II7的侧壁上分别设有与阶梯孔的大直径端连通的恒温水入口II14和恒温水出口II21。各阶梯孔的小直径孔端部均设有容置密封机构的沉孔,所述密封机构包括密封压块18和密封圈II20,其中密封圈II20套设于套管内管22上、并设置于沉孔的底部,密封圈II20通过密封压块18压紧变形后抱紧套管内管22的外壁来实现密封,这样套管内管22和套管外管23中的恒温水就不会从与套管内管22的连接处漏出来。
    所述套管连接件III6为喷头固定座11,其上设有两个阶梯孔,每个阶梯孔内均穿过套管内管22,每个套管内管22均与阶梯孔的小直径孔密封配合。两个小直径孔的端部均设有沉孔,喷嘴13容置于该沉孔中、并与套管内管22连接。密封圈I12套设于套管内管22上、并容置于沉孔底部,密封圈I12通过喷嘴13压紧。两个阶梯孔的大直径端的端口部分别沿轴向向外延伸形成两个接头,每个接头的内径大于套管内管22的直径、并外壁分别与两个套管外管23的内壁密封连接。两个阶梯孔的大直径孔底部相互贯通,将两个套管外管23连通,形成回路。
    本发明的工作过程是:
    在进行某种工艺处理时,开启恒温水控制装置10,经过恒温水控制装置10控制产生的恒温水,从恒温水出口I9经过管路,通过恒温水入口II14进入套管连接件I5,恒温水进入套管内管22与套管外管23形成的缝隙中,即进入外层管路。通过套管连接件III6上的贯通孔进入回路,通过恒温水出口II21进入管路回到恒温水入口I8,进入恒温水控制装置10,形成循环回路。通过恒温水控制装置10PID调整,保持整个循环中的水温保持恒定。冷却水从冷却水入口1进入,带走恒温水控制装置10中热交换产生的热量后从冷却水出口2出来。当工艺需要时,打开阀I3、阀II4,光刻胶或显影液进入管路,从管路通过药液入口I16和药液入口II19进入套管内管22内,浸泡在恒温水中,套管内管22从套管连接件III6分离,到达喷嘴13,根据工艺需要从喷嘴13释放出相应体积并符合温度要求的光刻胶或显影液。
    在系统工作的整个过程中,套管外管23中的恒温水和套管内管22中的光刻胶或显影液要完全分离开,防止交叉污染。该系统在整个光刻胶或显影 液的流动路径上都能进行热交换,出口的温度和恒温水的温度是一致的,通过调整恒温水控制装置10的设定改变出口处光刻胶或显影液的温度,满足工艺要求。本发明安装简单,控温精度高,反应灵敏,在IC和LED行业可广泛使用。

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    光刻 显影液 恒温 控制系统
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