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    重庆时时彩正规开奖: 晶圆测试数据处理方法及其系统.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201210433640.2

    申请日:

    2012.11.01

    公开号:

    CN103793437A

    公开日:

    2014.05.14

    当前法律状态:

    驳回

    有效性:

    无权

    法律详情: 发明专利申请公布后的驳回IPC(主分类):G06F 17/30申请公布日:20140514|||实质审查的生效IPC(主分类):G06F 17/30申请日:20121101|||公开
    IPC分类号: G06F17/30 主分类号: G06F17/30
    申请人: 无锡华润上华科技有限公司
    发明人: 许文慧; 连晓谦
    地址: 214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号
    优先权:
    专利代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 常亮
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201210433640.2

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2017.12.12|||2014.06.11|||2014.05.14

    法律状态类型:

    发明专利申请公布后的驳回|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种晶圆测试数据处理方法及其系统,该方法包括:S1、机台对晶圆依次进行测试,获取类文本格式测试数据;S2、提取类文本格式测试数据,并转换成XML格式测试数据;S3、将转换后的XML格式测试数据进行多地址存储。本发明通过将系统得到的类文本测试数据进行数据整理和分类,转换成叠加嵌套的XML格式测试数据,可以实现多个信息进行分离提取,适用于国际化的工厂需求,无需在存储其它格式的数据,同时,XML格式数据的架构设计,格式保持一致,处理效率高,可使用于其它的系统和工具,数据分析更加的便利,更符合厂内生产需求及未来测试的可扩展性。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种晶圆测试数据处理方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:
    S1、机台对晶圆依次进行测试,获取类文本格式测试数据;
    S2、提取类文本格式测试数据,并转换成XML格式测试数据;
    S3、将转换后的XML格式测试数据进行多地址存储。

    2.  根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤S2中的XML格式测试数据包括测试得到类文本格式测试数据中的LOT信息、WAFER信息和SITE信息。

    3.  根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述步骤S2具体为:
    S21、提取类文本格式测试数据中的文档信息;
    S22、提取类文本格式测试数据中的LOT信息,并嵌套在文档信息节点下;
    S23、提取类文本格式测试数据中的WAFER信息,并嵌套在LOT信息节点下;
    S24、提取类文本格式测试数据中的SITE信息,并嵌套在WAFER信息节点下;
    S25、提取类文本格式测试数据中的测试数值,并嵌套在SITE信息节点下。

    4.  根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述LOT信息包括批号信息,产品名信息,量测时间信息,厂名信息,规范文件信息,工艺名信息,设备名信息,操作人员信息;所述WAFER信息包括片数信息,点数信息,参数数目信息,开始时间信息,结束时间信息,测试时间信息,合格片信息,失效项号信息;所述SITE信息包括点号信息,点状态,X坐标信息,Y坐标信息。

    5.  根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述步骤S2还包括:
    忽略类文本格式测试数据中的无关信息,所述无关信息包括存储路径、 数据上下限。

    6.  根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤S3中存储的XML格式测试数据包括用于备份的数据、用于系统内使用的数据和用于系统外使用的数据。

    7.  一种如权利要求1所述的晶圆测试数据处理系统,其特征在于,所述系统包括:
    测试???,用于对晶圆依次进行测试,获取类文本格式测试数据;
    转换???,用于将提取类文本格式测试数据转换成XML格式测试数据;
    存储???,用于将转换后的XML格式测试数据进行多地址存储。

    8.  根据权利要求7所述的系统,其特征在于,所述转换??橹谢竦玫腦ML格式测试数据包括测试??橹欣辔谋静馐允莸腖OT信息、WAFER信息和SITE信息。

    9.  根据权利要求8所述的系统,其特征在于,所述转换??橹谢竦玫腦ML格式测试数据包括:
    文档信息;
    嵌套在文档信息节点下的LOT信息;
    嵌套在LOT信息节点下的WAFER信息;
    嵌套在WAFER信息节点下的SITE信息;
    嵌套在SITE信息节点下的测试数值。

    10.  根据权利要求8所述的系统,其特征在于,所述LOT信息包括批号信息,产品名信息,量测时间信息,厂名信息,规范文件信息,工艺名信息,设备名信息,操作人员信息;所述WAFER信息包括片数信息,点数信息,参数数目信息,开始时间信息,结束时间信息,测试时间信息,合格片信息,失效项号信息;所述SITE信息包括点号信息,点状态,X坐标信息,Y坐标信息。

    说明书

    说明书晶圆测试数据处理方法及其系统
    技术领域
    本发明涉及半导体测试技术领域,特别是涉及一种晶圆测试数据处理方法及其系统。
    背景技术
    现有技术中的晶圆测试数据是一行一行逐行进行排列的,只需要采用文本读取方式对下面格式来进行顺序的读取并存储数据。目前对数据的读取仅限在Lucent测试系统上,WINDOWS系统尚无高效的读取方式,数据量大时,读取很慢。就当前情形,对数据分析非常不利。现有的技术可以对上述的格式进行数据的读取,但是特殊格式还不能实现,所以改变现状刻不容缓。类文本格式的数据是由UNIX环境Lucent测试系统在测试时自动生成的,也是测试系统自带的功能,并不能满足日益增长的多系统多数据源共享的需要。
    可扩展标记语言(Extensible Markup Language,XML),用于标记电子文件使其具有结构性的标记语言,可以用来标记数据、定义数据类型,是一种允许用户对自己的标记语言进行定义的源语言,XML是标准通用标记语言(SGML)的子集,非常适合Web传输,且XML可以提供统一的方法来描述和交换独立于应用程序或供应商的结构化数据。
    因此,针对上述技术问题,有必要提供一种晶圆测试数据处理方法及其系统。
    发明内容
    有鉴于此,本发明的目的在于提供一种晶圆测试数据处理方法及其系统,其可以实现测试数据的格式转换。
    为了实现上述目的,本发明实施例提供的技术方案如下:
    一种晶圆测试数据处理方法,所述方法包括以下步骤:
    S1、机台对晶圆依次进行测试,获取类文本格式测试数据;
    S2、提取类文本格式测试数据,并转换成XML格式测试数据;
    S3、将转换后的XML格式测试数据进行多地址存储。
    作为本发明的进一步改进,所述步骤S2中的XML格式测试数据包括测试得到类文本格式测试数据中的LOT信息、WAFER信息和SITE信息。
    作为本发明的进一步改进,所述步骤S2具体为:
    S21、提取类文本格式测试数据中的文档信息;
    S22、提取类文本格式测试数据中的LOT信息,并嵌套在文档信息节点下;
    S23、提取类文本格式测试数据中的WAFER信息,并嵌套在LOT信息节点下;
    S24、提取类文本格式测试数据中的SITE信息,并嵌套在WAFER信息节点下;
    S25、提取类文本格式测试数据中的测试数值,并嵌套在SITE信息节点下。
    作为本发明的进一步改进,所述LOT信息包括批号信息,产品名信息,量测时间信息,厂名信息,规范文件信息,工艺名信息,设备名信息,操作人员信息;所述WAFER信息包括片数信息,点数信息,参数数目信息,开始时间信息,结束时间信息,测试时间信息,合格片信息,失效项号信息;所述SITE信息包括点号信息,点状态,X坐标信息,Y坐标信息。
    作为本发明的进一步改进,所述步骤S2还包括:
    忽略类文本格式测试数据中的无关信息,所述无关信息包括存储路径、数据上下限。
    作为本发明的进一步改进,所述步骤S3中存储的XML格式测试数据包 括用于备份的数据、用于系统内使用的数据和用于系统外使用的数据。
    相应地,一种晶圆测试数据处理系统,所述系统包括:
    测试???,用于对晶圆依次进行测试,获取类文本格式测试数据;
    转换???,用于将提取类文本格式测试数据转换成XML格式测试数据;
    存储???,用于将转换后的XML格式测试数据进行多地址存储。
    作为本发明的进一步改进,所述转换??橹谢竦玫腦ML格式测试数据包括测试??橹欣辔谋静馐允莸腖OT信息、WAFER信息和SITE信息。
    作为本发明的进一步改进,所述转换??橹谢竦玫腦ML格式测试数据包括:
    文档信息;
    嵌套在文档信息节点下的LOT信息;
    嵌套在LOT信息节点下的WAFER信息;
    嵌套在WAFER信息节点下的SITE信息;
    嵌套在SITE信息节点下的测试数值。
    作为本发明的进一步改进,所述LOT信息包括批号信息,产品名信息,量测时间信息,厂名信息,规范文件信息,工艺名信息,设备名信息,操作人员信息;所述WAFER信息包括片数信息,点数信息,参数数目信息,开始时间信息,结束时间信息,测试时间信息,合格片信息,失效项号信息;所述SITE信息包括点号信息,点状态,X坐标信息,Y坐标信息。
    本发明的有益效果是:本发明通过将系统得到的类文本测试数据进行数据整理和分类,转换成叠加嵌套的XML格式测试数据,可以实现多个信息进行分离提取,适用于国际化的工厂需求,无需在存储其它格式的数据,同时,XML格式数据的架构设计,格式保持一致,处理效率高,可使用于其它的系统和工具,数据分析更加的便利,更符合厂内生产需求及未来测试的可扩展性。
    附图说明
    为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明中记载的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
    图1为本发明一实施方式中晶圆测试数据处理方法的具体流程图;
    图2为本发明一实施方式中转换后的XML格式测试数据示意图;
    图3为本发明一实施方式中晶圆测试数据处理系统的??槭疽馔?。
    具体实施方式
    为了使本技术领域的人员更好地理解本发明中的技术方案,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例?;诒痉⒚髦械氖凳├?,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都应当属于本发明?;さ姆段?。
    参图1所示,本发明的一种晶圆测试数据处理方法,包括以下步骤:
    S1、机台对晶圆依次进行测试,获取类文本格式测试数据:
    参下述表1所示为本发明一实施方式中获取的类文本格式测试数据,类文本格式数据信量非常大,包括CODE、LOT、片数、机台、存储路径、温度、工艺大类、操作员名、SPEC上下限、每点值等信息,但是这些信息混合在一起,当需要处理测试数据中某一数据时,需要从整个类文本格式测试数据中进行搜索,提取出对应的数据,由于测试数据信息非常大,所以数据处理效率非常低。
    表1:类文本格式测试数据

    S2、提取类文本格式测试数据,并转换成XML格式测试数据,优选地,本实施方式中的XML格式测试数据包括测试得到类文本格式测试数据中的LOT信息、WAFER信息和SITE信息。
    可扩展标记语言(Extensible Markup Language,XML),用于标记电子文件使其具有结构性的标记语言,可以用来标记数据、定义数据类型,是一种允许用户对自己的标记语言进行定义的源语言。XML是标准通用标记语言(SGML)的子集,非常适合Web传输,XML提供统一的方法来描述和交换独立于应用程序或供应商的结构化数据。
    在XML中,采用了如下的语法:
    任何的起始标签都必须有一个结束标签;
    可以采用另一种简化语法,可以在一个标签中同时表示起始和结束标签。这种语法是在大于符号之前紧跟一个斜线(/),例如<tag/>。XML解析器会将其翻译成<tag></tag>;
    标签必须按合适的顺序进行嵌套,所以结束标签必须按镜像顺序匹配起 始标签。这好比是将起始和结束标签看作是数学中的左右括号:在没有关闭所有的内部括号之前,是不能关闭外面的括号的;
    所有的特性都必须有值;
    所有的特性都必须在值的周围加上双引号。
    本实施方式中,对类文本格式测试数据进行整理和分类后,对于所有信息,分类为3类进行设计整合,层次叠加嵌套,包括:LOT信息、WAFER信息和SITE信息。
    考虑到日后测试系统的多类样化,为了能够适应长期的生产需要,将字段进行扩展预留,新增了规范文件的版本(SpecfileVersion)、控针卡名(ProbeCard)、负责人(Owner)、客户代码(CustomerPartID)、货批类型(LotType)、平边方向(FlatOrientation)、标准(Criteria)、对片失败片号(AlignFailID)、开始时间(startTime)、结束时间(endTime)、合格片(WaferPass)、失效项号(Fail_ItemID)、点数(SiteCount)、点状态(SiteStatus)等信息。
    S3、将转换后的XML格式测试数据进行多地址存储。本实施方式中XML格式测试数据分3个地址进行存储,分别为用于备份的数据、用于系统内使用的数据和用于系统外使用的数据。
    其中,步骤S2中数据转换具体为:
    S21、提取类文本格式测试数据中的文档信息;
    S22、提取类文本格式测试数据中的LOT信息,并嵌套在文档信息节点下;
    S23、提取类文本格式测试数据中的WAFER信息,并嵌套在LOT信息节点下;
    S24、提取类文本格式测试数据中的SITE信息,并嵌套在WAFER信息节点下;
    S25、提取类文本格式测试数据中的测试数值,并嵌套在SITE信息节点 下。
    对于原有类文本格式测试数据中的无关信息,如存储路径、数据上下限等进行转换时忽略不进行收集数据。
    参图2所示,本发明一优选实施方式中测试数据经过处理后的最终字段信息如下:
    ADB_DOCUMENT:记录文档信息;
    ETEST_LOT_RUN:记录LOT信息。如:批号(Lot)、产品名(Product)、量测时间(MeasureTime)、厂名(Fab)、规范文件(Limitfile)、工艺名(Technology)、设备名(Equipment)、操作人员(Operator)等;
    ETEST_WAFER_RUN:记录WAFER信息。如:片数(WaferNumber)、点数(SiteCount)、参数数目(ParameterCount)、开始时间(startTime)、结束时间(endTime)、测试时间(testTime)、合格片(WaferPass)、失效项号(Fail_ItemID)等;
    SITE:记录SITE信息。如:点号(SiteID)、点状态(SiteStatus)、X坐标(SiteX)、Y坐标(SiteY)等;
    T:记录每项值的测试数值。
    相应地,参图3所示,本发明的一种晶圆测试数据处理系统,包括:
    测试???0,用于对晶圆依次进行测试,获取类文本格式测试数据;
    转换???0,用于将提取类文本格式测试数据转换成XML格式测试数据;
    存储???0,用于将转换后的XML格式测试数据进行多地址存储。
    其中,参图2所示,转换???0中获得的XML格式测试数据包括:
    文档信息;
    嵌套在文档信息节点下的LOT信息;
    嵌套在LOT信息节点下的WAFER信息;
    嵌套在WAFER信息节点下的SITE信息;
    嵌套在SITE信息节点下的测试数值。
    在读取测试数据时,根据图2中结构的类型进行逐个节点的进入,并进行单个节点多元素信息的提取。
    以前的类文本格式测试数据只能进行顺序读取,本发明读取任何信息的格式都是固定的结构位置,即使数据量再大,也不会影响读取的速度,取出任何信息都非常的便捷。
    本发明主要是在UNIX环境下实现实时的数据转换,在进行晶圆测试时,每测试完一片数据,自动运行程式进行数据转换,转换程式的运行有一个触发点,将这个触发植入到原有的测试系统,只要测试完成就触发进行格式转换。转换完成后就要进行数据多地址存储,以供各个数据库系统进行数据抓取及数据存档备份使用。各个分析系统对数据进行抓取并删除的动作以释放出更多的存储空间,每个环节紧紧相扣,缺一不可。
    由上述技术方案可以看出,本发明通过将系统得到的类文本测试数据进行数据整理和分类,转换成叠加嵌套的XML格式测试数据,可以实现多个信息进行分离提取,适用于国际化的工厂需求,无需在存储其它格式的数据,同时,XML格式数据的架构设计,格式保持一致,处理效率高,可使用于其它的系统和工具,数据分析更加的便利,更符合厂内生产需求及未来测试的可扩展性。
    对于本领域技术人员而言,显然本发明不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本发明。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
    此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

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