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    重庆时时彩杀号chexu: 超硬激光晶体表面粗糙度的加工方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201910000512

    申请日:

    20190102

    公开号:

    CN109590820A

    公开日:

    20190409

    当前法律状态:

    公开

    有效性:

    审中

    法律详情: 公开
    IPC分类号: B24B1/00 主分类号: B24B1/00
    申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
    发明人: 程鑫;魏朝阳;邵建达;曹俊
    地址: 201800 上海市嘉定区清河路390号
    优先权:
    专利代理机构: 31317 代理人: 张宁展
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201910000512

    授权公告号:

    法律状态公告日:

    20190409

    法律状态类型:

    公开

    摘要

    一种超硬激光晶体表面粗糙度加工方法,该方法包括研磨、粗抛和精密环抛等步骤。本发明方法通过磨料粒径的检测,严格控制研磨阶段各工序的磨削量,从根本上去除亚表面缺陷;通过加入抛光助剂,使抛光液得到更均匀的分散和润滑,从而有效控制表面/亚表面缺陷的产生,大大提高了超硬激光晶体的表面粗糙度,对于规格为125mm×6mm×6mm及133mm×33mm×3mm的Nd:YAG晶体两个大面粗糙度达到0.3nm。

    权利要求书

    1.一种超硬激光晶体表面粗糙度加工方法,其特征在于该方法包括以下步骤: 1)检测研磨用四种规格磨料的粒径,记录180#/240#/320#/500#磨料的最大粒径; 2)采用180#磨料,利用单轴机对晶体元件进行研磨,去除1-2mm,然后分别用240#、320#、500#磨料依次对晶体元件进行研磨,后一道磨料研磨的去除量至少为前一道磨料最大粒径的2倍,经过500#磨料研磨后,超声清洗,利用触针式轮廓仪检测元件表面,若表面粗糙度小于20nm,则进入下一步工序;若表面粗糙度大于20nm,则继续用500#磨料进行研磨直至表面粗糙度小于20nm; 3)在抛光液中加入1~5%体积比的抛光助剂,超声混合均匀构成混合抛光液以对晶体元件进行抛光,首先利用单轴机对晶体元件进行快速抛光,超声清洗后检测,直至表面粗糙度小于10nm,然后利用环抛机对晶体元件进行精密环形抛光,超声清洗后检测,直至表面粗糙度小于0.3nm。 2.根据权利要求1所述的超硬激光晶体表面粗糙度加工方法,其特征在于,所述步骤1)和步骤2)中研磨用的磨料为碳化硅、金刚砂或碳化硼。 3.根据权利要求1或2所述的超硬激光晶体表面粗糙度加工方法,其特征在于,所述步骤3)中抛光液为氧化铝抛光粉抛光液或金刚石微粉抛光液,中位粒径均小于1微米;所述的抛光助剂为重铬酸钠。

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    激光 晶体 表面 粗糙 加工 方法
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