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    重庆时时彩技巧后三: 机械增韧碳基固体润滑薄膜及其制备方法和应用.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201910011219

    申请日:

    20190107

    公开号:

    CN109468612A

    公开日:

    20190315

    当前法律状态:

    实质审查的生效

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效
    IPC分类号: C23C16/24;C23C16/04;C23C16/52 主分类号: C23C16/24;C23C16/04;C23C16/52
    申请人: 中国科学院兰州化学物理研究所
    发明人: 强力;张俊彦;张斌;高凯雄;白常宁
    地址: 730000 甘肃省兰州市城关区天水中路18号
    优先权:
    专利代理机构: 11700 代理人: 李戍
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201910011219

    授权公告号:

    法律状态公告日:

    20190409

    法律状态类型:

    实质审查的生效

    摘要

    本发明公开了一种机械增韧碳基固体润滑薄膜,该机械增韧碳基固体润滑薄膜包括若干层的碳薄膜,各层所述的碳薄膜中均埋有丝网,且相邻的两碳薄膜层中的丝网网线夹角为15~30o??赏üㄒ韵虏街柚频茫?)将一丝网放置在基体上,然后沉积一层碳薄膜;(2)再将一丝网放置在碳薄膜上,然后继续沉积一层碳薄膜;(3)重复步骤(2)。与现有碳薄膜相比,本发明的机械增韧碳基固体润滑薄膜在较大法向应力作用下未发生明显脆性断裂,从而可以确保持久润滑特性。

    权利要求书

    1.机械增韧碳基固体润滑薄膜,其特征在于:所述的机械增韧碳基固体润滑薄膜包括若干层的碳薄膜,各层所述的碳薄膜中均埋有丝网,且相邻的两碳薄膜层中的丝网网线夹角为15~30o。 2.如权利要求1所述的机械增韧碳基固体润滑薄膜,其特征在于:所述的碳薄膜有3~6层。 3.如权利要求1所述的机械增韧碳基固体润滑薄膜,其特征在于:所述的丝网为铝、镍、铁、铜、钢或尼龙丝网。 4.权利要求1或2或3所述的机械增韧碳基固体润滑薄膜的制备方法,包括以下步骤: (1)将一丝网放置在基体上,然后沉积一层碳薄膜; (2)再将一丝网放置在碳薄膜上,然后继续沉积一层碳薄膜; (3)重复步骤(2)。 5.如权利要求4所述的机械增韧碳基固体润滑薄膜的制备方法,其特征在于:采用等离子体化学气相沉积法沉积碳薄膜,优选地,具体沉积条件为:氩气流量30sccm,CH4流量10sccm,腔内气压为15Pa,脉冲偏压为-600V,占空比为40~50%,频率为40~50KHz,沉积时间为60min。 6.如权利要求4所述的机械增韧碳基固体润滑薄膜的制备方法,其特征在于:所述的基体为氟橡胶、丁腈橡胶、硅橡胶中的任意一种,优选地,基体的表面光洁度Ra<200nm。 7.权利要求1或2或3所述的机械增韧碳基固体润滑薄膜的应用,其特征在于:所述的机械增韧碳基固体润滑薄膜在制备动密封件中的应用。 8.一种动密封件,包括橡胶基体,其特征在于:在所述的橡胶基体表面上具有如权利要求1或2或3所述的机械增韧碳基固体润滑薄膜。 9.如权利要求8所述的动密封件,其特征在于:所述的橡胶基体为氟橡胶、丁腈橡胶、硅橡胶中的任意一种。 10.如权利要求8或9所述的动密封件,其特征在于:基体的表面光洁度Ra<200nm,厚度为0.5~5mm。

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    机械 增韧碳基 固体 润滑 薄膜 及其 制备 方法 应用
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