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    重庆时时彩ios: 一种自洁、防雾、隔热镀膜玻璃及其制备方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201910019890

    申请日:

    20190109

    公开号:

    CN109455947A

    公开日:

    20190312

    当前法律状态:

    实质审查的生效

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效
    IPC分类号: C03C17/34 主分类号: C03C17/34
    申请人: 福建工程学院
    发明人: 简明德;王乾廷;董俊豪
    地址: 350000 福建省福州市闽侯县上街镇福州地区大学新校区学园路
    优先权:
    专利代理机构: 35211 代理人: 戴雨君
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201910019890

    授权公告号:

    法律状态公告日:

    20190405

    法律状态类型:

    实质审查的生效

    摘要

    本发明公开了一种自洁、防雾、隔热镀膜玻璃及其制备方法,玻璃包括基板,基板的表面上设有复合膜层,复合膜层由内之外依序包括内层、中间层和外层,内层为二氧化硅层,中间层为二氧化硅+类金刚石层,外层为氟化类金刚石层。本发明的玻璃具有良好的自洁、防雾和隔热功能,同时膜层间的结合强度高。

    权利要求书

    1.一种自洁、防雾、隔热镀膜玻璃,包括基板,基板的表面上设有复合膜层,复合膜层由内之外依序包括内层、中间层和外层,其特征在于:所述内层为二氧化硅层,中间层为二氧化硅+类金刚石层,外层为氟化类金刚石层。 2.根据权利要求1所述的一种自洁、防雾、隔热镀膜玻璃,其特征在于:所述二氧化硅层的厚度为20-50nm。 3.根据权利要求1所述的一种自洁、防雾、隔热镀膜玻璃,其特征在于:所述二氧化硅+类金刚石层的厚度为10-30nm。 4.根据权利要求1所述的一种自洁、防雾、隔热镀膜玻璃,其特征在于:所述氟化类金刚石层的厚度为50-80nm。 5.根据权利要求1所述的一种自洁、防雾、隔热镀膜玻璃,其特征在于:所述基板的厚度为3-7mm。 6.根据权利要求1所述的玻璃的制备方法,其特征在于:所述制备方法包括以下步骤: 1)用清洗机对基板进行清洗; 2)内层:将基板送入镀膜室,射频磁控溅射二氧化硅层,基板的温度为25-60℃,负偏压100-150V,工作气压0.2-1Pa,基板转速2-8rpm,二氧化硅靶电流2-4A,氩气流量为15-25mL/min,溅射时间为45-135min,射频功率为100-300W,二氧化硅靶与基板间距离为40-60 mm; 3)中间层:继续射频磁控溅射二氧化硅+类金刚石层,基板的温度为25-60℃,负偏压100-150V,工作气压0.2-1Pa,基板转速2-8rpm,二氧化硅靶电流2-4A,碳靶电流2-4A,氩气流量为15-25mL/min,溅射时间为10-50min,射频功率为100-300W,二氧化硅靶、碳靶与基板间距离均为40-60 mm; 4)外层:继续射频磁控溅射氟化类金刚石层,基板的温度为25-60℃,负偏压100-150V,工作气压0.2-1Pa,基板转速2-8rpm,碳靶电流2-4A,CHF3气流量为5-10mL/min,氩气流量为15-25mL/min,溅射时间为10-50min,射频功率为100-300W,碳靶与基板间距离为40-60 mm。

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    一种 隔热 镀膜 玻璃 及其 制备 方法
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