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    重庆时时彩买号技巧: 一种基于反应磁控溅射技术制备高熵合金涂层的方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201910017536

    申请日:

    20190109

    公开号:

    CN109402578A

    公开日:

    20190301

    当前法律状态:

    实质审查的生效

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效
    IPC分类号: C23C14/34;C23C14/35;C23C14/16 主分类号: C23C14/34;C23C14/35;C23C14/16
    申请人: 苏州科技大学
    发明人: 卢金斌;马振武;冯杰;殷振;吴永忠
    地址: 215009 江苏省苏州市高新区科锐路1号
    优先权:
    专利代理机构: 代理人:
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    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201910017536

    授权公告号:

    法律状态公告日:

    20190326

    法律状态类型:

    实质审查的生效

    摘要

    本发明公开了一种基于反应磁控溅射技术制备高熵合金涂层的方法,首先对钢基体的表面清除油污,然后在磁控溅射设备中离子轰击清洗钢表面,将单质金属粉Cr、Cu、Fe、Ni、Al按比例球磨混合并加压烧结制成高熵合金靶,并将该靶置于磁控溅射设备的直流阴极上,在Ar、N2混合气氛中利用磁控溅射设备对钢基体进行磁控溅射,由于N2的离子化比例较高,能够在钢基体表面形成AlN、CrN增强的高熵合金涂层,该涂层具有良好的耐磨、耐蚀性能。

    权利要求书

    1.一种基于反应磁控溅射技术制备高熵合金涂层的方法,其特征在于,所述的制作方法包括下述工艺步骤: 步骤一、对预涂工件表面进行预处理,即用砂轮或砂纸打磨表面进行除锈、除毛刺和飞边,用丙酮清除表面的油污; 步骤二、将单质金属粉Cr、Cu、Fe、Ni、Al按一定比例采用球磨混合工艺进行合金化,再用加压烧结制成高熵合金靶; 步骤三、将高熵合金靶置于磁控溅射设备的直流阴极上,关闭磁控溅射设备的真空室,先抽真空并充氩气后进行离子清洗; 步骤四、清洗完毕后启动磁控溅射设备的加热器,对预涂工件加热,进行反应磁控溅射; 步骤五、反应磁控溅射完毕即得到AlN、CrN增强的AlCrCuFeNi高熵合金涂层。 2.根据权利要求1所述的一种基于反应磁控溅射技术制备高熵合金涂层的方法,其特征在于:所述的预涂工件的材料为钢。 3.根据权利要求1所述的一种基于反应磁控溅射技术制备高熵合金涂层的方法,其特征在于:所述的单质金属粉Cr、Cu、Fe、Ni、Al,其纯度为99.5~100%,粉末粒径为30~120μm;其中Cr、Cu、Fe、Ni、Al的质量比为1~1.1:1.2~1.3:1.2~1.4:1.3~1.5:0.5~0.6。 4.根据权利要求1所述的一种基于反应磁控溅射技术制备高熵合金涂层的方法,其特征在于:所述的球磨混合是采用钢制球磨罐进行球磨混合,其中的磨球与金属粉质量比为2.6~3∶1,密封后打开真空阀抽真空20~30分钟,然后将钢制球磨罐放入行星式球磨机,转速为 260~320 r/min,倒向频率 35~45 Hz,球磨混料时间为60~80分钟。 5.根据权利要求1所述的一种基于反应磁控溅射技术制备高熵合金涂层的方法,其特征在于:所述的加压烧结,其具体工艺为:在氩气?;は碌募友股战崧屑友?00~350 MPa,烧结温度范围为950~1070℃,保温2~8分钟。 6.根据权利要求1所述的一种基于反应磁控溅射技术制备高熵合金涂层的方法,其特征在于:所述的离子清洗,其工艺为:将磁控溅射设备的真空室抽真空至2.1×10-2Pa~2×10-3Pa,通入Ar气调节气体流量计的流量,使气压稳定在1~6 Pa范围内,并打开负偏压电源,将负偏压调至450~900V 范围,对预涂工件进行离子轰击辉光清洗,清洗时间10~20分钟。 7.根据权利要求1所述的一种基于反应磁控溅射技术制备高熵合金涂层的方法,其特征在于:所述的反应磁控溅射,其工艺为:磁控溅射设备真空室先通入10~45 升/分的氩气和氮气混合气,其中氩气:氮气的流量比为1:2.1~3.2,工作气压保持在0.3~4.5 Pa,靶间距保持在30~65mm之间,保持预涂工件温度在190~210℃、基体偏压为0.3~0.4 kV、溅射电流为0.1~0.75A下进行反应磁控溅射,控制溅射时间5~36分钟。

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