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    重庆时时彩官方下载: 一种磁控溅射制备高熵合金涂层的方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201910017561

    申请日:

    20190109

    公开号:

    CN109402590A

    公开日:

    20190301

    当前法律状态:

    实质审查的生效

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效
    IPC分类号: C23C14/35;C23C14/16 主分类号: C23C14/35;C23C14/16
    申请人: 苏州科技大学
    发明人: 卢金斌;马振武;冯杰;张明敏;王志新;马明星;殷振
    地址: 215009 江苏省苏州市高新区科锐路1号
    优先权:
    专利代理机构: 代理人:
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    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201910017561

    授权公告号:

    法律状态公告日:

    20190326

    法律状态类型:

    实质审查的生效

    摘要

    本发明公开了一种磁控溅射制备高熵合金涂层的方法,首先将Cr、Mn、Fe、Ni?B、Al?Si按比例进行球磨合金化,经加压烧结制成高熵合金靶,然后在钢基体表面进行磁控溅射高熵合金涂层,最后在渗氮炉中进行渗氮,由于高熵合金涂层含有Cr、Al元素,在渗氮过程中能够形成AlN、CrN的耐磨增强相,获得表面耐磨耐蚀的高熵合金涂层,该涂层可用于高速钢等制作的刀具表面,能够提高刀具的耐磨性、耐蚀性。

    权利要求书

    1.一种磁控溅射制备高熵合金涂层的方法,其特征在于,所述的制作方法包括下述工艺步骤: 步骤一、对预涂工件表面进行预处理,即用砂轮或砂纸打磨表面进行除锈、除毛刺和飞边,用丙酮清除表面的油污; 步骤二、将Cr、Mn、Fe、Ni-B、Al-Si金属粉按一定比例采用球磨混合进行合金化,再采用加压烧结制成高熵合金靶; 步骤三、将高熵合金靶置于直流阴极上,关闭真空室,先抽真空并充氩气后进行离子清洗; 步骤四、离子清洗完毕后,启动加热器对预涂工件加热进行磁控溅射; 步骤五、磁控溅射完毕即得到AlN、CrN增强的AlCrFeMnNi高熵合金涂层。 2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射制备高熵合金涂层的方法,其特征在于:所述的预涂工件,其材料为高速钢。 3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射制备高熵合金涂层的方法,其特征在于:所述的Cr、Mn、Fe金属粉,其纯度为99.5~100%,粉末粒径为30-120μm;Ni-B金属粉中B的质量百分比为3~4%,Ni的质量百分比为96~97%;Al-Si金属粉中Si的质量百分比为3~4%,Al的质量百分比为96~97%;Cr、Mn、Fe、Ni-B、Al-Si金属粉的质量比为1~1.1:1.2~1.3:1.2~1.4:1.2~1.4:0.6~0.7。 4.根据权利要求1所述的一种磁控溅射制备高熵合金涂层的方法,其特征在于:所述球磨混合是采用钢制球磨罐进行球磨混合,其中的磨球与金属粉质量比为2.7~3.3∶1,密封后打开真空阀抽真空20~30分钟,将球磨罐放入行星式球磨机,转速为 260~300 r/min,倒向频率 32~45 Hz,进行球磨混合时间为40~50分钟。 5.根据权利要求1所述的一种磁控溅射制备高熵合金涂层的方法,其特征在于:所述的加压烧结,其工艺为:在氩气?;は录友股战崧屑友?00~320 MPa,烧结温度范围为860-970℃,保温4~7分钟。 6.根据权利要求1所述的一种磁控溅射制备高熵合金涂层的方法,其特征在于:所述的离子清洗,其工艺为:抽真空至2×10-2Pa~2×10-3Pa,通入Ar气调节气体流量计的流量,使气压稳定在2~6 Pa,并打开负偏压电源,将负偏压调至400~900V 范围,对预涂工件进行离子轰击辉光清洗,清洗时间10~20分钟,同时启动加热器对预涂工件进行加热。 7.根据权利要求1所述的一种磁控溅射制备高熵合金涂层的方法,其特征在于:所述的磁控溅射,其工艺为:真空室先通入10~50升/分的氩气和氮气混合气,其中氩气:氮气的流量比为1:2~3,工作气压保持在0.5~1.7 Pa,靶间距保持在30~80mm之间,保持工件温度在150~190℃、基体偏压为0.3~0.4kV的电压、0.1~0.75A的电流下进行反应磁控溅射,控制溅射时间4~8分钟。

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    一种 磁控溅射 制备 合金 涂层 方法
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