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    一种 位移 测量 传感器 方法
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    摘要
    申请专利号:

    CN201910025156

    申请日:

    20190111

    公开号:

    CN109489565A

    公开日:

    20190319

    当前法律状态:

    实质审查的生效

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效
    IPC分类号: G01B11/02 主分类号: G01B11/02
    申请人: 南京华群光电技术有限公司
    发明人: 魏群;秦建秋
    地址: 210039 江苏省南京市雨花台区板桥街道办事处振兴路59号
    优先权:
    专利代理机构: 32203 代理人: 薛云燕;孟睿
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201910025156

    授权公告号:

    法律状态公告日:

    20190412

    法律状态类型:

    实质审查的生效

    摘要

    本发明公开了一种位移测量传感器及方法。该传感器包括光源、一号柱面镜、一号凸透镜、胶合透镜、二号柱面镜、二号凸透镜和四象限光电耦合探测器,所述胶合透镜由第一直角棱镜、第二直角棱镜和一块柱面镜胶合而成。方法为:光源发出的光,经过一号柱面镜和一号凸透镜进行光路整形得到平行光;所得平行光经过胶合透镜后入射至二号柱面镜,并经过二号柱面镜出射至目标面上形成光斑;所形成光斑的反射光沿原路返回至胶合透镜,并被胶合透镜反射到二号凸透镜;二号透镜对接收的光束进行聚焦,在四象限光电耦合探测器上以能量强弱的形式输出电信号,从而得到与电信号一一对应的距离。本发明位移测量传感器采用非接触式的测量方法,测量方便且精度高。

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