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    重庆时时彩豹子多少倍: 一种硅片进出料归正结构及其归正方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201910032804

    申请日:

    20190114

    公开号:

    CN109637964A

    公开日:

    20190416

    当前法律状态:

    公开

    有效性:

    审中

    法律详情: 公开
    IPC分类号: H01L21/68;H01L21/687 主分类号: H01L21/68;H01L21/687
    申请人: 上海釜川自动化设备有限公司
    发明人: 戴洪烨
    地址: 200000 上海市嘉定区澄浏公路52号39幢2楼J1078室
    优先权:
    专利代理机构: 11616 代理人: 梁永昌
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201910032804

    授权公告号:

    法律状态公告日:

    20190416

    法律状态类型:

    公开

    摘要

    本发明公开了一种硅片进出料归正结构及其归正方法,通过在多条副传动轴上分别设置多组归正结构,且归正结构由宽变窄与多条副传动轴形成传动轴组合的一套归正装置,通过副传动轴旋转,放置在其上面的硅片被带动往前做直线运动,如果硅片不在归正区中间或歪斜,在碰到越来越窄的归正区归正挡轮,即可被及时调整歪斜状态。如果需要进行更大尺寸硅片切换,只需要松掉锁定螺母,然后将归正挡轮旋至所需要的位置即可,而不需要将整根副传动轴进行更换。

    权利要求书

    1.一种硅片进出料归正结构,包括底板,所述底板上设有主传动轴,所述主传动轴通过轴承支撑座固定在底板上,所述主传动轴上安装有多个主传动齿轮(1),所述主传动齿轮(1)分别与主传动轴的一侧固定在底板上的多个副传动齿轮啮合,所述多个副传动齿轮分别连接多条副传动轴(2),所述多条副传动轴(2)并列排列,其特征在于,所述并列的多条副传动轴(2)上分别并列设有用于归正硅片(3)的归正结构,所述并列设置的多个归正结构在同一中线上,所述并列的归正结构尺寸按照箭头A所示的硅片(3)运动方向,在多个副传动轴(2)上形成一套纵向排列且归正结构的尺寸由下至上逐渐变窄的归正装置;通过该归正装置,使硅片(3)在按箭头A所示的由下至上运动时,通过逐渐变窄的归正结构的尺寸来调整不在归正装置中间或歪斜的硅片(3)。 2.根据权利要求1所述的一种硅片进出料归正结构,其特征在于,所述多条副传动轴(2)上并列设有多套归正装置,可以同时进行硅片(3)的归正调整,提高效率。 3.根据权利要求2所述的一种硅片进出料归正结构,其特征在于,所述归正结构包括一对设置在副传动轴(2)上的归正挡轮(6),所述归正挡轮(6)一端的边缘设有凸起状的挡片(6-1),且该对挡片(6-1)相对设置,所述硅片(3)用于放置在该对归正挡轮(6)之间,所述硅片(3)的边缘被挡片(6-1)所限制。 4.根据权利要求3所述的一种硅片进出料归正结构,其特征在于,所述归正挡轮(6)另一端上设有用于锁定归正挡轮(6)的锁定螺母(7),用于限制归正挡轮(6)的移位。 5.根据权利要求2-4任一项所述的一种硅片进出料归正结构,其特征在于,所述每条副传动轴(2)上的多组归正结构之间设有限位槽(4)。 6.根据权利要求5所述的一种硅片进出料归正结构,其特征在于,所述限位槽(4)内设有限位挡圈(5),用于运行时相邻的归正结构之间的阻隔和减震。 7.根据权利要求6所述的一种硅片进出料归正结构,其特征在于,所述锁定螺母(7)、归正挡轮(6)与副传动轴(2)通过螺纹连接,用于根据硅片的尺寸,调整每对归正挡轮(6)上挡片(6-1)之间的距离,且锁定螺母(7)通过螺纹锁定调整后的归正挡轮(6)。 8.根据权利要求7所述的一种硅片进出料归正结构,其特征在于,所述锁定螺母(7)与副传动轴(2)之间设有定位槽,并通过设置在定位槽内的侧挡圈(7-1)密封。 9.一种根据权利要求1-8任一项所述的硅片进出料归正方法,步骤如下: S1:将硅片(3)放入该归正装置中: S2:通过电机驱动主传动轴旋转带动主传动齿轮(1)与副传动齿轮啮合运动,从而间接带动副传动轴(2)旋转,使副传动轴(2)上的归正挡轮(6)带动硅片(3)按照箭头A所示的运动方向往前做直线运动; 如果硅片(3)不在归正装置的中间或歪斜,被传动向前的硅片(3)的边缘在碰到逐渐变窄的归正结构上的归正挡轮(6)时,即可被及时调整歪斜状态。

    关 键 词:
    一种 硅片 进出 料归正 结构 及其 方法
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