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    一种 硅片 进出 料归正 结构 及其 方法
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    摘要
    申请专利号:

    CN201910032804

    申请日:

    20190114

    公开号:

    CN109637964A

    公开日:

    20190416

    当前法律状态:

    公开

    有效性:

    审中

    法律详情: 公开
    IPC分类号: H01L21/68;H01L21/687 主分类号: H01L21/68;H01L21/687
    申请人: 上海釜川自动化设备有限公司
    发明人: 戴洪烨
    地址: 200000 上海市嘉定区澄浏公路52号39幢2楼J1078室
    优先权:
    专利代理机构: 11616 代理人: 梁永昌
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201910032804

    授权公告号:

    法律状态公告日:

    20190416

    法律状态类型:

    公开

    摘要

    本发明公开了一种硅片进出料归正结构及其归正方法,通过在多条副传动轴上分别设置多组归正结构,且归正结构由宽变窄与多条副传动轴形成传动轴组合的一套归正装置,通过副传动轴旋转,放置在其上面的硅片被带动往前做直线运动,如果硅片不在归正区中间或歪斜,在碰到越来越窄的归正区归正挡轮,即可被及时调整歪斜状态。如果需要进行更大尺寸硅片切换,只需要松掉锁定螺母,然后将归正挡轮旋至所需要的位置即可,而不需要将整根副传动轴进行更换。

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    本文标题:一种硅片进出料归正结构及其归正方法.pdf
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