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    重庆时时彩二星012: 一种用于三氯氢硅尾气处理的清洁化方法及装置.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201910029610

    申请日:

    20190114

    公开号:

    CN109534345A

    公开日:

    20190329

    当前法律状态:

    实质审查的生效

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效
    IPC分类号: C01B33/107;C01B7/07 主分类号: C01B33/107;C01B7/07
    申请人: 天津中科拓新科技有限公司
    发明人: 宋兴桥
    地址: 300350 天津市津南区咸水沽照明里1号楼3门101
    优先权:
    专利代理机构: 12231 代理人: 王丽
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201910029610

    授权公告号:

    法律状态公告日:

    20190423

    法律状态类型:

    实质审查的生效

    摘要

    本发明涉及一种用于三氯氢硅尾气处理的清洁化方法及装置。包括吸收塔,光反应器、混合器、精馏塔组成的三氯氢硅尾气处理装置;将光催化反应应用于三氯氢硅尾气吸收过程。有效回收三氯氢硅尾气中的二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅和氯化氢,并通过光反应器将二氯二氢硅和三氯氢硅转化为四氯化硅,提高了原料的利用率。吸收剂来源于反应生成的粗四氯化硅,不需外加吸收剂。由于将二氯二氢硅和三氯氢硅转化为四氯化硅进入四氯化硅精制系统,轻组分量减少,降低四氯化硅精制系统的负荷。通过吸收和光反应,有效减少进入喷淋系统的尾气,减少了喷淋塔负荷。尾气中的HCl回收率达90?99.5%,二氯二氢硅和三氯氢硅转化率达90?99.5%。

    权利要求书

    1.一种用于三氯氢硅尾气处理的清洁化方法;其特征是包括以下步骤: (1)首先将三氯氢硅尾气送入吸收塔下部,吸收剂为粗四氯化硅,通过吸收塔的作用,将三氯氢硅尾气中的二氯二氢硅、三氯氢硅吸收至塔釜液中,并作为原料输送至混合器,未被吸收的HCl从塔顶采出; (2)新鲜氯气进入混合器与吸收塔底部物料混合后,进入光反应器,在光照的作用下,吸收液中的二氯二氢硅、三氯氢硅与氯气反应生成四氯化硅和HCl,生成的HCl从光反应器塔顶采出返回吸收塔底部,生成的四氯化硅从光反应器溢流至精馏塔; (3)精馏塔将未反应的少量二氯二氢硅、三氯氢硅、及溶解的HCl从塔顶蒸出后作为尾气进入喷淋系统,塔釜采出粗品四氯化硅一部分作为四氯化硅精制的原料,一部分作为吸收塔的吸收剂。 2.如权利要求1所述的方法,其特征是所述的吸收剂与三氯氢硅尾气质量比为1-3:1。 3.如权利要求1所述的方法,其特征是所述的吸收剂来源于精馏塔塔底采出的的四氯化硅,不需要增加外来吸收剂。 4.如权利要求1所述的方法,其特征是所述的的光反应器采用的光源为波长330-425nm的紫外光、400-700nm的氙光灯、钨光灯中的一种或组合使用。 5.如权利要求1所述的方法,其特征是所述的光反应器为一台或者多台串联。 6.如权利要求1所述的方法,其特征是所述的光反应器反应温度为25-50℃,反应时间为0.5-2h。 7.如权利要求1所述的方法,其特征是所述的混合器混合物料中氯气和三氯氢硅、二氯二氢硅总量摩尔比为1:1-10:1。 8.权利要求1所述方法的用于三氯氢硅尾气处理的清洁化装置,包括吸收塔,光反应器、混合器、精馏塔组成的三氯氢硅尾气处理装置,吸收塔上部设有吸收剂进口,下部设有三氯氢硅尾气进口,顶部设有氯化氢采出口,底部设有塔底物料采出口,其中吸收剂进口连接精馏塔底部,塔底物料采出口连接混合器;光反应器顶部设有气相采出口,上部设有反应产物溢流口,下部设有反应物料进口,其中反应物料进口连接混合器,气相采出口连接吸收塔,反应产物溢流口连接精馏塔;混合器设有物料进口、氯气进口及物料出口,其中原料进口连接吸收塔,物料出口连接光反应器;精馏塔顶部设有气相采出口,底部设有产品采出口,其中产品采出口连接吸收塔。

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    一种 用于 三氯氢硅 尾气 处理 清洁 方法 装置
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