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    摘要
    申请专利号:

    CN201910029610

    申请日:

    20190114

    公开号:

    CN109534345A

    公开日:

    20190329

    当前法律状态:

    实质审查的生效

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效
    IPC分类号: C01B33/107;C01B7/07 主分类号: C01B33/107;C01B7/07
    申请人: 天津中科拓新科技有限公司
    发明人: 宋兴桥
    地址: 300350 天津市津南区咸水沽照明里1号楼3门101
    优先权:
    专利代理机构: 12231 代理人: 王丽
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201910029610

    授权公告号:

    法律状态公告日:

    20190423

    法律状态类型:

    实质审查的生效

    摘要

    本发明涉及一种用于三氯氢硅尾气处理的清洁化方法及装置。包括吸收塔,光反应器、混合器、精馏塔组成的三氯氢硅尾气处理装置;将光催化反应应用于三氯氢硅尾气吸收过程。有效回收三氯氢硅尾气中的二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅和氯化氢,并通过光反应器将二氯二氢硅和三氯氢硅转化为四氯化硅,提高了原料的利用率。吸收剂来源于反应生成的粗四氯化硅,不需外加吸收剂。由于将二氯二氢硅和三氯氢硅转化为四氯化硅进入四氯化硅精制系统,轻组分量减少,降低四氯化硅精制系统的负荷。通过吸收和光反应,有效减少进入喷淋系统的尾气,减少了喷淋塔负荷。尾气中的HCl回收率达90?99.5%,二氯二氢硅和三氯氢硅转化率达90?99.5%。

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    本文标题:一种用于三氯氢硅尾气处理的清洁化方法及装置.pdf
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