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    重庆时时彩投注网平台: 细微抗蚀图案形成用组合物以及使用其的图案形成方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201280049610.X

    申请日:

    2012.10.10

    公开号:

    CN103858058A

    公开日:

    2014.06.11

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||专利申请权的转移IPC(主分类):G03F7/40变更事项:申请人变更前权利人:AZ电子材料IP(日本)株式会社变更后权利人:默克专利有限公司变更事项:地址变更前权利人:日本国东京都变更后权利人:德国达姆施塔特登记生效日:20150401|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/40申请日:20121010|||公开
    IPC分类号: G03F7/40; H01L21/027 主分类号: G03F7/40
    申请人: AZ电子材料IP(日本)株式会社
    发明人: 冈安哲雄; 关藤高志; 石井雅弘
    地址: 日本东京都
    优先权: 2011.10.11 JP 2011-224030
    专利代理机构: 北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 11216 代理人: 刘激扬
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201280049610.X

    授权公告号:

    |||||||||

    法律状态公告日:

    2018.03.13|||2015.04.22|||2014.07.09|||2014.06.11

    法律状态类型:

    授权|||专利申请权、专利权的转移|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供一种组合物以及使用其的图案形成方法,该组合物可形成没有表面皲裂、桥缺陷或者未析像等不良现象的细微的负型光致抗蚀图案。该组合物是一种在使用化学放大型抗蚀组合物而形成负型抗蚀图案的方法中,为了通过使抗蚀图案变粗而将图案细微化而使用的细微图案形成用组合物,该组合物包含溶剂以及在重复单元中含有式(A)、(B)、(C)中任一种结构的聚合物。在由有机溶剂显影液进行显影而获得的负型光致抗蚀图案上涂布该组合物,进行加热,从而形成细微的图案。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种组合物,其是在使用化学放大型抗蚀组合物而形成负型抗蚀图案的方法中,为了通过使抗蚀图案变粗而将图案细微化而使用的细微图案形成用组合物,
    其特征在于包含溶剂以及在重复单元中含有下述化学式中任一种结构的聚合物,
    [化学式1]


    2.  根据权利要求1所述的组合物,其中,所述聚合物包含所述结构(B)或者(C)。

    3.  根据权利要求1或2所述的组合物,其进一步包含酸。

    4.  根据权利要求1~3中任一项所述的组合物,其中,所述溶剂包含水。

    5.  根据权利要求1~4中任一项所述的组合物,其进一步包含表面活性剂。

    6.  一种细微化的负型抗蚀图案的形成方法,其特征在于包含如下工序:
    在半导体基板上涂布化学放大型光致抗蚀组合物而形成光致抗蚀层的工序;
    将由所述光致抗蚀层覆盖的所述半导体基板进行曝光的工序;
    在所述曝光后用有机溶剂显影液进行显影的工序;
    在所述光致抗蚀图案的表面涂布细微图案形成用组合物的工序,该组合物包含溶剂以及在重复单元中含有下述化学式中任一种结构的聚合物;
    [化学式2]

    将涂布完的光致抗蚀图案加热的工序;以及
    将过量的细微图案形成用组合物洗涤并去除的工序。

    7.  根据权利要求6所述的细微化的负型抗蚀图案的形成方法,其中,所述光致抗蚀组合物进一步包含光酸产生剂。

    关 键 词:
    细微 图案 形成 组合 以及 使用 方法
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