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    重庆时时彩云顶平台: 可识别的具有编码信息的IC图案.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201310435219.X

    申请日:

    2013.09.23

    公开号:

    CN103853870A

    公开日:

    2014.06.11

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G06F 17/50申请日:20130923|||公开
    IPC分类号: G06F17/50 主分类号: G06F17/50
    申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
    发明人: 张世明; 林子钦; 罗仁杰; 唐于博; 欧宗桦
    地址: 中国台湾新竹
    优先权: 2012.12.03 US 13/692,845
    专利代理机构: 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人: 章社杲;孙征
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201310435219.X

    授权公告号:

    103853870B||||||

    法律状态公告日:

    2017.05.24|||2014.07.09|||2014.06.11

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种以区分多个图案的方式设计填充有多个不可区分的伪部件因而具有多个相似图案的IC设计布局的方法,并因此设计IC设计布局。为区分布局中的每一图案,在设计阶段创建伪部件的同时,将在尺寸和/或位置偏离一些预定的均衡值的偏差编码进每一图案中选定的伪部件组。通过识别这些编码的伪部件以及从例如晶圆或光掩模的SEM图像提供的图像信息中测量偏差,可以在IC设计布局中定位相应的图案。为了从给定的图案中更快更易地识别编码的伪部件,可以使用预确定的锚伪部件组。本发明还公开了一种可识别的具有编码信息的IC图案。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种以区分其包含的多个相似图案的方式制造集成电路(IC)设计布局的方法,每一个图案都包括以基本规律的方式排列的多个基本相同的伪部件,所述方法包括:
    确定每一图案中要偏离的至少一个可调伪部件;
    确定锚伪部件的锚组从而定位每一图案中的所述至少一个可调伪部件,所述锚伪部件的锚组与每一图案中的所述至少一个可调伪部件具有固定的空间关系;
    确定要改变以使所述至少一个可调伪部件偏离的调整参数;
    对于每一调整参数,确定所述调整参数可通过其改变的偏差值;以及
    对于每一图案以及其中的每一可调伪部件,通过相应的偏差值以如下方式来改变所述调整参数中的一个或多个:使得不同的图案可通过具有已改变的调整参数的可调伪部件来区分。

    2.  根据权利要求1所述的方法,其中,所述调整参数选自由宽度、长度、x间距、y间距或者每一可调伪部件的形状所组成的组。

    3.  根据权利要求2所述的方法,其中,对于每一调整参数,所述偏差值是具有恒定间隔的离散数值。

    4.  一种集成电路(IC)布局,包括其中具有编码的区别的多个图案,每一图案都包括:
    以基本规律的方式排列的多个伪部件,每一伪部件都具有相同的可观察参数的组,每一可观察参数都具有一个数值,所述多个伪部件包括:
    锚伪部件的锚组,其中在所有的图案中,任何两个相应设置的锚伪部件都共享共同的分别分配给其所述可观察参数的数值组;以及
    一个或多个可调伪部件,每一可调伪部件都与所述锚伪部件具有固定的预定空间关系,
    其中,每一图案中的所述可调伪部件都具有相应的可观察参数的组,所述可观察参数被分配相应的数值以限定所述可调伪部件的唯一轮廓,从而对于每一图案来说都使所述设计布局中任何两个不同的图案具有不同 轮廓的所述可调伪部件。

    5.  根据权利要求4所述的IC布局,其中,用于每一伪部件的可观察参数选自宽度、长度、x间距、y间距或者所述每一伪部件的形状。

    6.  根据权利要求4所述的IC布局,其中,用于所述可调伪部件的每一可观察参数的所述数值选自一组具有恒定间隔的离散数值。

    7.  一种在集成电路设计布局中定位图案的方法,其通过计算机系统的一个或多个处理器来实施,所述方法包括:
    接收将被定位的图案的图像信息,所述图案包括以基本规律的方式排列的多个基本相同的伪部件;
    从所述图像信息中确定伪部件的锚组,所述伪部件的锚组具有预定的配置、尺寸和相对于所述图案中的剩余伪部件的位置;
    从所述图像信息中确定至少一个可调伪部件的组,所述至少一个可调伪部件的组相对于所述锚组具有固定的预定空间关系;
    从所述图像信息中确定偏差在尺寸、位置或形状方面的量级,通过所述偏差所述至少一个可调伪部件中的每一个都偏离预定的均衡的尺寸、位置或形状;以及
    在所述集成电路设计布局中定位具有在与所述锚组的空间关系方面和与预定的均衡的尺寸和位置偏差的量级方面与被识别的所述至少一个可调伪部件的组相同的伪部件组的图案。

    8.  根据权利要求7所述的方法,其中,定位图案包括通过所述处理器搜寻存储所述集成电路设计布局的所有图案的图像信息的数据库。

    9.  根据权利要求7所述的方法,其中,尺寸方面的偏差包括宽度和/或长度的偏差。

    10.  根据权利要求7所述的方法,其中,位置方面的偏差包括x间距和/或y间距的偏差。

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