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    重庆时时彩二星平买: 利用纳米硅和二氧化硅界面态来提高非线性光学性能的方法.pdf

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    摘要
    申请专利号:

    CN201410055784.8

    申请日:

    2014.02.19

    公开号:

    CN103852951A

    公开日:

    2014.06.11

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G02F 1/355申请日:20140219|||公开
    IPC分类号: G02F1/355 主分类号: G02F1/355
    申请人: 南京大学
    发明人: 徐骏; 张培; 张晓伟; 谭大猛; 绪欣; 李伟; 徐岭; 余林蔚; 陈坤基
    地址: 210093 江苏省南京市鼓楼区汉口路22号
    优先权:
    专利代理机构: 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 代理人: 陈建和
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201410055784.8

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2016.11.16|||2014.07.09|||2014.06.11

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    利用纳米硅和二氧化硅界面态来提高非线性光学性能的方法,包括以下步骤;1)利用等离子体增强化学气相淀积技术在单晶硅衬底或者石英衬底制备非晶硅/二氧化硅交替的多层薄膜,非晶硅/二氧化硅的层数一般为4-16层,通过控制非晶硅的生长时间及原位等离子氧化时间来控制非晶硅子层和二氧化硅子层的厚度;控制非晶硅子层和二氧化硅子层厚度,随后形成纳米硅量子点时获得尺寸和密度不同的材料;2)对非晶硅/二氧化硅多层薄膜进行热退火处理。本发明可以在较大范围增强非线性光学系数,还可以调控其非线性光学性能。

    关于本文
    本文标题:利用纳米硅和二氧化硅界面态来提高非线性光学性能的方法.pdf
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