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    重庆时时彩自己怎么玩: 用于浸没式光刻机的气密封和微孔密封装置.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201410172815.8

    申请日:

    2014.04.25

    公开号:

    CN103969964A

    公开日:

    2014.08.06

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20140425|||公开
    IPC分类号: G03F7/20 主分类号: G03F7/20
    申请人: 浙江大学
    发明人: 傅新; 徐宁; 陈文昱
    地址: 310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
    优先权:
    专利代理机构: 杭州求是专利事务所有限公司 33200 代理人: 林怀禹
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201410172815.8

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2015.11.25|||2014.09.03|||2014.08.06

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种用于浸没式光刻机的气密封和微孔密封装置。在浸没式光刻机中的投影透镜组和硅片之间设置有气密封和微孔密封装置;气密封和微孔密封装置包括浸没单元基体、浸没单元上端盖、浸没单元下端盖和浸没单元气密封端盖;浸没单元基体上面与浸没单元上端盖接触,浸没单元基体下面依次与浸没单元下端盖和浸没单元气密封端盖接触紧固连接。本发明用来完成浸没式光刻系统中缝隙流场的密封和液体注入回收功能,采用气密封结构和微孔结构防止液体泄漏,在微孔上加上负压对液体进行回收并约束缝隙流场,通过气密封结构实现缝隙流场的密封,同时能够保证缝隙流场边缘的稳定性。通过大流量注液和回收实现缝隙流场内浸没液体的稳定更新。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种用于浸没式光刻机的气密封和微孔密封装置,在浸没式光刻机中的投影透镜组(1)和硅片(3)之间设置有气密封和微孔密封装置(2);其特征在于:所述气密封和微孔密封装置(2)包括浸没单元基体(2A)、浸没单元上端盖(2B)、浸没单元下端盖(2C)和浸没单元气密封端盖(2D);所述的浸没单元基体(2A)上面与浸没单元上端盖(2B)接触,浸没单元基体(2A)下面依次与浸没单元下端盖(2C)和浸没单元气密封端盖(2D)接触,并通过螺钉紧固连接;其中:
    1) 浸没单元基体(2A):
    在浸没单元基体(2A)上开有中心倒锥孔,中心锥孔大端向外为相对分布的第一注液腔(4B)和第一液体回收腔(5B),第一注液腔(4B)与折线形的第一注液通道(4A)相连,第一液体回收腔(5B)与折线形的第一液体回收通道(5A)相连;中心锥孔大端向外为相对分布的右侧第二注液腔(6B1)和左侧第二注液腔(6B2),右侧第二注液腔(6B1)向外与折线形的右侧第二注液通道(6A1)相连,右侧第二注液腔(6B1)向下与方形注液腔(6C)相连通,左侧第二注液腔(6B2)向外与折线形的左侧第二注液通道(6A2)相连,左侧第二注液腔(6B2)向下与方形注液腔(6C)相连通;在右侧第二注液腔(6B1)和第一注液腔(4B)之间开有右侧第二液体回收腔(7B1),右侧第二液体回收腔(7B1)向外与折线形的右侧第二液体回收通道(7A1)相连,右侧第二液体回收腔(7B1)向下与右侧第二液体回收槽(7C1)相连通,右侧第二液体回收槽(7C1)向内与方形液体回收腔(7D)相连,在左侧第二注液腔(6B2)和第一注液腔(5B)之间开有左侧第二液体回收腔(7B2),左侧第二液体回收腔(7B2)向外与折线形的左侧第二液体回收通道(7A2)相连,左侧第二液体回收腔(7B2)向下与第二液体回收槽(7C2)相连通,左侧第二液体回收槽(7C2)向内与方形液体回收腔(7D)相连,右侧第二注液腔(6B1)向外为注气腔(8B1),右侧注气腔(8B1)与右侧注气通道(8A1)相连,左侧第二注液腔(6B2)向外为左侧注气腔(8B2),左侧注气腔(8B2)与左侧注气通道(8A2)相连,在右侧注气腔(8B1)与第一液体回收腔(5B)之间开有右侧气体回收腔(9B1),右侧气体回收腔(9B1)与折线形的右侧气体回收通道(9A1)相连,在左侧注气腔(8B2)与第一液体回收腔(4B)之间开有左侧气体回收腔(9B2),左侧气体回收腔(9B2)与折线形的左侧气体回收通道(9A2)相连;第一注液通道(4A)、右侧第二液体回收通道(7A1)、右侧注气通道(8A1)、右侧第二注液通道(6A1)和右侧气体回收通道(9A1)向浸没单元基体(2A)一侧聚集,并通过螺纹孔与外部管路相连,第一液体回收通道(5A)、左侧第二液体回收通道(7A2)、左侧注气通道(8A2)、左侧第二注液通道(6A2)和左侧气体回收通道(9A2)向浸没单元基体(2A)的另一侧聚集,通过螺纹孔与外部管路相连;
    2) 浸没单元上端盖(2B):
    在浸没单元上端盖(2B)上开有中心通孔;
    3) 浸没单元下端盖(2C):
    在浸没单元下端盖(2C)上开有中心方形通孔,中心方形通孔向外是微孔组成的方形注液孔阵列(6D),注液孔阵列(6D)向下是下端盖注液腔(6E),注液孔阵列(6D)向外是方形微孔组成的方形回收孔阵列(7E);
    4) 浸没单元气密封端盖(2D):
    在浸没单元气密封端盖(2D)上开有中心通孔,中心通孔向外是右侧气体回收腔(9C1)和左侧气体回收腔(9C2),右侧气体回收腔(9C1)和左侧气体回收腔(9C2)与中心通孔相连通,浸没单元气密封端盖(2D)最外侧是注气缓冲腔(8D),右侧气体回收腔(9C1)和左侧气体回收腔(9C2)周向之间开有右侧气密封端盖注气腔(8C1)和左侧气密封端盖注气腔(8C2),右侧气密封端盖注气腔(8C1)和左侧气密封端盖注气腔(8C2)向外与注气缓冲腔(8D)相连通。

    2.  根据权利要求1所述的一种用于浸没式光刻机的气密封和微孔装置,其特征在于:所述的方形注液腔(6C)向下与注液孔阵列(6D)相连通,方形液体回收腔(7D)向下与回收孔阵列(7E)相连通,右侧注气腔(8B1)向下右侧气密封端盖注气腔(8C1)相连通,左侧注气腔(8B2)向下与密封端盖注气腔(8C2)。

    3.  根据权利要求1所述的一种用于浸没式光刻机的气密封和微孔密封装置,其特征在于:所述的注液孔阵列(6D)由圆形孔组成的方形排孔阵列,回收孔阵列(7E)由方形孔组成的方形排孔阵列。

    关 键 词:
    用于 浸没 光刻 密封 微孔 装置
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