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    重庆时时彩组选杀号: 多区驱动的惯性压电马达装置及扫描探针显微镜和控制法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201410209747.8

    申请日:

    2014.05.16

    公开号:

    CN103986365A

    公开日:

    2014.08.13

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):H02N 2/02申请日:20140516|||公开
    IPC分类号: H02N2/02; H02N2/06; G01Q10/02(2010.01)I 主分类号: H02N2/02
    申请人: 中国科学技术大学
    发明人: 周海彪; 陆轻铀
    地址: 230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号
    优先权:
    专利代理机构: 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 代理人: 杨学明;顾炜
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201410209747.8

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2016.06.29|||2014.09.10|||2014.08.13

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明涉及一种多区驱动的惯性压电马达装置及扫描探针显微镜和控制法,其装置包括滑块、基座、弹簧片、导轨,还包括两个或两个以上的压电体;其多区驱动的惯性压电马达装置制成的扫描探针显微镜是:增设支架,该支架固定于基座上,该支架的一部分正对着所述导轨的导向方向;其多区驱动的惯性压电马达装置的控制方法是,压电体集团中各压电体配备的惯性压电马达驱动电路都同步输出同向推动的惯性压电马达驱动信号;其扫描探针显微镜进行粗逼近控制方法是,压电体集团中各压电体配备的专用惯性压电马达驱动电路都同步输出同向推动的惯性压电马达驱动信号。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种多区驱动的惯性压电马达装置,包括滑块、基座、弹簧片、导轨,其特征是还包括多个压电体,所述多个压电体按照形变方向一致且独立施加电压的结构固定在一起,形成压电体集团,该压电体集团的一端固定于基座上,另一端为自由形变端,所述导轨固定于该自由形变端且其导向方向与所述压电体集团形变方向一致,所述弹簧片施加垂直于该压电体集团形变方向的正压力将滑块弹性地压于导轨上,滑块和导轨之间能相对滑动,所述压电体集团中的各个压电体都配备一个专用的惯性压电马达驱动电路与之相连。

    2.  根据权利要求1所述的多区驱动的惯性压电马达装置,其特征是:所述压电体集团中的多个压电体是一体的。

    3.  根据权利要求1或2所述的多区驱动的惯性压电马达装置,其特征是:所述压电体集团是管状的。

    4.  根据权利要求2所述的多区驱动的惯性压电马达装置,其特征是:所述压电体集团是四象限XYZ压电扫描管,其四个XY扫描电极各配备一个专用的惯性压电马达驱动电路与之相连,所述导轨也为管状,其一部分或全部处于四象限XYZ压电扫描管之内,所述滑块为柱状,其一部分或全部处于管状导轨内部,所述弹簧片处于所述滑块和管状导轨内壁之间缝隙中。

    5.  一种权利要求1所述的多区驱动的惯性压电马达装置制成的扫描探针显微镜,其特征是:增设支架,该支架固定于基座上,该支架的一部分正对着所述导轨的导向方向。

    6.  一种权利要求4所述的多区驱动的惯性压电马达装置制成的扫描探针显微镜,其特征是:增设支架,该支架固定于基座上,该支架的一部分正对着所述导轨的导向方向。

    7.  一种权利要求1所述的多区驱动的惯性压电马达装置的控制方法,其特征是:所述压电体集团中各压电体配备的惯性压电马达驱动电路都同步输出同向推动的惯性压电马达驱动信号。

    8.  一种对权利要求6所述的扫描探针显微镜进行粗逼近控制方法,其特征是:所述压电体集团中各压电体配备的专用惯性压电马达驱动电路都同步输出同向推动的惯性压电马达驱动信号。

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