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    重庆时时彩发行日期: 一种原位高分辨观察相变材料电致相变过程的透射电镜薄膜窗口.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201410140893.X

    申请日:

    2014.04.10

    公开号:

    CN103954636A

    公开日:

    2014.07.30

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G01N 23/04申请日:20140410|||公开
    IPC分类号: G01N23/04; G01N1/28; H01J37/26 主分类号: G01N23/04
    申请人: 北京工业大学
    发明人: 韩晓东; 邵瑞文; 郑坤; 张韬; 王疆靖; 张泽
    地址: 100124 北京市朝阳区平乐园100号
    优先权:
    专利代理机构: 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 代理人: 刘萍
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201410140893.X

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2016.10.26|||2014.08.27|||2014.07.30

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    一种高分辨观察相变材料电致相变过程的透射电镜薄膜窗口,包括以下步骤:在金属片上通过激光切割或金属刻蚀的方法在掩模板上加工出电极的形状;将掩模板覆盖在SiNx薄膜窗口上,利用镀膜机镀上金属电极;在所得的电极两端使用FIB进行电子束沉积,制备出小间距Pt电极;利用聚焦离子束,对电极之间的SiNx薄膜对Pt电极之间的薄膜进行切割加工桥状结构的样品平台;在已经做好电极的SiNx薄膜窗口上,使用磁控溅射镀上薄膜样品;用导电胶将透射电镜通电样品杆与电极相连进行原位电学实验。本发明解决了相变材料在器件中不能进行原位观察相变过程的问题,并避免了常规FIB制备的样品损伤,降低了样品的制备难度。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种高分辨观察相变材料电致相变过程的透射电镜薄膜窗口,其特征是制备方法包括以下步骤:
    步骤一:用金属片作为掩模板,在掩模板上加工出电极的形状,中空部分通过激光切割或金属刻蚀的方法得到;
    步骤二:将掩模板覆盖在Si3N4薄膜窗口上,利用镀膜机镀上金属电极,然后将掩模板取下获得两个电极;
    步骤三:在所得的两个电极之间使用聚焦离子束FIB进行电子束沉积,制备出两个Pt电极;然后利用FIB对两个电极之间的Si3N4薄膜以及对两个Pt电极之间的薄膜进行切割加工桥状结构的样品平台;
    步骤四:在上述样品平台使用磁控溅射镀上薄膜样品;用导电胶将透射电镜通电样品杆与电极相连进行原位电学实验。

    2.  根据权利要求1所述的高分辨观察相变材料电致相变过程的透射电镜薄膜窗口,其特征是:所述步骤一掩模板材料为金、钼、铜、铁、铝或镍。

    3.  根据权利要求1所述的高分辨观察相变材料电致相变过程的透射电镜薄膜窗口,其特征是步骤二中两个电极间距为10~100μm。

    4.  根据权利要求1所述的高分辨观察相变材料电致相变过程的透射电镜薄膜窗口,其特征是步骤三中两个Pt电极间距为0.1~10μm。

    5.  根据权利要求1所述的高分辨观察相变材料电致相变过程的透射电镜薄膜窗口,其特征是桥状结构的样品平台宽度为10~1000nm。

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    一种 原位 分辨 观察 相变 材料 过程 透射 薄膜 窗口
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