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    重庆时时彩能提现金吗: 一种去除光阻残留物的清洗液.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201210451120.4

    申请日:

    2012.11.12

    公开号:

    CN103809393A

    公开日:

    2014.05.21

    当前法律状态:

    实审

    有效性:

    审中

    法律详情: 著录事项变更IPC(主分类):G03F 7/42变更事项:申请人变更前:安集微电子科技(上海)有限公司变更后:安集微电子科技(上海)股份有限公司变更事项:地址变更前:201201 上海市浦东新区华东路5001号金桥出口加工区(南区)T6-9幢底层变更后:201201 上海市浦东新区华东路5001号金桥出口加工区(南区)T6-9幢底层|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/42申请日:20121112|||公开
    IPC分类号: G03F7/42 主分类号: G03F7/42
    申请人: 安集微电子科技(上海)有限公司
    发明人: 刘兵; 彭洪修; 孙广胜; 颜金荔; 徐海玉
    地址: 201201 上海市浦东新区华东路5001号金桥出口加工区(南区)T6-9幢底层
    优先权:
    专利代理机构: 上海翰鸿律师事务所 31246 代理人: 李佳铭
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201210451120.4

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2017.12.26|||2015.12.23|||2014.05.21

    法律状态类型:

    著录事项变更|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供了一种用于去除光阻残留物的清洗液及其组成。该去除光阻残留物的清洗液含有醇胺,有机溶剂,没食子酸及其酯以及3-氨基-1,2,4-三氮唑。该去除光阻残留物的清洗液不含有水、羟胺和氟化物。该清洗液在去除晶圆上的光阻残留物同时,对于基材如金属铝、银、铜、钛、钨和非金属二氧化硅、氮化镓等基本无腐蚀,在半导体及LED晶片清洗等领域具有良好的应用前景。

    权利要求书

    1.一种去除光阻蚀刻残留物的清洗液,其特征在于,所述清洗液包括
    醇胺,有机溶剂,没食子酸及其酯以及3-氨基-1,2,4-三氮唑。
    2.如权利要求1所述的清洗液,其特征在于,所述醇胺的含量为
    5-50wt%。
    3.如权利要求2所述的清洗液,其特征在于,所述醇胺的含量为
    10-45wt%。
    4.如权利要求1所述的清洗液,其特征在于,所述有机溶剂的含量为
    40-90wt%。
    5.如权利要求4所述的清洗液,其特征在于,所述有机溶剂的含量为
    50-85wt%。
    6.如权利要求1所述的清洗液,其特征在于,所述没食子酸及其酯的
    含量为0.05-5wt%。
    7.如权利要求6所述的清洗液,其特征在于,所述没食子酸及其酯的
    含量为0.1-3wt%。
    8.如权利要求1所述的清洗液,其特征在于,所述3-氨基-1,2,4-三氮
    唑的含量为0.01-5wt%。
    9.如权利要求8所述的清洗液,其特征在于,所述3-氨基-1,2,4-三氮
    唑的含量为0.05-3wt%。
    10.如权利要求1所述的清洗液,其特征在于,所述的醇胺选自单乙醇
    胺、N-甲基乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、异丙醇胺、乙基二乙醇胺、
    N,N-二乙基乙醇胺、N-(2-氨基乙基)乙醇胺和二甘醇胺中的一种或多
    种。
    11.如权利要求10所述的清洗液,其特征在于,所述的醇胺选自乙醇
    胺、二甘醇胺及其混合物。
    12.如权利要求1所述的清洗液,其特征在于,所述的有机溶剂选自亚
    砜、砜、咪唑烷酮、吡咯烷酮、咪唑啉酮、酰胺和醇醚中的一种或多种。
    13.如权利要求12所述的清洗液,其特征在于,所述的亚砜选自二甲
    基亚砜和甲乙基亚砜中的一种或多种;所述的砜选自甲基砜、环丁砜中
    的一种或多种;所述的咪唑烷酮选自2-咪唑烷酮和1,3-二甲基-2-咪唑
    烷酮中的一种或多种;所述的吡咯烷酮选自N-甲基吡咯烷酮、N-环己
    基吡咯烷酮和N-羟乙基吡咯烷酮中的一种或多种;所述的咪唑啉酮选
    自1,3-二甲基-2-咪唑啉酮;所述的酰胺选自二甲基甲酰胺和二甲基乙酰
    胺中的一种或多种;所述的醇醚选自乙二醇烷基醚、丙二醇烷基醚中的
    一种或多种。
    14.如权利要求13述的清洗液,其特征在于,所述的乙二醇烷基醚为
    乙二醇单乙醚、二乙二醇单甲醚和二乙二醇单丁醚中的一种或多种;所
    述的丙二醇烷基醚为丙二醇单甲醚、丙二醇单丁醚和二丙二醇单甲醚中
    的一种或多种。
    15.如权利要求1所述的清洗液,其特征在于,所述的没食子酸及其酯
    选自没食子酸、没食子酸甲酯、没食子酸乙酯、没食子酸丁酯、没食子
    酸辛酯、没食子酸月桂酯、1-没食子酸甘油酯中的一种或多种。
    16.如权利要求1所述的清洗液,其特征在于,所述清洗液不含有有水、
    羟胺和/或氟化物。

    关 键 词:
    一种 去除 残留物 清洗
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