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    重庆时时彩4星缩水软件: 光刻对准标记的放置方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201210567698.6

    申请日:

    2012.12.24

    公开号:

    CN103901740A

    公开日:

    2014.07.02

    当前法律状态:

    撤回

    有效性:

    无权

    法律详情: 发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):G03F 9/00申请公布日:20140702|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 9/00申请日:20121224|||公开
    IPC分类号: G03F9/00; G03F7/20 主分类号: G03F9/00
    申请人: 上?;绾炅Π氲继逯圃煊邢薰?
    发明人: 丁刘胜
    地址: 201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
    优先权:
    专利代理机构: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 刘昌荣
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201210567698.6

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2016.11.30|||2014.07.30|||2014.07.02

    法律状态类型:

    发明专利申请公布后的视为撤回|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种光刻对准标记的放置方法,步骤包括:1)将所有光刻对准标记集成在掩膜上的图形区域内,和当层的主图形一起制成光刻版;2)算出各光刻对准标记相对集成图形中心的坐标;3)根据晶格的大小,在晶圆上选择多个特别区域用来放置集成图形;4)用曝光机台将光刻版上的集成图形成像到晶圆中的特别区域;5)后层光刻时,平移上层的集成图形进行对准。本发明将光刻对准标记集成后放置在晶圆上的几个特别区域,利用shot的平移实现光刻对准,该方法不受切割线大小的限制,因此解决了切割线尺寸变小后的对准标记放置问题。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  光刻对准标记的放置方法,其特征在于,步骤包括:
    1)在掩膜上设计一个专门放置光刻对准标记的图形区域,将光刻所需的所有对准标记集成在一起,做成集成图形,放置在该图形区域内,和当层的主图形一起制成光刻版;
    2)算出各光刻对准标记相对集成图形中心的坐标;
    3)根据晶格的大小,在晶圆上选择多个特别区域用来放置集成图形;
    4)用曝光机台将光刻版上的集成图形成像到晶圆中的特别区域;
    5)后层光刻时,平移上层的集成图形进行对准。

    2.  根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述特别区域的长度为曝光块的长度,宽度为n×D,其中,D为晶格的尺寸,n为使n×D大于所述图形区域尺寸的最小整数。

    3.  根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述特别区域有5个。

    关 键 词:
    光刻 对准 标记 放置 方法
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