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    摘要
    申请专利号:

    CN201310718120.0

    申请日:

    2013.12.23

    公开号:

    CN103910885A

    公开日:

    2014.07.09

    当前法律状态:

    撤回

    有效性:

    无权

    法律详情: 发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):C08G 77/62申请公布日:20140709|||实质审查的生效IPC(主分类):C08G 77/62申请日:20131223|||公开
    IPC分类号: C08G77/62; H01L21/02 主分类号: C08G77/62
    申请人: 第一毛织株式会社
    发明人: 裴镇希; 李汉松; 郭泽秀; 金古恩; 金补宣; 金相均; 罗隆熙; 朴银秀; 徐珍雨; 宋炫知; 林相学; 任浣熙; 洪承希; 黄丙奎
    地址: 韩国庆尚北道
    优先权: 2012.12.31 KR 10-2012-0158681; 2013.06.27 KR 10-2013-0074682
    专利代理机构: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 余刚;张英
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201310718120.0

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2017.02.01|||2014.08.06|||2014.07.09

    法律状态类型:

    发明专利申请公布后的视为撤回|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明披露了制备间隙填充剂的方法;通过所述方法制备的间隙填充剂;和使用所述间隙填充剂的半导体电容器。制备间隙填充剂的方法包括将卤代硅烷注入碱性溶剂并以约1g/hr至约15g/hr的速度加入基于100重量份卤代硅烷的约50重量份至约70重量份的氨以提供氢化聚硅氮烷。

    关于本文
    本文标题:制备间隙填充剂的方法、用其制备的间隙填充剂和使用间隙填充剂制造半导体电容器的方法.pdf
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