• 四川郎酒股份有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度环保奖 2019-05-13
  • 银保监会新规剑指大企业多头融资和过度融资 2019-05-12
  • 韩国再提4国联合申办世界杯 中国网友无视:我们自己来 2019-05-11
  • 中国人为什么一定要买房? 2019-05-11
  • 十九大精神进校园:风正扬帆当有为 勇做时代弄潮儿 2019-05-10
  • 粽叶飘香幸福邻里——廊坊市举办“我们的节日·端午”主题活动 2019-05-09
  • 太原设禁鸣路段 设备在测试中 2019-05-09
  • 拜耳医药保健有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度企业奖 2019-05-08
  • “港独”没出路!“梁天琦们”该醒醒了 2019-05-07
  • 陈卫平:中国文化内涵包含三方面 文化复兴表现在其中 2019-05-06
  • 人民日报客户端辟谣:“合成军装照”产品请放心使用 2019-05-05
  • 【十九大·理论新视野】为什么要“建设现代化经济体系”?   2019-05-04
  • 聚焦2017年乌鲁木齐市老城区改造提升工程 2019-05-04
  • 【专家谈】上合组织——构建区域命运共同体的有力实践者 2019-05-03
  • 【华商侃车NO.192】 亲!楼市火爆,别忘了买车位啊! 2019-05-03
    • / 9
    • 下载费用:20 金币  

    重庆时时彩后一定胆: 一种场效应管重叠电容的测试结构及方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201310015035.8

    申请日:

    2013.01.16

    公开号:

    CN103928442A

    公开日:

    2014.07.16

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):H01L 23/544申请日:20130116|||公开
    IPC分类号: H01L23/544; G01R27/26 主分类号: H01L23/544
    申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
    发明人: 李勇
    地址: 201203 上海市浦东新区张江路18号
    优先权:
    专利代理机构: 上海光华专利事务所 31219 代理人: 余明伟
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201310015035.8

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2017.02.08|||2014.08.13|||2014.07.16

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供一种场效应管重叠电容的测试结构及方法,该测试方法中首先提供一场效应管作为被测试结构,所述场效应管的栅极结构与所述漏区和源区在垂直方向上有重叠区域;测试得到所述场效应管栅漏间的总电容为C1;然后设计一测试结构,所述测试结构至少包括衬底、设置在所述衬底中的浅沟道隔离区、覆盖在所述浅沟道隔离区上的栅极结构、分别设置在衬底中且位于所述浅沟道隔离区两侧的漏区和源区、设置在所述漏区上的第一连接线、及设置在所述源区上的第二连接线;测试得到所述测试结构栅漏间的总电容为C2;最后将C1减去C2得到被测试结构的重叠电容。本发明提供的重叠电容测试方法操作简单,可方便地获得场效应管的重叠电容。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种场效应管重叠电容的测试方法,其特征在于,所述测试方法至少包括步骤:
    1)提供一场效应管作为被测试结构,所述场效应管至少包括衬底、分别设置在衬底中的漏区和源区、覆盖在所述衬底上且位于所述漏区和源区间的栅极结构、设置在所述漏区上的第一连接线、及设置在所述源区上的第二连接线,所述栅极结构与所述漏区和源区在垂直方向上有重叠区域;测试得到所述被测试结构的栅漏间的总电容为C1;
    2)设计一测试结构,所述测试结构至少包括衬底、设置在所述衬底中的浅沟道隔离区、覆盖在所述浅沟道隔离区上的栅极结构、分别设置在衬底中且位于所述浅沟道隔离区两侧的漏区和源区、设置在所述漏区上的第一连接线、及设置在所述源区上的第二连接线;测试得到所述测试结构栅漏间的总电容为C2;所述测试结构与被测试结构的区别在于测试结构中栅极结构下方是浅沟道隔离区,而被测试结构栅极结构下方是漏区和源区的延伸段,除此之外两者其他部分的尺寸和形状均相同;
    3)将所述被测试结构的总电容C1减去测试结构的总电容C2获得所述被测试结构的重叠
    电容Cgd0。

    2.  根据权利要求1所述的场效应管重叠电容的测试方法,其特征在于:所述被测试结构栅漏间的总电容C1=Cgd0+Ccg+Cgdf,其中,Cgd0为栅极结构与漏区间的重叠电容,Ccg为栅极结构与第一连接线间的电容,Cgdf为栅极结构与漏区外边缘间的电容。

    3.  根据权利要求2所述的场效应管重叠电容的测试方法,其特征在于:所述测试结构栅漏间的总电容C2=Ccg+Cgdf,其中,Ccg为栅极结构与第一连接线间的电容,Cgdf为栅极结构与漏区外边缘间的电容。

    4.  一种场效应管重叠电容的测试结构,用于获得被测试结构的重叠电容,其特征在于:所述测试结构至少包括:衬底、设置在所述衬底中的浅沟道隔离区、覆盖在所述浅沟道隔离区上的栅极结构、分别设置在衬底中且位于所述浅沟道隔离区两侧的漏区和源区、设置在所述漏区上的第一连接线、及设置在所述源区上的第二连接线。

    5.  根据权利要求4所述的场效应管重叠电容的测试结构,其特征在于:所述测试结构中的浅沟道隔离区上表面高出衬底表面。

    6.  根据权利要求4所述的场效应管重叠电容的测试结构,其特征在于:所述衬底包括硅衬底或绝缘体上硅衬底。

    7.  根据权利要求4所述的场效应管重叠电容的测试结构,其特征在于:所述浅沟道隔离区的材料为二氧化硅。

    关 键 词:
    一种 场效应 重叠 电容 测试 结构 方法
      专利查询网所有资源均是用户自行上传分享,仅供网友学习交流,未经上传用户书面授权,请勿作他用。
    0条评论

    还可以输入200字符

    暂无评论,赶快抢占沙发吧。

    关于本文
    本文标题:一种场效应管重叠电容的测试结构及方法.pdf
    链接地址://www.4mum.com.cn/p-6130193.html
    关于我们 - 网站声明 - 网站地图 - 资源地图 - 友情链接 - 网站客服客服 - 联系我们

    [email protected] 2017-2018 www.4mum.com.cn网站版权所有
    经营许可证编号:粤ICP备17046363号-1 
     


    收起
    展开
  • 四川郎酒股份有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度环保奖 2019-05-13
  • 银保监会新规剑指大企业多头融资和过度融资 2019-05-12
  • 韩国再提4国联合申办世界杯 中国网友无视:我们自己来 2019-05-11
  • 中国人为什么一定要买房? 2019-05-11
  • 十九大精神进校园:风正扬帆当有为 勇做时代弄潮儿 2019-05-10
  • 粽叶飘香幸福邻里——廊坊市举办“我们的节日·端午”主题活动 2019-05-09
  • 太原设禁鸣路段 设备在测试中 2019-05-09
  • 拜耳医药保健有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度企业奖 2019-05-08
  • “港独”没出路!“梁天琦们”该醒醒了 2019-05-07
  • 陈卫平:中国文化内涵包含三方面 文化复兴表现在其中 2019-05-06
  • 人民日报客户端辟谣:“合成军装照”产品请放心使用 2019-05-05
  • 【十九大·理论新视野】为什么要“建设现代化经济体系”?   2019-05-04
  • 聚焦2017年乌鲁木齐市老城区改造提升工程 2019-05-04
  • 【专家谈】上合组织——构建区域命运共同体的有力实践者 2019-05-03
  • 【华商侃车NO.192】 亲!楼市火爆,别忘了买车位啊! 2019-05-03