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    摘要
    申请专利号:

    CN201310015035.8

    申请日:

    2013.01.16

    公开号:

    CN103928442A

    公开日:

    2014.07.16

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):H01L 23/544申请日:20130116|||公开
    IPC分类号: H01L23/544; G01R27/26 主分类号: H01L23/544
    申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
    发明人: 李勇
    地址: 201203 上海市浦东新区张江路18号
    优先权:
    专利代理机构: 上海光华专利事务所 31219 代理人: 余明伟
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    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201310015035.8

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2017.02.08|||2014.08.13|||2014.07.16

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供一种场效应管重叠电容的测试结构及方法,该测试方法中首先提供一场效应管作为被测试结构,所述场效应管的栅极结构与所述漏区和源区在垂直方向上有重叠区域;测试得到所述场效应管栅漏间的总电容为C1;然后设计一测试结构,所述测试结构至少包括衬底、设置在所述衬底中的浅沟道隔离区、覆盖在所述浅沟道隔离区上的栅极结构、分别设置在衬底中且位于所述浅沟道隔离区两侧的漏区和源区、设置在所述漏区上的第一连接线、及设置在所述源区上的第二连接线;测试得到所述测试结构栅漏间的总电容为C2;最后将C1减去C2得到被测试结构的重叠电容。本发明提供的重叠电容测试方法操作简单,可方便地获得场效应管的重叠电容。

    关于本文
    本文标题:一种场效应管重叠电容的测试结构及方法.pdf
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