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    重庆时时彩有什么规律嘛: 一种多晶硅片绒面的制备方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201410123902.4

    申请日:

    2014.03.28

    公开号:

    CN103882528A

    公开日:

    2014.06.25

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 专利权的转移IPC(主分类):C30B 33/10登记生效日:20170104变更事项:专利权人变更前权利人:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司变更后权利人:苏州晶银新材料股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号变更后权利人:215000 江苏省苏州市高新区昆仑山路189号|||授权|||实质审查的生效IPC(主分类):C30B 33/10申请日:20140328|||公开
    IPC分类号: C30B33/10; C23F1/24; C30B29/06; H01L31/18 主分类号: C30B33/10
    申请人: 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
    发明人: 孟祥熙; 章灵军; 王栩生; 姜小松; 周军; 许涛
    地址: 215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号
    优先权:
    专利代理机构: 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 代理人: 王华
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201410123902.4

    授权公告号:

    |||||||||

    法律状态公告日:

    2017.01.25|||2016.06.29|||2014.07.16|||2014.06.25

    法律状态类型:

    专利申请权、专利权的转移|||授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种多晶硅片绒面的制备方法,包括如下步骤:(1)将待处理的多晶硅片放入第一制绒槽进行第一次制绒;制绒混合溶液处于循环状态;(2)将待处理的多晶硅片放入第二制绒槽进行第二次制绒;制绒混合溶液处于循环状态和鼓泡状态;(3)将待处理的多晶硅片放入第三制绒槽进行第三次制绒;制绒混合溶液处于循环状态和鼓泡状态。经产线实验证实:15万片硅片经本发明的方法制绒后,只有80片产生了水纹印,相较于以往技术在去除水纹印方面有了显著提高;另外,采用本发明的方法制绒后,硅片表面的花篮印几乎不存在;由此可见,本发明极大地改善了电池片的外观,解决了本领域亟待解决的技术难题。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种多晶硅片绒面的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
    (1) 将待处理的多晶硅片放入第一制绒槽进行第一次制绒;
    所述第一制绒槽中的制绒混合溶液的组分,按质量计,包括:0.5%~1.5%的 CrO3、40%~50%的HF水溶液、0.004%~0.03%的聚乙二醇、0.01%~0.03%的聚丙烯酰胺、0.04%~0.15%的丙烯酸,余量为水;所述HF水溶液中含有质量百分比为49%的HF;
    腐蚀温度为10~30℃,腐蚀时间为250~350秒;
    制绒混合溶液处于循环状态;
    (2) 将待处理的多晶硅片放入第二制绒槽进行第二次制绒;
    所述第二制绒槽中的制绒混合溶液的组分,按质量计,包括:0.3%~1%的 CrO3、45%~60%的HF水溶液、0.004%~0.03%的聚乙二醇、0.01%~0.03%的聚丙烯酰胺、0.04%~0.15%的丙烯酸,余量为水;所述HF水溶液中含有质量百分比为49%的HF;
    腐蚀温度为15~25℃,腐蚀时间为230~270秒;
    制绒混合溶液处于循环状态和鼓泡状态;
    (3) 将待处理的多晶硅片放入第三制绒槽进行第三次制绒;
    所述第三制绒槽中的制绒混合溶液的组分,按质量计,包括:0.3%~1%的 CrO3、45%~60%的HF水溶液、0.004%~0.03%的聚乙二醇、0.01%~0.03%的聚丙烯酰胺、0.04%~0.15%的丙烯酸,余量为水;所述HF水溶液中含有质量百分比为49%的HF;
    腐蚀温度为15~25℃,腐蚀时间为230~270秒;
    制绒混合溶液处于循环状态和鼓泡状态。

    2.  根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述步骤(3)之后,还设有至少1个制绒槽进行制绒,制绒槽中的制绒混合溶液、腐蚀温度、腐蚀时间和状态均与步骤(3)相同。

    3.  根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述步骤(1)中,第一制绒槽中的制绒混合溶液的组分,按质量计,包括:0.9%~1.1%的 CrO3、43%~45%的HF水溶液、0.004%~0.03%的聚乙二醇、0.01%~0.03%的聚丙烯酰胺、0.04%~0.15%的丙烯酸,余量为水;所述HF水溶液中含有质量百分比为49%的HF;腐蚀时间为270~320秒。

    4.  根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述步骤(3)中,第三制绒槽中的制绒混合溶液的组分,按质量计,包括:0.3%~0.8%的 CrO3、46%~58%的HF水溶液、0.004%~0.03%的聚乙二醇、0.01%~0.03%的聚丙烯酰胺、0.04%~0.15%的丙烯酸,余量为水;所述HF水溶液中含有质量百分比为49%的HF;腐蚀时间为230~270秒。

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    一种 多晶 硅片 制备 方法
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