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    重庆时时彩四星跨度走势图: 光刻技术用防尘薄膜组件.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201310726595.4

    申请日:

    2013.12.25

    公开号:

    CN103901716A

    公开日:

    2014.07.02

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 1/62申请日:20131225|||公开
    IPC分类号: G03F1/62(2012.01)I 主分类号: G03F1/62
    申请人: 信越化学工业株式会社
    发明人: 白崎享
    地址: 日本东京都
    优先权: 2012.12.25 JP 2012-280600
    专利代理机构: 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 代理人: 王勇;李科
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201310726595.4

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2018.03.27|||2014.07.30|||2014.07.02

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供一种光刻技术用防尘薄膜组件,在防尘薄膜组件的处理中,即使在因防尘薄膜的张力下降导致防尘薄膜松弛的情况下也不会使防尘薄膜受到损伤。本发明是一种光刻技术用防尘薄膜组件,其具有防尘薄膜和防尘薄膜组件框架,所述防尘薄膜绷紧设置于所述防尘薄膜组件框架的上端表面,其特征在于,绷设有所述防尘薄膜的所述防尘薄膜组件框架的膜侧内切削面的角度小于45度,更优选所述防尘薄膜组件框架的膜侧内切削面的角度为10度至30度。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种光刻技术用防尘薄膜组件,其具有防尘薄膜和防尘薄膜组件框架,所述防尘薄膜绷紧设置于所述防尘薄膜组件框架的上端表面,其特征在于∶绷紧设置有所述防尘薄膜的所述防尘薄膜组件框架的膜侧内切削面的角度小于45度。

    2.  如权利要求1所述的光刻技术用防尘薄膜组件,其特征在于,所述防尘薄膜组件框架的膜侧内切削面的角度为10度至30度。

    3.  如权利要求1或权利要求2所述的光刻技术用防尘薄膜组件,其特征在于,所述防尘薄膜组件框架的膜侧内切削面的倒棱尺寸为0.2mm~0.3mm。

    关 键 词:
    光刻 技术 防尘 薄膜 组件
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