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    重庆时时彩代理拉人: 用于去除溶剂的装置和使用该装置的光刻装置.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201310542617.1

    申请日:

    2013.11.05

    公开号:

    CN103901739A

    公开日:

    2014.07.02

    当前法律状态:

    实审

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/42申请日:20131105|||公开
    IPC分类号: G03F7/42 主分类号: G03F7/42
    申请人: 三星显示有限公司
    发明人: 朴在殷
    地址: 韩国京畿道
    优先权: 2012.12.27 KR 10-2012-0155069
    专利代理机构: 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 代理人: 余朦;王艳春
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201310542617.1

    授权公告号:

    |||

    法律状态公告日:

    2015.12.30|||2014.07.02

    法律状态类型:

    实质审查的生效|||公开

    摘要

    公开了一种溶剂去除装置。一方面包括室、第一泵、消音器、阀以及排放单元。室使形成在衬底上的涂层干燥。第一泵吸入从室的涂层气化的溶剂并排放气化的溶剂。消音器减小第一泵的排放噪声并容纳从第一泵提供的气化的溶剂的液化的溶剂。阀排放容纳在消音器中的液化的溶剂。排放单元排放从消音器提供的气化的溶剂。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  溶剂去除装置,包括:
    室,配置成使形成在衬底上的涂层干燥,所述衬底设置在所述室中;
    第一泵,配置成吸入从所述涂层气化的溶剂并排放该气化的溶剂;
    消音器,配置成减少所述第一泵的排放噪声并容纳从所述第一泵提供的所述气化的溶剂的液化的溶剂;
    阀,配置成排放容纳在所述消音器中的所述液化的溶剂;以及
    排放单元,配置成排放从所述消音器提供的所述气化的溶剂。

    2.  如权利要求1所述的溶剂去除装置,其中所述衬底用作显示板的一部分。

    3.  如权利要求2所述的溶剂去除装置,其中所述涂层是光刻胶。

    4.  如权利要求1所述的溶剂去除装置,其中所述室包括:
    外壁,用于形成空间体积;
    台,容纳在所述空间体积中以支承所述衬底;以及
    热源,设置成朝向所述台并向所述涂层提供辐射热。

    5.  如权利要求1所述的溶剂去除装置,其中所述排放单元包括:
    过滤器,配置成去除包含在从所述消音器提供的所述气化的溶剂中的外来物质;以及
    排放管,配置成将穿过所述过滤器的所述气化的溶剂引导至所述排放管的外部。

    6.  如权利要求1所述的溶剂去除装置,还包括连接至所述消音器的第二泵,其中所述第二泵吸入所述消音器中所容纳的所述液化的溶剂并在所述阀被打开时排放所吸入的液化的溶剂。

    7.  如权利要求1所述的溶剂去除装置,还包括连接至所述消音器的管,所述阀安装在所述管上,以使得容纳在所述消音器中的所述液化的溶剂通过所述管被排放。

    8.  光刻装置,包括:
    清洁部,配置成清洁衬底;
    光刻胶形成部,配置成在所述衬底上形成光刻胶;
    溶剂去除部,配置成使所述光刻胶干燥以去除所述光刻胶中所包括的溶剂;
    曝光部,配置成使被干燥的光刻胶曝光;以及
    显影部,配置成使被曝光的光刻胶显影,
    所述溶剂去除部包括:
    室,配置成使形成在衬底上的涂层干燥,所述衬底设置在所述室中;
    第一泵,配置成吸入从所述涂层气化的溶剂并排放该气化的溶剂;
    消音器,配置成减少所述第一泵的排放噪声并容纳所述气化的溶剂中液化的液化溶剂;
    阀,配置成用于排放容纳在所述消音器中的所述液化溶剂;
    以及
    排放单元,配置成排放从所述消音器提供的所述气化的溶剂。

    9.  如权利要求8所述的光刻装置,其中所述衬底用作显示板的一部分。

    10.  如权利要求8所述的光刻装置,还包括转移部,所述转移部配置成将所述衬底从所述清洁部转移通过所述光刻胶形成部、所述溶剂去除部、以及所述曝光部而到达所述显影部。

    11.  如权利要求8所述的光刻装置,其中所述室包括:
    外壁,用于形成空间体积;
    台,容纳在所述空间体积中以支承所述衬底;以及
    热源,设置成朝向所述台并向所述涂层提供辐射热。

    12.  如权利要求8所述的光刻装置,其中所述排放单元包括:
    过滤器,配置成去除包含在从所述消音器提供的所述气化的溶剂中的外来物质;以及
    排放管,配置成将穿过所述过滤器的所述气化的溶剂引导至所述排放管的外部。

    13.  如权利要求8所述的光刻装置,还包括连接至所述消音器的第二泵,其中所述第二泵吸入所述消音器中所容纳的所述液化的溶剂并在所述阀被打开时排放所吸入的液化的溶剂。

    14.  如权利要求8所述的光刻装置,其中所述溶剂去除部分还包括连接至所述消音器的管,所述阀安装在所述管上,以使得容纳在所述消音器中的所述液化的溶剂通过所述管被排放。

    关 键 词:
    用于 去除 溶剂 装置 使用 光刻
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