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    重庆时时彩工作人员: 液晶显示面板及制造方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201210576983.4

    申请日:

    2012.12.26

    公开号:

    CN103901691A

    公开日:

    2014.07.02

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G02F 1/1368申请日:20121226|||公开
    IPC分类号: G02F1/1368; G02F1/136; H01L27/12; H01L21/77 主分类号: G02F1/1368
    申请人: 上海天马微电子有限公司
    发明人: 霍思涛; 姜文鑫; 楼均辉
    地址: 201201 上海市浦东新区汇庆路889号
    优先权:
    专利代理机构: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 马晓亚
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    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201210576983.4

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2016.08.17|||2014.07.30|||2014.07.02

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种形成液晶显示面板的方法,包括:提供一绝缘基板,在绝缘基板上形成薄膜晶体管栅极层,在所述薄膜晶体管栅极层之上形成栅绝缘层,在所述栅绝缘层之上形成薄膜晶体管沟道层,在所述薄膜晶体管沟道层之上形成刻蚀阻挡层,最后形成薄膜晶体管源/漏电极层,在图案化刻蚀阻挡层时将所述薄膜晶体管栅绝缘层形成薄膜晶体管源/漏电极处刻蚀预设厚度。本发明同时还提供了采用上述方法形成液晶显示面板。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种液晶显示面板,包括:绝缘基板、形成在所述绝缘基板上的薄膜晶体管,形成在所述薄膜晶体管栅绝缘层上的薄膜晶体管沟道层,形成在所述薄膜晶体管沟道层上的刻蚀阻挡层;其特征在于,
    刻蚀所述刻蚀阻挡层时使所述薄膜晶体管栅绝缘层形成薄膜晶体管源/漏电极处同时被刻蚀预设厚度。

    2.  根据权利要求1所述的液晶显示面板,其特征在于,所述薄膜晶体管栅绝缘层、所述薄膜晶体管沟道层及所述刻蚀阻挡层连续成膜。

    3.  根据权利要求1所述的液晶面板,其特征在于,所述预设厚度的设置标准为能够避免所述薄膜晶体管源/漏电极被过刻蚀。

    4.  根据权利要求3所述的氧化物薄膜晶体管液晶显示面板基板,其特征在于,薄膜晶体管栅极层、所述薄膜晶体管源/漏电极层的包括能暴露出所述栅极薄膜晶体管栅极层、所述源/漏电极层的接触孔,所述薄膜晶体管栅极层上的接触孔形成在未被所述薄膜晶体管沟道层覆盖的区域。

    5.  根据权利要求1所述的液晶显示面板,其特征在于,所述薄膜晶体管沟道层的材料为氧化铟镓锌、氧化锌、氧化铟锌、氧化镉锡中的任一种。

    6.  根据权利要求1所述的液晶显示面板,其特征在于,所述刻蚀阻挡层的材料为氧化硅,氮化硅或氧化铝中的任一种或两种。

    7.  一种形成液晶面板的方法,包括:提供一绝缘基板,在绝缘基板上形成薄膜晶体管栅极层,在所述薄膜晶体管栅极层之上形成薄膜晶体管栅绝缘层,在所述薄膜晶体管栅绝缘层之上形成薄膜晶体管沟道层,在所述薄膜晶体管沟道层之上形成刻蚀阻挡层,最后形成薄膜晶体管源/漏电极层,其特征在于,
    在图案化所述刻蚀阻挡层时将所述薄膜晶体管栅绝缘层形成薄膜晶体管源/漏电极处刻蚀预设厚度。

    8.  根据权利要求7所述的形成液晶面板的方法,其特征在于,所述薄膜晶体管栅绝缘层、所述薄膜晶体管沟道层及所述刻蚀阻挡层连续成膜形成。

    9.  根据权利要求7所述的形成液晶面板的方法,其特征在于,所述预设厚度的设置标准为能够避免所述薄膜晶体管源/漏电极被过刻蚀。

    10.  根据权利要求8所述的形成液晶面板的方法,其特征在于,在所述薄膜晶体管栅极层、所述薄膜晶体管源/漏电极层的上形成能暴露出所述薄膜晶体管栅极层、所述薄膜晶体管源/漏电极层的接触孔,在未被所述薄膜晶体管沟道层覆盖的所述薄膜晶体管栅极层上形成接触孔。

    11.  根据权利要求7所述的形成液晶面板的方法,其特征在于,所述金属氧化物薄膜晶体管沟道层的材料为氧化铟镓锌、氧化锌、氧化铟锌、氧化锑锡中的任一种。

    12.  根据权利要求7所述的形成液晶面板的方法,其特征在于,所述蚀刻阻挡层的材料为氧化硅,氮化硅或氧化铝中的任一种或两种。

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    液晶显示 面板 制造 方法
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