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    重庆时时彩到哪里买: 一种光刻胶的剥离装置及剥离方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201410120972.4

    申请日:

    2014.03.27

    公开号:

    CN103913959A

    公开日:

    2014.07.09

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/42申请日:20140327|||公开
    IPC分类号: G03F7/42; G03F7/30 主分类号: G03F7/42
    申请人: 京东方科技集团股份有限公司; 北京京东方显示技术有限公司
    发明人: 王其辉; 于凯; 白忠飞; 李伟; 宋泳珍; 董志学; 郑云亮; 寇克瑜; 徐国军
    地址: 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
    优先权:
    专利代理机构: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 黄志华
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201410120972.4

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2017.09.26|||2014.08.06|||2014.07.09

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种光刻胶的剥离装置及剥离方法,该剥离装置包括:剥离单元、预清洗单元、清洗单元和检测单元;其中,检测单元在检测到基板处于静止状态,基板所处位置部分位于预清洗单元且部分位于剥离单元时,可以控制预清洗单元中的喷头停止对基板喷淋清洗液,这样可以防止预清洗单元中的喷头喷淋到基板上的清洗液会顺着基板流入剥离单元中的储罐内,从而可以避免污染储罐内的剥离液,进而避免影响后续的剥离工艺。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种光刻胶的剥离装置,包括:设置有用于喷淋剥离液的喷头的剥离单元以及设置有用于喷淋清洗液的喷头的预清洗单元和清洗单元,其特征在于,还包括:
    检测单元,用于在检测到基板处于静止状态,所述基板所处位置部分位于所述预清洗单元且部分位于所述剥离单元时,控制所述预清洗单元中的喷头停止对所述基板喷淋清洗液。

    2.  如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述检测单元具体包括:
    监测???,用于实时监测所述基板在所述剥离单元、所述预清洗单元以及所述清洗单元中的运动状态;
    确定???,用于在所述监测??榧嗖獾剿龌宕τ诰仓棺刺?,确定所述基板所处位置是否部分位于所述预清洗单元且部分位于所述剥离单元;
    控制???,用于在所述确定??槿范ㄋ龌逅ξ恢梦糠治挥谒鲈で逑吹ピ也糠治挥谒霭氲ピ?,控制所述预清洗单元中的喷头停止对所述基板喷淋清洗液。

    3.  如权利要求2所述的装置,其特征在于,所述确定???,具体用于确定设置于所述预清洗单元的入口处的感应器是否感应到所述基板的存在;若是,则确定所述基板所处位置为部分位于所述预清洗单元且部分位于所述剥离单元。

    4.  如权利要求2所述的装置,其特征在于,
    确定???,还用于在所述监测??榧嗖獾剿龌宕τ谝贫刺?,确定所述基板是否完全离开所述剥离单元;
    控制???,还用于在所述确定??槿范ㄋ龌逋耆肟霭氲ピ?,控制所述预清洗单元中的喷头恢复喷淋清洗液。

    5.  如权利要求4所述的装置,其特征在于,所述确定???,具体用于确定设置于所述预清洗单元的入口处的感应器是否感应到所述基板的存在;若 否,则确定所述基板完全离开所述剥离单元。

    6.  如权利要求2所述的装置,其特征在于,所述控制???,还用于在所述监测??榧嗖獾剿龌宕τ谝贫刺?,控制所述预清洗单元中的喷头恢复喷淋清洗液。

    7.  一种光刻胶的剥离方法,包括:控制涂覆有光刻胶的基板依次通过设置有用于喷淋剥离液的喷头的剥离单元、设置有用于喷淋清洗液的喷头的预清洗单元和清洗单元,其特征在于:
    在检测到所述基板处于静止状态,所述基板所处位置部分位于所述预清洗单元且部分位于所述剥离单元时,控制所述预清洗单元中的喷头停止对所述基板喷淋清洗液。

    8.  如权利要求7所述的方法,其特征在于,所述在检测到所述基板处于静止状态,所述基板所处位置部分位于所述预清洗单元且部分位于所述剥离单元时,控制所述预清洗单元中的喷头停止对所述基板喷淋清洗液,具体包括:
    实时监测所述基板在所述剥离单元、所述预清洗单元以及所述清洗单元中的运动状态;
    当监测到所述基板处于静止状态时,确定所述基板所处位置是否部分位于所述预清洗单元且部分位于所述剥离单元;
    当确定所述基板所处位置为部分位于所述预清洗单元且部分位于所述剥离单元时,控制所述预清洗单元中的喷头停止对所述基板喷淋清洗液。

    9.  如权利要求8所述的方法,其特征在于,所述确定所述基板所处位置为部分位于所述预清洗单元且部分位于所述剥离单元,具体包括:
    确定设置于所述预清洗单元的入口处的感应器是否感应到所述基板的存在,若是,则确定所述基板所处位置为部分位于所述预清洗单元且部分位于所述剥离单元。

    10.  如权利要求8所述的方法,其特征在于,在控制所述预清洗单元中的喷头停止对所述基板喷淋清洗液之后,还包括:
    当监测到所述基板处于移动状态时,确定所述基板是否完全离开所述剥离单元;
    当确定所述基板完全离开所述剥离单元时,控制所述预清洗单元中的喷头恢复喷淋清洗液。

    11.  如权利要求10所述的方法,其特征在于,所述确定所述基板完全离开所述剥离单元,具体包括:
    确定设置于所述预清洗单元的入口处的感应器是否感应到所述基板的存在,若否,则确定所述基板完全离开所述剥离单元。

    12.  如权利要求8所述的方法,其特征在于,在控制所述预清洗单元中的喷头停止对所述基板喷淋清洗液之后,还包括:
    当监测到所述基板处于移动状态时,控制所述预清洗单元中的喷头恢复喷淋清洗液。

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    一种 光刻 剥离 装置 方法
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