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    一种 光刻 剥离 装置 方法
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    摘要
    申请专利号:

    CN201410120972.4

    申请日:

    2014.03.27

    公开号:

    CN103913959A

    公开日:

    2014.07.09

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/42申请日:20140327|||公开
    IPC分类号: G03F7/42; G03F7/30 主分类号: G03F7/42
    申请人: 京东方科技集团股份有限公司; 北京京东方显示技术有限公司
    发明人: 王其辉; 于凯; 白忠飞; 李伟; 宋泳珍; 董志学; 郑云亮; 寇克瑜; 徐国军
    地址: 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
    优先权:
    专利代理机构: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 黄志华
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201410120972.4

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2017.09.26|||2014.08.06|||2014.07.09

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种光刻胶的剥离装置及剥离方法,该剥离装置包括:剥离单元、预清洗单元、清洗单元和检测单元;其中,检测单元在检测到基板处于静止状态,基板所处位置部分位于预清洗单元且部分位于剥离单元时,可以控制预清洗单元中的喷头停止对基板喷淋清洗液,这样可以防止预清洗单元中的喷头喷淋到基板上的清洗液会顺着基板流入剥离单元中的储罐内,从而可以避免污染储罐内的剥离液,进而避免影响后续的剥离工艺。

    关于本文
    本文标题:一种光刻胶的剥离装置及剥离方法.pdf
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