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    重庆时时彩后三必开: 使用由粘合剂粘合的层状纳米复合材料薄膜的磁性器件.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201280050891.0

    申请日:

    2012.08.16

    公开号:

    CN103918042A

    公开日:

    2014.07.09

    当前法律状态:

    撤回

    有效性:

    无权

    法律详情: 发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):H01F 5/00申请公布日:20140709|||实质审查的生效IPC(主分类):H01F 5/00申请日:20120816|||公开
    IPC分类号: H01F5/00 主分类号: H01F5/00
    申请人: 乔治亚技术研究公司
    发明人: 马昆德亚·拉杰·普卢格萨; 饶·R·图马拉; 文卡塔斯·桑德拉姆; 尼泰史·卡玛怀特; 乌皮利·斯里达尔; 约瑟夫·埃卢尔
    地址: 美国乔治亚州亚特兰大
    优先权: 2011.08.16 US 61/523,990
    专利代理机构: 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 代理人: 齐永红
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201280050891.0

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2016.12.07|||2014.09.10|||2014.07.09

    法律状态类型:

    发明专利申请公布后的视为撤回|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种纳米磁性结构及其制造方法,所述纳米磁性结构包括一器件衬底、设置于所述器件衬底上的多个纳米磁性复合材料层,其中,所述多个纳米磁性复合材料层彼此间设有粘合剂层。金属绕组与所述多个纳米磁性复合材料层集成以形成电感磁芯,且所述的纳米磁性结构的厚度为约5至100微米。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一纳米磁性结构,包括:
    器件衬底;
    设于所述器件衬底上的多个纳米磁性复合材料薄膜层,其中所述多个纳米磁性复合材料薄膜层彼此间设有一粘合剂层;以及
    金属绕组与所述多个纳米磁性复合材料薄膜层集成以形成一电感磁芯。

    2.  根据权利要求1所述的结构,其特征在于:所述的多个纳米磁性复合材料薄膜层,每个的厚度为约200至约3000纳米。

    3.  根据权利要求1所述的结构,其特征在于:所述粘合剂层的厚度为约0.2至约4微米。

    4.  根据权利要求1所述的结构,其特征在于:还包括5-25个纳米磁性复合材料薄膜层。

    5.  根据权利要求1所述的结构,其特征在于:所述纳米磁性结构的粘合厚度为约5至约100微米。

    6.  根据权利要求1所述的结构,其特征在于:每个纳米磁性复合材料薄膜层包括一磁性金属。

    7.  根据权利要求6所述的结构,其特征在于:每个纳米磁性复合材料薄膜层还包括由一绝缘体隔开的合金纳米畴,其中,所述绝缘体包括硅的金属氧化物、氧化铪,氧化锆,或它们的组合。

    8.  根据权利要求6所述的结构,其特征在于:所述磁性金属包括铁、镍、钴、它们的合金,或它们的组合。

    9.  根据权利要求1所述的结构,其特征在于:所述的多个纳米磁性复合材料薄膜层被构建成环形或螺线形。

    10.  根据权利要求1所述的结构,其特征在于:所述的多个纳米磁性复合材料薄膜层环绕金属绕组形成罐形磁芯或跑道结构。

    11.  根据权利要求1所述的结构,其特征在于:所述粘合剂层包括环氧树脂、苯并环丁 烯、聚酰亚胺苯并恶唑或它们的组合。

    12.  根据权利要求1所述的结构,其特征在于:所述器件衬底为具有集成电路的有源硅衬底。

    13.  根据权利要求1所述的结构,其特征在于:所述器件衬底为无源衬底。

    14.  根据权利要求13所述的结构,其特征在于:所述无源衬底安装到封装或集成电路上。

    15.  纳米磁性结构的制造方法,包括:
    (a)在载体衬底上沉积一纳米磁性复合材料薄膜;
    (b)利用一粘合剂层将所述纳米磁性复合材料薄膜粘合到一器件衬底上;
    (c)移除载体衬底;
    (d)重复步骤(a)-(c)至达到预设的约5至约100微米厚的纳米磁性复合材料结构;
    (e)形成纳米磁性复合材料薄膜;以及
    (f)将形成的纳米磁性复合材料薄膜与金属绕组集成以形成一电感磁芯。

    16.  根据权利要求15所述的方法,其特征在于:所述纳米磁性复合材料薄膜利用共溅或溅射技术沉积在载体衬底上。

    17.  根据权利要求15所述的方法,其特征在于:所述载体为硅、硅脱模层、铜箔、铜脱模层、特氟龙、或它们的组合。

    18.  根据权利要求15所述的方法,其特征在于:所述载体衬底利用剥离技术移除。

    19.  根据权利要求15所述的方法,其特征在于:所述纳米磁性复合材料薄膜利用蚀刻或烧蚀技术成型。

    20.  根据权利要求15所述的方法,其特征在于:所述纳米磁性复合材料薄膜构建成一环形或螺线形结构。

    21.  根据权利要求15所述的方法,其特征在于:所述纳米磁性复合材料薄膜包括一磁性金属以及由绝缘体隔开的合金纳米畴。

    22.  根据权利要求21所述的方法,所述绝缘体包括硅的金属氧化物、氧化铪,氧化锆,或它们的组合。

    23.  根据权利要求21所述的方法,其特征在于:所述磁性金属包括铁、镍、钴、它们的合金,或它们的组合。

    24.  根据权利要求15所述的方法,其特征在于:所述粘合剂层包括环氧树脂、苯并环丁烯、聚酰亚胺苯并恶唑或它们的组合。

    25.  根据权利要求15所述的方法,其特征在于:所述金属绕组利用金属电镀技术集成。

    26.  根据权利要求15所述的方法,其特征在于:所述金属绕组利用喷墨打印集成。

    27.  根据权利要求15所述的方法,其特征在于:所述金属绕组利用引线接合法集成。

    28.  根据权利要求15所述的方法,其特征在于:所述金属绕组利用层压箔转移和成型技术集成。

    29.  根据权利要求15所述的方法,其特征在于:所述粘合以晶圆键合工具进行。

    30.  根据权利要求15所述的方法,其特征在于:所述载体以剥离工具移除。

    31.  纳米磁性结构的制造方法,包括:
    (a)在一载体衬底上沉积一纳米磁性复合材料薄膜;
    (b)利用一粘合剂层将纳米磁性复合材料薄膜粘合到中间衬底上;
    (c)移除载体衬底;
    (d)重复步骤(a)-(c)以达到预设厚度;
    (e)通过中间衬底将纳米磁性复合材料薄膜和粘合剂层转移到器件衬底上;
    (f)移除中间衬底;
    (g)形成纳米磁性复合材料薄膜;以及
    (h)将形成的纳米磁性复合材料薄膜与金属绕组集成以形成一电感磁芯。

    32.  根据权利要求31所述的方法,其特征在于:所述纳米磁性复合材料薄膜利用共溅或溅射技术沉积在载体衬底上。

    33.  根据权利要求31所述的方法,其特征在于:所述载体为硅、硅脱模层、铜箔、铜脱模层、特氟龙、或它们的组合。

    34.  根据权利要求31所述的方法,其特征在于:所述载体衬底利用剥离技术移除。

    35.  根据权利要求31所述的方法,其特征在于:所述纳米磁性复合材料薄膜利用蚀刻或烧蚀技术成型。

    36.  根据权利要求31所述的方法,其特征在于:所述纳米磁性复合材料薄膜构建成一环形或螺线形结构。

    37.  根据权利要求31所述的方法,其特征在于:中间衬底的纳米磁性复合材料薄膜切割并重新排列以形成一环形。

    38.  根据权利要求37所述的方法,其特征在于:所述纳米磁性复合材料薄膜重新排列以使正交方向的难磁化轴彼此垂直。

    39.  根据权利要求31所述的方法,其特征在于:所述纳米复合材料薄膜包括磁性金属以及由绝缘体隔开的合金纳米畴。

    40.  根据权利要求39所述的方法,其特征在于:所述绝缘体包括硅的金属氧化物、氧化铪,氧化锆,或它们的组合。

    41.  根据权利要求39所述的方法,其特征在于:所述磁性金属包括铁、镍、钴、它们的合金,或它们的组合。

    42.  根据权利要求31所述的方法,其特征在于:所述粘合剂层包括环氧树脂、苯并环 丁烯、聚酰亚胺苯并恶唑或它们的组合。

    43.  根据权利要求31所述的方法,其特征在于:所述金属绕组利用金属电镀技术集成。

    44.  根据权利要求31所述的方法,其特征在于:所述纳米磁性复合材料结构的厚度范围为约5至约100微米。

    45.  根据权利要求31所述的方法,其特征在于:所述金属绕组利用喷墨打印集成。

    46.  根据权利要求31所述的方法,其特征在于:所述金属绕组利用引线接合法集成。

    47.  根据权利要求31所述的方法,其特征在于:所述金属绕组利用层压箔转移和成型技术集成。

    48.  根据权利要求31所述的方法,其特征在于:所述粘合以晶圆键合工具进行。

    49.  根据权利要求31所述的方法,其特征在于:所述载体以剥离工具移除。

    关 键 词:
    使用 粘合剂 粘合 层状 纳米 复合材料 薄膜 磁性 器件
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