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    用于 光刻 对准 系统 方法
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    摘要
    申请专利号:

    CN201310136360.X

    申请日:

    2013.04.18

    公开号:

    CN103913960A

    公开日:

    2014.07.09

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 9/00申请日:20130418|||公开
    IPC分类号: G03F9/00; G03F7/20 主分类号: G03F9/00
    申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
    发明人: 林育贤; 谢弘璋; 许峰嘉; 李俊毅
    地址: 中国台湾新竹
    优先权: 2013.01.02 US 13/732,913
    专利代理机构: 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人: 章社杲;孙征
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    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201310136360.X

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2016.08.31|||2014.08.06|||2014.07.09

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供用于集成电路制造的光刻系统的一个实施例。该系统包括衬底工作台,被设计成固定衬底并且可操作地移动衬底;对准???,包括可操作地生成波长可调节的红外光的可调光源;和接收光的检测器;以及曝光???,与对准??榧刹⑶冶簧杓瞥啥酝扛苍诔牡咨系目故床闶凳┢毓獯?。本发明还提供了用于光刻对准的系统和方法。

    关于本文
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