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    重庆时时彩ac值走势: 化学液供液及回收再利用系统与方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201310166862.7

    申请日:

    2013.05.08

    公开号:

    CN104141164A

    公开日:

    2014.11.12

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):C25F 7/02申请日:20130508|||公开
    IPC分类号: C25F7/02; C25F3/30 主分类号: C25F7/02
    申请人: 盛美半导体设备(上海)有限公司
    发明人: 王坚; 金一诺; 王晖
    地址: 201203 上海市浦东新区张江高科技园区蔡伦路1690号4幢
    优先权:
    专利代理机构: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 陆勍
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    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201310166862.7

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2018.11.06|||2016.05.25|||2014.11.12

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明揭示了一种化学液供液及回收再利用系统,该系统分别与原液槽、机台储液槽及废液回收槽连接,该系统包括:混液槽、温度检测调节装置、粘度检测调节装置及金属离子浓度检测调节装置?;煲翰鄞娣呕б?,其中,化学液由原液槽或机台储液槽注入混液槽,或者由混液槽注入机台储液槽或废液回收槽,或者化学液从混液槽抽出后再注入混液槽。温度检测调节装置检测和调节化学液的温度,以使注入至混液槽内的化学液的温度达到目标温度。粘度检测调节装置检测和调节化学液的粘度,以使注入至混液槽内的化学液的粘度达到目标粘度。金属离子浓度检测调节装置检测和调节化学液的金属离子浓度,以使注入至混液槽内的化学液的金属离子浓度小于或等于目标浓度。本发明还揭示了一种化学液供液及回收再利用方法。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种化学液供液及回收再利用系统,该系统分别与原液槽、机台储液槽及废液回收槽连接,其特征在于,该系统包括:
    混液槽,所述混液槽存放化学液,
    其中,所述化学液由原液槽或机台储液槽注入混液槽,或者由混液槽注入机台储液槽或废液回收槽,或者化学液从混液槽抽出后再注入混液槽;
    温度检测调节装置,所述温度检测调节装置检测和调节化学液的温度,以使注入至混液槽内的化学液的温度达到目标温度;
    粘度检测调节装置,所述粘度检测调节装置检测和调节化学液的粘度,以使注入至混液槽内的化学液的粘度达到目标粘度;及
    金属离子浓度检测调节装置,所述金属离子浓度检测调节装置检测和调节化学液的金属离子浓度,以使注入至混液槽内的化学液的金属离子浓度小于或等于目标浓度。

    2.  根据权利要求1所述的化学液供液及回收再利用系统,其特征在于,所述温度检测调节装置、粘度检测调节装置及金属离子浓度检测调节装置均检测和调节混液槽内的化学液的温度、粘度及金属离子浓度。

    3.  根据权利要求1所述的化学液供液及回收再利用系统,其特征在于,还包括金属离子回收槽,所述金属离子回收槽分别与机台储液槽及混液槽连接,以允许化学液由机台储液槽注入金属离子回收槽以及允许化学液由金属离子回收槽注入混液槽。

    4.  根据权利要求3所述的化学液供液及回收再利用系统,其特征在于,所述金属离子浓度检测调节装置检测和调节金属离子回收槽内的化学液的金属离子浓度,以使化学液的金属离子浓度小于或等于目标浓度之时将化学液由金属离子回收槽注入混液槽。

    5.  一种化学液供液及回收再利用方法,其特征在于,包括步骤:
    将化学液由原液槽或机台储液槽注入混液槽;
    检测和调节化学液的温度、粘度及金属离子浓度,以使注入至混液槽内的化学液的温度、粘度达到目标温度、目标粘度及金属离子浓度小于或等于目标浓度;及
    将混液槽内的化学液注入机台储液槽。

    6.  根据权利要求5所述的化学液供液及回收再利用方法,其特征在于,所述化学液使用一预定时间段后,由混液槽注入废液回收槽。

    7.  根据权利要求5所述的化学液供液及回收再利用方法,其特征在于,所述检测和调节化学液的温度、粘度及金属离子浓度的步骤进一步包括:检测和调节混液槽内的化学液的温度、粘度及金属离子浓度。

    8.  根据权利要求5所述的化学液供液及回收再利用方法,其特征在于,所述将化学液由原液槽或机台储液槽注入混液槽的步骤进一步包括:当机台储液槽内的化学液的金属离子浓度大于所述目标浓度时,将一定体积的化学液由机台储液槽注入金属离子回收槽,同时将混液槽内相同体积的化学液注入机台储液槽。

    9.  根据权利要求8所述的化学液供液及回收再利用方法,其特征在于,所述检测和调节化学液的温度、粘度及金属离子浓度的步骤进一步包括:检测和调节金属离子回收槽内的化学液的金属离子浓度,将小于或等于目标浓度的化学液由金属离子回收槽注入混液槽。

    关 键 词:
    化学 液供液 回收 再利用 系统 方法
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