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    重庆时时彩走势带遗漏: 曝光描绘装置及曝光描绘方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201380010638.7

    申请日:

    2013.01.24

    公开号:

    CN104205291A

    公开日:

    2014.12.10

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/027申请日:20130124|||公开
    IPC分类号: H01L21/027; G03F7/20; H01L21/68 主分类号: H01L21/027
    申请人: 株式会社阿迪泰克工程
    发明人: 桥口昭浩; 菊池浩明; 吉川武志
    地址: 日本东京都
    优先权: 2012.02.24 JP 2012-039185
    专利代理机构: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 熊传芳;苏卉
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201380010638.7

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2016.10.05|||2015.02.18|||2014.12.10

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供一种能够确认对各被曝光基板的曝光处理时的曝光装置内的尘埃等级的曝光描绘装置及曝光描绘方法。所述曝光描绘装置具备:曝光单元,通过对被曝光基板进行曝光而描绘电路图案;计数单元,对曝光描绘装置内的微粒的粒子数进行计数;判定单元,判定曝光单元的曝光处理中利用计数单元计数出的粒子数是否是基于与电路图案的图案相关的尺寸而规定的阈值以上;及附加单元,在由判定单元判定为是阈值以上的情况下,对被曝光基板附加预先规定的信息。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种曝光描绘装置,具备:
    曝光单元,通过对被曝光基板进行曝光而描绘电路图案;
    计数单元,对曝光描绘装置内的微粒的粒子数进行计数;
    判定单元,判定所述曝光单元的曝光处理中由所述计数单元计数出的粒子数是否是基于与所述电路图案的图案相关的尺寸而规定的阈值以上;及
    附加单元,在由所述判定单元判定为是阈值以上的情况下,对所述被曝光基板附加预先规定的信息。

    2.  根据权利要求1所述的曝光描绘装置,其中,
    与所述图案相关的尺寸是所述电路图案中的相邻的图案间的间距宽度的最小值、图案宽度的最小值及焊盘直径的最小值中的至少一个。

    3.  根据权利要求1所述的曝光描绘装置,其中,
    所述计数单元对应所述微粒的每个粒径范围对所述粒子数进行计数,
    对应每个所述粒径范围来规定所述阈值,
    所述判定单元对应每个所述粒径范围来判定所述粒子数是否是预先规定的阈值以上,在一个以上的粒径范围的粒子数是对应每个所述粒径范围而规定的阈值以上的情况下判定为是阈值以上。

    4.  根据权利要求1所述的曝光描绘装置,其中,
    还具备曝光控制单元,在由所述判定单元判定为是所述阈值以上的情况下,在该时刻进行的曝光处理完成的时刻停止曝光处理,在该停止后由所述判定单元判定为不是所述阈值以上的情况下,再次开始曝光处理。

    5.  根据权利要求1所述的曝光描绘装置,其中,
    具备接受单元,接受能够容许的由尘埃引起的废品产生率的输入,
    基于与所述图案相关的尺寸及由所述接受单元接受到的废品产生率来规定所述阈值。

    6.  根据权利要求1所述的曝光描绘装置,其中,
    具备接受单元,接受附着于所述被曝光基板的微粒的粒子数相对于悬浮的微粒的粒子数的比例的输入,
    基于与所述图案相关的尺寸及由所述接受单元接受到的比例来规定所述阈值。

    7.  根据权利要求1~6中任一项所述的曝光描绘装置,其中,还具备:
    取得单元,取得所述被曝光基板的识别信息;及
    存储单元,将由所述计数单元计数出的粒子数与由所述取得单元取得的所述识别信息建立对应而存储。

    8.  根据权利要求1~6中任一项所述的曝光描绘装置,其中,
    所述判定单元进一步判定由所述计数单元计数出的粒子数属于预先规定的多个分区中的哪一个分区,
    所述附加单元对所述被曝光基板附加表示由所述判定单元判定出的分区的信息作为所述预先规定的信息。

    9.  根据权利要求8所述的曝光描绘装置,其中,
    还具备排列单元,将由所述附加单元附加了表示所述分区的信息的被曝光基板对应每个该分区进行排列。

    10.  一种计算机可读存储介质,存储程序,该程序使计算机执行以下处理:
    由计数单元对曝光描绘装置内的微粒的粒子数进行计数,所述曝光描绘装置具有通过对被曝光基板进行曝光而描绘电路图案的曝光单 元;
    由判定单元判定在所述曝光单元的曝光处理中由所述计数单元计数出的粒子数是否是基于与所述电路图案的图案相关的尺寸而规定的阈值以上;
    在由所述判定单元判定为是阈值以上的情况下,由附加单元对所述被曝光基板附加预先规定的信息。

    11.  一种曝光描绘方法,包括:
    计数步骤,对曝光描绘装置内的微粒的粒子数进行计数,所述曝光描绘装置具有通过对被曝光基板进行曝光而描绘电路图案的曝光单元;
    判定步骤,判定在所述曝光单元的曝光处理中由所述计数步骤计数出的粒子数是否是基于与所述电路图案的图案相关的尺寸而规定的阈值以上;及
    附加步骤,在由所述判定步骤判定为是阈值以上的情况下,对所述被曝光基板附加预先规定的信息。

    关 键 词:
    曝光 描绘 装置 方法
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